【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种供液系统及涂布设备。
技术介绍
1、半导体制造的涂布工艺中，涂布设备通常包括供液系统、连接至供液系统的喷嘴装置，喷嘴装置用以对晶圆进行光刻胶涂布。实际中涂布时，对于光刻胶温度具有要求，因此，供液系统均设置控温装置以控制供液管道内光刻胶的温度，使其供液给喷嘴装置时具有预定的温度，能够满足晶圆的涂布要求。
2、现有技术中，控温装置一般套设于供液系统靠近喷嘴装置的其中一段管路，控温装置的位置固定，应用场景单一，无法适应新型的涂布设备。
技术实现思路
1、本技术的目的之一在于提供一种供液系统，以解决现有技术中控温装置应用场景单一的技术问题。
2、本技术的目的之一在于提供一种涂布设备。
3、为实现上述技术目的之一，本技术一实施方式提供一种供液系统包括：供液管道、连接至所述供液管道的喷嘴装置、与所述供液管道配合设置的控温装置；所述控温装置包括供所述供液管道穿过的保温腔体以及安装部，所述安装部被配置为与外部可移动设备相互配合。
4、作为本技术一实施方式的进一步改进，每一保温腔体包括位于其两端的两个端壁、位于两个端壁之间的保温通道、设置于所述端壁的安装部；两个所述保温通道彼此独立，每一所述供液管路对应穿过一个所述保温通道；至少两个所述保温腔体位于同一端的安装部彼此连接。
5、作为本技术一实施方式的进一步改进，至少两个所述保温腔体并列组装或者一体成型。
6、作为本技术一实施方式的进一步改进，
7、作为本技术一实施方式的进一步改进，所述控温装置包括设置于所述第三壁两端的保温液进入口和保温液排出口。
8、作为本技术一实施方式的进一步改进，包括连通所述保温液进入口的第一管路，所述第一管路包括依次连通且相互垂直的第一段和第二段，所述第一段垂直所述第三壁且连通所述保温腔体，所述第二段平行所述第一壁。
9、作为本技术一实施方式的进一步改进，包括设置于所述保温腔体的感温侦测装置，所述感温侦测装置平行于所述供液管道。
10、作为本技术一实施方式的进一步改进，所述供液管道用于传输高粘度光刻胶，所述供液系统包括设置于所述控温装置和喷嘴装置之间的第一回吸装置，所述第一回吸装置包括回吸阀，所述回吸阀与喷嘴装置之间的管道长度在5mm-10mm之间。
11、作为本技术一实施方式的进一步改进，所述供液管道用于传输润湿液，所述供液系统包括设置于所述控温装置和喷嘴装置之间的第二回吸装置，所述第二回吸装置包括真空回吸阀和通断阀。
12、为实现上述技术目的之一，本技术一实施方式提供一种涂布设备，包括上述任一种技术方案所述的供液系统以及用以与所述安装部配合的可移动设备。
13、与现有技术相比，本技术提供了一种供液系统，具有与供液管道配合的控温装置，控温装置包括控温腔体以及安装部，所述安装部用以安装至外部可移动设备，外部可移动设备带动控温装置一起移动，适应更多应用场景，适应更多新型的涂布设备。
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1.一种供液系统，其特征在于，包括：供液管道、连接至所述供液管道的喷嘴装置、与所述供液管道配合设置的控温装置；所述控温装置包括供所述供液管道穿过的保温腔体以及安装部，所述安装部被配置为与外部可移动设备相互配合。
2.根据权利要求1所述的供液系统，其特征在于，每一保温腔体包括位于其两端的两个端壁、位于两个端壁之间的保温通道、设置于所述端壁的安装部；两个所述保温通道彼此独立，每一所述供液管道对应穿过一个所述保温通道；至少两个所述保温腔体位于同一端的安装部彼此连接。
3.根据权利要求2所述的供液系统，其特征在于，至少两个所述保温腔体并列组装或者一体成型。
4.根据权利要求2所述的供液系统，其特征在于，所述保温通道为方形通道，所述保温通道的侧面包括依次连接的第一壁、第二壁、第三壁以及第四壁，所述安装部呈水平壁状且垂直所述端壁，所述第一壁和第三壁平行于所述安装部，所述第一壁相对第三壁靠近所述安装部，所述安装部与所述第一壁间隔设置。
5.根据权利要求4所述的供液系统，其特征在于，所述控温装置包括设置于所述第三壁两端的保温液进入口和保温液排出口。
6.根据权利要求5所述的供液系统，其特征在于，包括连通所述保温液进入口的第一管路，所述第一管路包括依次连通且相互垂直的第一段和第二段，所述第一段垂直所述第三壁且连通所述保温腔体，所述第二段平行所述第一壁。
7.根据权利要求1所述的供液系统，其特征在于，包括设置于所述保温腔体的感温侦测装置，所述感温侦测装置平行于所述供液管道。
8.根据权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述供液管道用于传输高粘度光刻胶，所述供液系统包括设置于所述控温装置和喷嘴装置之间的第一回吸装置，所述第一回吸装置包括回吸阀，所述回吸阀与喷嘴装置之间的管道长度在5mm-10mm之间。
9.根据权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述供液管道用于传输润湿液，所述供液系统包括设置于所述控温装置和喷嘴装置之间的第二回吸装置，所述第二回吸装置包括真空回吸阀和通断阀。
10.一种涂布设备，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的供液系统以及用以与所述安装部配合的可移动设备。
...【技术特征摘要】
1.一种供液系统，其特征在于，包括：供液管道、连接至所述供液管道的喷嘴装置、与所述供液管道配合设置的控温装置；所述控温装置包括供所述供液管道穿过的保温腔体以及安装部，所述安装部被配置为与外部可移动设备相互配合。
2.根据权利要求1所述的供液系统，其特征在于，每一保温腔体包括位于其两端的两个端壁、位于两个端壁之间的保温通道、设置于所述端壁的安装部；两个所述保温通道彼此独立，每一所述供液管道对应穿过一个所述保温通道；至少两个所述保温腔体位于同一端的安装部彼此连接。
3.根据权利要求2所述的供液系统，其特征在于，至少两个所述保温腔体并列组装或者一体成型。
4.根据权利要求2所述的供液系统，其特征在于，所述保温通道为方形通道，所述保温通道的侧面包括依次连接的第一壁、第二壁、第三壁以及第四壁，所述安装部呈水平壁状且垂直所述端壁，所述第一壁和第三壁平行于所述安装部，所述第一壁相对第三壁靠近所述安装部，所述安装部与所述第一壁间隔设置。
5.根据权利要求4所述的供液系统，其特征在于，所述控温装置包括设置于所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭振，
申请(专利权)人：颀中科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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