【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及冲孔设备，具体为一种蜂窝cmp抛光皮开孔装置。
技术介绍
1、cmp即化学机械抛光，是一种用于平坦化半导体器件制造过程中表面材料的技术，抛光片是cmp工艺中的重要部件，适用于金属、光学、玻璃、陶瓷和半导体芯片等精密件表面抛光，公开号为“cn218170671u”的中国专利提供了一种双面抛光垫开孔装置，该申请通过将抛光垫放置在刀模内，通过压辊压动抛光垫，从而使第一刀片和第二刀片对抛光垫进行开孔，该申请需要人工将抛光垫放置在刀模内，并且在完成开孔后需要对废料进行手动清理，工作效率较低。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种蜂窝cmp抛光皮开孔装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述专利技术目的，本专利技术采用如下技术方案：
3、本专利技术提供的一种蜂窝cmp抛光皮开孔装置，包括固定座，所述固定座上固定连接有支架，所述支架上固定连接有液压杆，所述液压杆的输出端固定连接有上冲孔机构，所述固定座位于上冲孔机构下方的位置固定连接有安装座，所述安装座上开设有放置槽，所述放置槽内设有下冲孔机构，所述安装座上靠近下冲孔机构的位置阵列开设有至少三个滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有用于固定抛光皮的固定机构。
4、进一步地，所述上冲孔机构包括固定连接于液压杆输出端的上支撑板，所述上支撑板上阵列开设有多个环形槽，每个所述环形槽内均滑动连接有滑动板，所述滑动板上固定连接有固定架，所述滑动板的一端固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的另一端与环
5、进一步地，所述固定机构包括滑动连接于滑动槽内的固定块，所述固定块的一侧铰接有第一连杆和第二连杆，所述第一连杆和第二连杆呈交叉设置，所述滑动槽远离固定块的一侧滑动连接有第一推动杆，所述第一推动杆靠近第一连杆的位置开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有抵接杆，所述抵接杆与第一连杆相铰接，所述抵接杆和第一滑槽内壁之间固定连接有第二弹簧。
6、进一步地，所述下冲孔机构包括滑动连接于放置槽内的下支撑板，所述下支撑板上开设有与冲压刀具位置相对应的通孔，所述通孔内滑动连接有导向管，所述下支撑板与安装座之间固定连接有第三弹簧，所述安装座位于放置槽下方的位置开设有收集槽，所述收集槽的一侧贯穿安装座并与外界相连通，所述导向管延伸至收集槽内并与安装座滑动连接，所述收集槽内滑动连接有滑板，所述安装座位于收集槽下方的位置开设有安装槽，所述安装槽内滑动连接有滑动杆，所述滑动杆靠近滑板的一端铰接有顶杆，所述顶杆远离滑动杆的一端与滑板相铰接，所述滑动杆远离顶杆的一端固定连接有锥形块，所述锥形块与安装槽内壁之间固定连接有第四弹簧，所述锥形块上抵接有第二推动杆，所述第二推动杆贯穿安装槽并延伸至滑动槽内，所述第二推动杆与第一推动杆固定连接，所述收集槽与外界相连通的位置滑动连接于用于封闭收集槽的封闭组件。
7、进一步地，所述封闭组件包括固定连接于滑动槽靠近第一推动杆的固定杆，所述固定杆上靠近第一推动杆的位置转动连接有转动盘，所述转动盘上靠近第一推动杆的位置固定连接有第一转动杆，所述转动盘上靠近谷底杆的位置固定连接有第二转动杆，所述第二推动杆与第二转动杆的位置开设有限位槽，所述第二转动杆位于限位槽内，所述第二推动杆延伸至收集槽内的一端固定连接有封闭板，所述第一转动杆上抵接有推动板，所述推动板的一侧固定连接有连接杆，所述滑动槽靠近连接杆的内壁固定连接有第一斜板，所述滑动槽内壁靠近转动盘下方的位置固定连接有第二斜板，所述连接杆与第一斜板和第二斜板相抵接。
8、进一步地，所述推动板与第一推动杆滑动连接。
9、进一步地，所述滑板靠近收集槽与外界相连通的一侧固定连接有伸缩板，所述伸缩板的另一端与收集槽内壁固定连接。
10、进一步地，所述滑板向收集槽与外界相连通的一侧宽度逐渐减小。
11、进一步地，所述收集槽与放置槽之间通过连通口连接，所述连通口设于安装座远离收集槽与外界相连通的位置。
12、进一步地，所述导向管远离下支撑板的一端与安装座固定连接，所述导向管与收集槽相连通。
13、与现有技术相比，以上一个或多个技术方案存在以下有益效果：
14、本专利技术通过设置的固定机构可以将抛光皮移动至待冲孔的位置，自动将抛光皮移动至待冲孔的位置，使每个抛光皮冲孔的位置均相同，提高冲孔的位置精度，同时节省了人工，降低工作强度；
15、设置的上冲孔机构，通过固定架对抛光皮待冲孔的位置进行支撑固定，防止抛光皮在冲孔的过程中发生较大变形，影响冲孔的质量；
16、设置的上冲孔机构和下冲孔机构对抛光片进行冲孔，在冲孔的过程中抛光片推动至上方便于收集，并使产生的废料落至收集槽内，避免废料的堵塞影响下次的冲孔，避免人工去处理废料，提高工作的效率，在下支撑板移动的过程中使放置槽内的空气从连通口处排出，将废料吹向收集槽与外界相连通的位置，便于废料的清除。
17、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本专利技术。
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1.一种蜂窝CMP抛光皮开孔装置，其特征在于，包括固定座（1），所述固定座（1）上固定连接有支架（2），所述支架（2）上固定连接有液压杆（3），所述液压杆（3）的输出端固定连接有上冲孔机构（4），所述固定座（1）位于上冲孔机构（4）下方的位置固定连接有安装座（5），所述安装座（5）上开设有放置槽（6），所述放置槽（6）内设有下冲孔机构（7），所述安装座（5）上靠近下冲孔机构（7）的位置阵列开设有至少三个滑动槽（8），所述滑动槽（8）内滑动连接有用于固定抛光皮的固定机构（9）。
2.根据权利要求1所述的一种蜂窝CMP抛光皮开孔装置，其特征在于，所述上冲孔机构（4）包括固定连接于液压杆（3）输出端的上支撑板（10），所述上支撑板（10）上阵列开设有多个环形槽（11），每个所述环形槽（11）内均滑动连接有滑动板（12），所述滑动板（12）上固定连接有固定架（13），所述滑动板（12）的一端固定连接有第一弹簧（14），所述第一弹簧（14）的另一端与环形槽（11）内壁固定连接，所述环形槽（11）中心位置固定连接有冲压刀具（15），所述冲压刀具（15）延伸至环形槽（11）外。p>
3.根据权利要求1所述的一种蜂窝CMP抛光皮开孔装置，其特征在于，所述固定机构（9）包括滑动连接于滑动槽（8）内的固定块（16），所述固定块（16）的一侧铰接有第一连杆（17）和第二连杆（18），所述第一连杆（17）和第二连杆（18）呈交叉设置，所述滑动槽（8）远离固定块（16）的一侧滑动连接有第一推动杆（19），所述第一推动杆（19）靠近第一连杆（17）的位置开设有第一滑槽（20），所述第一滑槽（20）内滑动连接有抵接杆（21），所述抵接杆（21）与第一连杆（17）相铰接，所述抵接杆（21）和第一滑槽（20）内壁之间固定连接有第二弹簧（22）。
4.根据权利要求1所述的一种蜂窝CMP抛光皮开孔装置，其特征在于，所述下冲孔机构（7）包括滑动连接于放置槽（6）内的下支撑板（23），所述下支撑板（23）上开设有与冲压刀具（15）位置相对应的通孔（24），所述通孔（24）内滑动连接有导向管（25），所述下支撑板（23）与安装座（5）之间固定连接有第三弹簧（26），所述安装座（5）位于放置槽（6）下方的位置开设有收集槽（27），所述收集槽（27）的一侧贯穿安装座（5）并与外界相连通，所述导向管（25）延伸至收集槽（27）内并与安装座（5）滑动连接，所述收集槽（27）内滑动连接有滑板（28），所述安装座（5）位于收集槽（27）下方的位置开设有安装槽（29），所述安装槽（29）内滑动连接有滑动杆（30），所述滑动杆（30）靠近滑板（28）的一端铰接有顶杆（31），所述顶杆（31）远离滑动杆（30）的一端与滑板（28）相铰接，所述滑动杆（30）远离顶杆（31）的一端固定连接有锥形块（32），所述锥形块（32）与安装槽（29）内壁之间固定连接有第四弹簧（33），所述锥形块（32）上抵接有第二推动杆（34），所述第二推动杆（34）贯穿安装槽（29）并延伸至滑动槽（8）内，所述第二推动杆（34）与第一推动杆（19）固定连接，所述收集槽（27）与外界相连通的位置滑动连接于用于封闭收集槽（27）的封闭组件（35）。
5.根据权利要求4所述的一种蜂窝CMP抛光皮开孔装置，其特征在于，所述封闭组件（35）包括固定连接于滑动槽（8）靠近第一推动杆（19）的固定杆（36），所述固定杆（36）上靠近第一推动杆（19）的位置转动连接有转动盘（37），所述转动盘（37）上靠近第一推动杆（19）的位置固定连接有第一转动杆（38），所述转动盘（37）上靠近谷底杆的位置固定连接有第二转动杆（39），所述第二推动杆（34）与第二转动杆（39）的位置开设有限位槽（40），所述第二转动杆（39）位于限位槽（40）内，所述第二推动杆（34）延伸至收集槽（27）内的一端固定连接有封闭板（41），所述第一转动杆（38）上抵接有推动板（42），所述推动板（42）的一侧固定连接有连接杆（43），所述滑动槽（8）靠近连接杆（43）的内壁固定连接有第一斜板（44），所述滑动槽（8）内壁靠近转动盘（37）下方的位置固定连接有第二斜板（45），所述连接杆（43）与第一斜板（44）和第二斜板（45）相抵接。
6.根据权利要求5所述的一种蜂窝CMP抛光皮开孔装置，其特征在于，所述推动板（42）与第一推动杆（19）滑动连接。
7.根据权利要求4所述的一种蜂窝CMP抛光皮开孔装置，其特征在于，所述滑板（28）靠近收集槽（27）与外界相连通的一侧固定连接有伸缩板（46），所述伸缩板（46）的另一端与收集槽（27）内壁固定连接。
8.根据权利要求4所述的一...
【技术特征摘要】
1.一种蜂窝cmp抛光皮开孔装置，其特征在于，包括固定座（1），所述固定座（1）上固定连接有支架（2），所述支架（2）上固定连接有液压杆（3），所述液压杆（3）的输出端固定连接有上冲孔机构（4），所述固定座（1）位于上冲孔机构（4）下方的位置固定连接有安装座（5），所述安装座（5）上开设有放置槽（6），所述放置槽（6）内设有下冲孔机构（7），所述安装座（5）上靠近下冲孔机构（7）的位置阵列开设有至少三个滑动槽（8），所述滑动槽（8）内滑动连接有用于固定抛光皮的固定机构（9）。
2.根据权利要求1所述的一种蜂窝cmp抛光皮开孔装置，其特征在于，所述上冲孔机构（4）包括固定连接于液压杆（3）输出端的上支撑板（10），所述上支撑板（10）上阵列开设有多个环形槽（11），每个所述环形槽（11）内均滑动连接有滑动板（12），所述滑动板（12）上固定连接有固定架（13），所述滑动板（12）的一端固定连接有第一弹簧（14），所述第一弹簧（14）的另一端与环形槽（11）内壁固定连接，所述环形槽（11）中心位置固定连接有冲压刀具（15），所述冲压刀具（15）延伸至环形槽（11）外。
3.根据权利要求1所述的一种蜂窝cmp抛光皮开孔装置，其特征在于，所述固定机构（9）包括滑动连接于滑动槽（8）内的固定块（16），所述固定块（16）的一侧铰接有第一连杆（17）和第二连杆（18），所述第一连杆（17）和第二连杆（18）呈交叉设置，所述滑动槽（8）远离固定块（16）的一侧滑动连接有第一推动杆（19），所述第一推动杆（19）靠近第一连杆（17）的位置开设有第一滑槽（20），所述第一滑槽（20）内滑动连接有抵接杆（21），所述抵接杆（21）与第一连杆（17）相铰接，所述抵接杆（21）和第一滑槽（20）内壁之间固定连接有第二弹簧（22）。
4.根据权利要求1所述的一种蜂窝cmp抛光皮开孔装置，其特征在于，所述下冲孔机构（7）包括滑动连接于放置槽（6）内的下支撑板（23），所述下支撑板（23）上开设有与冲压刀具（15）位置相对应的通孔（24），所述通孔（24）内滑动连接有导向管（25），所述下支撑板（23）与安装座（5）之间固定连接有第三弹簧（26），所述安装座（5）位于放置槽（6）下方的位置开设有收集槽（27），所述收集槽（27）的一侧贯穿安装座（5）并与外界相连通，所述导向管（25）延伸至收集槽（27）内并与安装座（5）滑动连接，所述收集槽（27）内滑动连接有滑板（28），所述安装座（5）位于收集槽（27）下方的位置开设有安装槽（29），所述安装槽（29）内滑动连接有滑动杆（30），所述滑动杆（30）靠近滑...
【专利技术属性】
技术研发人员：阚开乐，张茂亮，
申请(专利权)人：深圳市鑫德普科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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