【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及涂布设备，尤其涉及一种涂布设备及其涂布方法。
技术介绍
1、随着太阳能电池的快速发展，太阳能电池在发电、交通、通信、农业等领域得到了广泛的应用，因此对太阳能电池的需求量也快速增长。
2、在现有技术中，涂布设备和真空干燥设备是分开的，即先通过涂布设备将涂布液涂布于基板，再通过转运装置将已涂布的基板搬运到真空干燥设备中。在将已涂布的基板转运至真空干燥设备的过程中，不仅容易破坏涂布液膜，造成基板上的涂布液分布不均匀，甚至较薄的基板可能发生破损，从而导致太阳能电池的质量和良率下降，而且转运的过程需要花费时间，延长了太阳能电池的生产周期，从而降低了太阳能电池的生产效率，无法满足太阳能电池高通量制备需求，如果要提高太阳能电池的产能，则需要增加涂布设备和真空干燥设备的数量，这样导致涂布设备和真空干燥设备的成本和占用空间的增加，从而也导致太阳能电池的成本的增加。同时也需要增加转运装置，进一步增加了设备成本和占用空间，从而增加了太阳能电池的生产成本。
3、因此，如何提高太阳能电池的质量和生产效率，是一件急需解决的难题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种涂布设备及其涂布方法，多个涂布组件可以同时对多个基板进行涂布，多个干燥组件可以同时对多个基板进行干燥，不需要对已涂布的基板进行转运，不仅缩短了太阳能电池的生产周期，提高了太阳能电池的产能，而且确保了基板上的涂布液分布均匀，并能够及时对基板上的液膜进行干燥，从而提高了太阳能电池的质量和良率，并且减少了涂
2、本专利技术的目的采用以下技术方案实现：
3、一种涂布设备，包括：
4、循环轨道；
5、多个涂布平台，所述涂布平台用于放置基板，所述涂布平台设置于所述循环轨道；
6、多个涂布组件，所述涂布组件包括支架和设置于所述支架上的涂布头，所述涂布头设置于所述循环轨道的上方，所述涂布平台带动所述基板沿涂布方向相对所述涂布头移动，所述涂布头用于对所述基板进行涂布；
7、多个干燥组件，所述干燥组件用于干燥所述涂布头涂布于所述基板上的涂布液；
8、上料组件和下料组件，所述上料组件用于将待涂布的基板转移到所述涂布平台上，所述下料组件用于将已涂布的基板从所述涂布平台上转移；
9、其中，所述循环轨道包括多个前进轨道和至少一个回流轨道，所述前进轨道具有相对的第一端和第二端，所述前进轨道的第一端和第二端分别与所述回流轨道连通，以使所述循环轨道形成闭环，所述涂布平台能够通过所述前进轨道从所述前进轨道的第一端移动至所述前进轨道的第二端，所述涂布平台能够通过所述回流轨道从所述前进轨道的第二端移动至所述前进轨道的第一端。
10、优选地，相邻所述前进轨道之间设置一个回流轨道；或者，每两个所述前进轨道之间设置一个回流轨道。
11、优选地，每个所述前进轨道对应设置至少一个所述涂布组件和至少一个所述干燥组件；
12、当一个所述前进轨道对应设置多个所述干燥组件时，多个所述干燥组件串联设置和/或并联设置。
13、优选地，所述循环轨道还包括托盘，所述托盘设置在所述循环轨道朝向所述涂布头的一面，所述干燥组件包括腔体和与所述腔体通过管道连接的真空泵，所述腔体设置于所述托盘的上方，所述腔体朝向所述托盘的一面具有开口，所述腔体设置开口的一侧能够压合在所述托盘上并形成密闭空间，以使所述涂布平台和所述基板位于所述密闭空间。
14、优选地，所述托盘具有平板部和边缘部，所述边缘部设置在所述平板部的两侧并自所述平板部凸起设置。
15、优选地，所述循环轨道由多个磁悬浮定子组成，所述循环轨道上设置有多个磁悬浮动子，所述涂布平台设置于所述磁悬浮动子，所述磁悬浮定子用于驱动所述磁悬浮动子进行平移、升降、旋转或俯仰偏摆中的一种或多种，所述磁悬浮动子能够带动所述涂布平台在所述循环轨道上循环运动。
16、优选地，所述涂布组件还包括测量模块，所述测量模块用于测量位于所述涂布平台的待涂布的基板的表面高度，所述磁悬浮定子能够根据所述测量模块的测量数据驱动所述磁悬浮动子进行升降和/或俯仰偏摆。
17、优选地，当所述涂布头对当前的涂布平台上的基片进行涂布时，当前的涂布平台上的基片与相邻的涂布平台上的待涂布基片贴靠设置。
18、优选地，所述上料组件包括第一支撑座、第一机械手、第一取放部和第一图像采集装置，所述第一机械手的一端设置于第一支撑座，所述第一机械手的另一端设置有第一取放部和第一图像采集装置，第一机械手用于带动所述第一取放部和所述第一图像采集装置移动；
19、所述下料组件包括第二支撑座、第二机械手、第二取放部和第二图像采集装置，所述第二机械手的一端设置于所述第二支撑座，所述第二机械手的另一端设置有所述第二取放部和所述第二图像采集装置，所述第二机械手用于带动所述第二取放部和所述第二图像采集装置移动。
20、一种涂布方法，使用如上述任意一项所述的涂布设备，所述涂布方法包括：
21、所述上料组件将待涂布的基板转移到所述涂布平台；
22、待涂布的基板随所述涂布平台移动至所述涂布头下方，所述涂布头对待涂布的基板进行涂布；
23、所述干燥组件对涂布后的基板进行干燥；
24、所述下料组件将已干燥的基板从所述涂布平台上转移；
25、所述涂布平台通过所述回流轨道从所述前进轨道的第二端移动至所述前进轨道的第一端。
26、与现有技术相比，本专利技术的有益效果至少包括：
27、本专利技术的涂布设备及其涂布方法，通过将多个涂布组件和多个干燥组件集成到同一台设备，多个涂布组件可以同时对多个基板进行涂布，多个干燥组件可以同时对多个基板进行干燥，不需要对已涂布的基板进行转运，这样不仅缩短了太阳能电池的生产周期，可以大大提高太阳能电池的生产效率，提高了太阳能电池的产能，满足太阳能电池高通量制备需求，而且避免了基板上的涂布液在转运的过程中发生晃动，确保了基板上的涂布液分布均匀，并能够及时对基板上的液膜进行干燥，从而提高了太阳能电池的质量和良率，并且减少了涂布设备的数量，降低了涂布设备的成本和占用空间，从而降低了太阳能电池的生产成本，同时也不需要额外增加转运装置，减少了设备成本和占用空间，从而进一步降低了太阳能电池的生产成本。
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1.一种涂布设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，相邻所述前进轨道之间设置一个回流轨道；或者，每两个所述前进轨道之间设置一个回流轨道。
3.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，每个所述前进轨道对应设置至少一个所述涂布组件和至少一个所述干燥组件；
4.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述循环轨道还包括托盘，所述托盘设置在所述循环轨道朝向所述涂布头的一面，所述干燥组件包括腔体和与所述腔体通过管道连接的真空泵，所述腔体设置于所述托盘的上方，所述腔体朝向所述托盘的一面具有开口，所述腔体设置开口的一侧能够压合在所述托盘上并形成密闭空间，以使所述涂布平台和所述基板位于所述密闭空间。
5.根据权利要求4所述的涂布设备，其特征在于，所述托盘具有平板部和边缘部，所述边缘部设置在所述平板部的两侧并自所述平板部凸起设置。
6.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述循环轨道由多个磁悬浮定子组成，所述循环轨道上设置有多个磁悬浮动子，所述涂布平台设置于所述磁悬浮动子，所述磁悬浮定子用于驱动所
7.根据权利要求6所述的涂布设备，其特征在于，所述涂布组件还包括测量模块，所述测量模块用于测量位于所述涂布平台的待涂布的基板的表面高度，所述磁悬浮定子能够根据所述测量模块的测量数据驱动所述磁悬浮动子进行升降和/或俯仰偏摆。
8.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，当所述涂布头对当前的涂布平台上的基片进行涂布时，当前的涂布平台上的基片与相邻的涂布平台上的待涂布基片贴靠设置。
9.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述上料组件包括第一支撑座、第一机械手、第一取放部和第一图像采集装置，所述第一机械手的一端设置于第一支撑座，所述第一机械手的另一端设置有第一取放部和第一图像采集装置，第一机械手用于带动所述第一取放部和所述第一图像采集装置移动；
10.一种涂布方法，其特征在于，使用如权利要求1-9任意一项所述的涂布设备，所述涂布方法包括：
...【技术特征摘要】
1.一种涂布设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，相邻所述前进轨道之间设置一个回流轨道；或者，每两个所述前进轨道之间设置一个回流轨道。
3.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，每个所述前进轨道对应设置至少一个所述涂布组件和至少一个所述干燥组件；
4.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述循环轨道还包括托盘，所述托盘设置在所述循环轨道朝向所述涂布头的一面，所述干燥组件包括腔体和与所述腔体通过管道连接的真空泵，所述腔体设置于所述托盘的上方，所述腔体朝向所述托盘的一面具有开口，所述腔体设置开口的一侧能够压合在所述托盘上并形成密闭空间，以使所述涂布平台和所述基板位于所述密闭空间。
5.根据权利要求4所述的涂布设备，其特征在于，所述托盘具有平板部和边缘部，所述边缘部设置在所述平板部的两侧并自所述平板部凸起设置。
6.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述循环轨道由多个磁悬浮定子组成，所述循环轨道上设置有多个磁悬浮动子，所述涂布平台设置于所...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：德沪涂膜设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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