【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体产业，特别涉及一种拉膜扩晶设备。
技术介绍
1、在扩晶加工方面，一般会通过顶升机构将膜材顶升扩张，从而达到扩大芯片间距的效果。但是，目前在扩晶加工的过程中，由于人工操作有限，无法实时且精准地判断各芯片之间的间距的变化量，扩晶间距得不到较好地控制，导致扩晶加工的精度低。
技术实现思路
1、本技术主要提供一种拉膜扩晶设备，以解决在扩晶加工过程中无法实时且精准地检测芯片的间距而导致扩晶加工精度低的问题。
2、为实现上述目的，本技术提出一种拉膜扩晶设备，所述拉膜扩晶设备包括工作台、固定装置、拉膜装置、驱动装置以及视觉检测装置；其中，
3、所述工作台具有安装面，所述固定装置、所述拉膜装置以及所述驱动装置均安装于所述安装面上，所述固定装置用于固定膜材，所述拉膜装置用于夹持拉伸膜材；
4、所述视觉检测装置连接于所述驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述视觉检测装置在所述安装面的上方自由移动，所述视觉检测装置还与所述拉膜装置电性连接，所述视觉检测装置用于实时检测膜材上的芯片的间距，并向所述拉膜装置发送间距信息，所述拉膜装置根据所述间距信息控制对拉伸膜材的拉伸力度。
5、在本技术的一些实施例中，所述视觉检测装置包括直线模组、安装件以及视觉检测组件；其中，
6、所述直线模组连接于所述驱动装置，所述直线模组具有滑动部，所述安装件安装于所述滑动部，所述视觉检测组件连接于所述安装件；
7、所述直线模组用于通过所述安装件驱动所
8、在本技术的一些实施例中，所述视觉检测组件包括连接件、活动夹持件以及图像采集件；其中，
9、所述连接件和所述活动夹持件均安装于所述安装件，所述图像采集件的一端活动连接于所述连接件，所述活动夹持件用于夹持固定或者释放所述图像采集件的另一端，所述图像采集件与所述拉膜装置电性连接。
10、在本技术的一些实施例中，所述视觉检测装置还包括设于所述安装件与所述活动夹持件之间的升降件，所述升降件的一侧连接于所述安装件，另一侧连接于所述活动夹持件，所述升降件用于所述驱使所述图像采集件在所述竖向方向上移动。
11、在本技术的一些实施例中，所述连接件包括连接体和导向体，所述连接体固定安装于所述安装件，所述导向体的一侧活动地连接于所述连接体，另一侧与所述图像采集件连接，所述导向体用于与所述连接体导向配合。
12、在本技术的一些实施例中，所述图像采集件为3d工业摄像机；或，所述图像采集件为2d工业摄像机。
13、在本技术的一些实施例中，所述视觉检测装置包括光源件，所述光源件设于所述图像采集件的下方，所述光源件用于为所述图像采集件提供光源。
14、在本技术的一些实施例中，所述光源件连接于所述安装件，所述光源件的光轴与所述图像采集件的光轴同轴设置，所述光源件设有避让通孔，所述避让通孔用于避让所述图像采集件的光轴。
15、在本技术的一些实施例中，所述视觉检测装置的数量设置有多个，多个所述视觉检测装置均连接于所述驱动装置。
16、在本技术的一些实施例中，所述拉膜扩晶设备还包括运料装置和裁切装置，所述运料装置设置于所述安装面上，所述裁切装置连接于所述驱动装置，所述运料装置用于上料或者下料膜材，所述裁切装置用于裁切膜材的边缘。
17、本技术的有益效果是：区别于现有技术的情况，本技术公开的拉膜扩晶设备在拉膜装置拉伸膜材来扩张各芯片之间的间距时，通过视觉检测装置实时检测膜材上各个芯片之间的间距的变量，并将检测到间距信息发送给拉膜装置，使得拉膜装置能够根据间距信息调整对膜材的拉伸力度，以达到控制各个芯片之间的间距的效果，如此设置，以能够实时获知扩晶后各个芯片之间的间距的大小，有利于拉膜装置更好地调整拉膜方向以及力度，以更好地控制各个芯片之间的间距，从而提高扩晶加工的精度，以更好地满足市场对各种不同芯片间距的需求。
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1.一种拉膜扩晶设备，其特征在于，所述拉膜扩晶设备包括工作台、固定装置、拉膜装置、驱动装置以及视觉检测装置；其中，
2.如权利要求1所述的拉膜扩晶设备，其特征在于，所述视觉检测装置包括直线模组、安装件以及视觉检测组件；其中，
3.如权利要求2所述的拉膜扩晶设备，其特征在于，所述视觉检测组件包括连接件、活动夹持件以及图像采集件；其中，
4.如权利要求3所述的拉膜扩晶设备，其特征在于，所述视觉检测装置还包括设于所述安装件与所述活动夹持件之间的升降件，所述升降件的一侧连接于所述安装件，另一侧连接于所述活动夹持件，所述升降件用于驱使所述图像采集件在所述竖向方向上移动。
5.如权利要求4所述的拉膜扩晶设备，其特征在于，所述连接件包括连接体和导向体，所述连接体固定安装于所述安装件，所述导向体的一侧活动地连接于所述连接体，另一侧与所述图像采集件连接，所述导向体用于与所述连接体导向配合。
6.如权利要求3所述的拉膜扩晶设备，其特征在于，所述图像采集件为3D工业摄像机；或，所述图像采集件为2D工业摄像机。
7.如权利要求3所述
8.如权利要求7所述的拉膜扩晶设备，其特征在于，所述光源件连接于所述安装件，所述光源件的光轴与所述图像采集件的光轴同轴设置，所述光源件设有避让通孔，所述避让通孔用于避让所述图像采集件的光轴。
9.如权利要求7所述的拉膜扩晶设备，其特征在于，所述视觉检测装置的数量设置有多个，多个所述视觉检测装置均连接于所述驱动装置。
10.如权利要求1所述的拉膜扩晶设备，其特征在于，所述拉膜扩晶设备还包括运料装置和裁切装置，所述运料装置设置于所述安装面上，所述裁切装置连接于所述驱动装置，所述运料装置用于上料或者下料膜材，所述裁切装置用于裁切膜材的边缘。
...【技术特征摘要】
1.一种拉膜扩晶设备，其特征在于，所述拉膜扩晶设备包括工作台、固定装置、拉膜装置、驱动装置以及视觉检测装置；其中，
2.如权利要求1所述的拉膜扩晶设备，其特征在于，所述视觉检测装置包括直线模组、安装件以及视觉检测组件；其中，
3.如权利要求2所述的拉膜扩晶设备，其特征在于，所述视觉检测组件包括连接件、活动夹持件以及图像采集件；其中，
4.如权利要求3所述的拉膜扩晶设备，其特征在于，所述视觉检测装置还包括设于所述安装件与所述活动夹持件之间的升降件，所述升降件的一侧连接于所述安装件，另一侧连接于所述活动夹持件，所述升降件用于驱使所述图像采集件在所述竖向方向上移动。
5.如权利要求4所述的拉膜扩晶设备，其特征在于，所述连接件包括连接体和导向体，所述连接体固定安装于所述安装件，所述导向体的一侧活动地连接于所述连接体，另一侧与所述图像采集件连接，所述导向体用于与所述连接体导向配合。
6.如权...
【专利技术属性】
技术研发人员：涂渭清，黄柏源，王元召，彭信翰，徐念，郭林豪，
申请(专利权)人：海目星激光科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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