【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本说明书属于氧化钛掺杂的二氧化硅玻璃，并且更具体来说，涉及具有增加的均质性以生产玻璃制品的氧化钛掺杂的二氧化硅玻璃。玻璃制品可以适用于极紫外光刻应用。
技术介绍
1、极紫外(euv)光刻使用光学件来照亮、投影、缩小图案图像以形成集成电路图案。使用极紫外辐射的益处在于可以实现更小的集成电路特征。目前，用于euv光刻的光学件是由低热膨胀玻璃(例如二氧化硅-氧化钛玻璃)制造得到的。通常通过火焰水解工艺来制造该玻璃，其中将高纯度前体注入火焰中来形成细的玻璃颗粒。然后，可以通过轴向压制、径向压制或者冷等静压制将细的玻璃颗粒成形成为制品。在此类火焰水解工艺中，将玻璃形成为细的玻璃颗粒。
2、在euv光刻系统中，玻璃通常涂覆反射表面来形成反射镜。此外，在euv光刻系统中，玻璃必须能够满足系统中严格的热膨胀要求。具体来说，当经受系统中的温度变化时，玻璃必须能够维持其表面形状(称作“外形(figure)”)。需要温度稳定的玻璃来避免euv投影光学件的波前特性中诱发的任何畸变。
技术实现思路
1、本公开内容的实施方案提供的玻璃主体能够有利地在euv光刻系统的运行过程中维持其外形。因此，根据本公开内容实施方式的玻璃主体减少或防止了euv投射光学件的任何波前特性。
2、根据第一个方面，本公开内容的实施方式涉及包含二氧化硅和氧化钛的玻璃。玻璃中的多个区段的平均羟基浓度范围是约20ppm至约450ppm，所述多个区段的平均氧化钛浓度范围是约6重量％至约12重量％，所述多个区段的最大折射
3、根据第二个方面，本公开内容的实施方式涉及包含二氧化硅和氧化钛的玻璃。玻璃的多个区段的平均羟基浓度约为800ppm或更大。所述多个区段的平均氧化钛浓度范围是约6重量％至约12重量％，所述多个区段的最大折射率与最小折射率的峰谷差约为1x10-4或更小，以及所述多个区段中的每个区段具有约12.7mm的长度、约12.7mm的宽度以及约7.62mm的高度。采用透射傅里叶变换红外光谱来测量每个区段的羟基浓度，以及采用633nm运行波长和270微米x 270微米像素尺寸的分辨率的光学干涉仪来测量折射率。
4、根据第三个方面，本公开内容的实施方式涉及包含二氧化硅和氧化钛的玻璃。玻璃的多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差约为100ppm或更小。所述多个区段的最大折射率与最小折射率的峰谷差约为1x10-4或更小，所述多个区段中的每个区段具有约12.7mm的长度、约12.7mm的宽度以及约7.62mm的高度。采用透射傅里叶变换红外光谱来测量每个区段的羟基浓度，以及采用633nm运行波长和270微米x 270微米像素尺寸的分辨率的光学干涉仪来测量折射率。所述多个区段包括玻璃的长度和宽度上每个相邻的区段，所述长度约为25mm或更大以及所述宽度为25mm或更大。
5、在以下的详细描述中给出了其他特征和优点，其中的部分特征和优点对本领域技术人员而言是容易理解的，或通过实施文字描述和其权利要求书以及附图中所述实施方式而被认识。
6、要理解的是，上面的一般性描述和下面的详细描述都仅仅是示例性的，用来提供理解权利要求书的性质和特点的总体评述或框架。
7、所附附图提供了进一步理解，附图被结合在本说明书中并构成说明书的一部分。附图是对本说明书所选择方面的示意，并且与说明书一起用来对属于本说明书的方法、产品和组合物的原理与操作进行解释。附图中所示的特征是所选择的本文的实施方式的示意，不必按比例绘制。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种玻璃，其包括：
2.如权利要求1所述的玻璃，其中，所述多个区段包括玻璃的长度和宽度上每个相邻的区段，所述长度约为25mm或更大以及所述宽度为25mm或更大。
3.如权利要求2所述的玻璃，其中，长度约为50mm或更大以及宽度约为50mm或更大。
4.如权利要求3所述的玻璃，其中，长度约为150mm或更大以及宽度约为150mm或更大。
5.如权利要求4所述的玻璃，其中，长度约为500mm或更大以及宽度约为500mm或更大。
6.如权利要求1-5中任意一项所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差约为50ppm或更小。
7.如权利要求6所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差约为20ppm或更小。
8.如权利要求7所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差约为10ppm或更小。
9.如权利要求8所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差约为5ppm或更小。
10.如权利要求1
11.如权利要求1-10中任意一项所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大折射率与最小折射率的峰谷差是约1x10-6至约1x10-4。
12.如权利要求1-11中任意一项所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大氧化钛浓度与最小氧化钛浓度的峰谷差约为0.0030重量％或更小。
13.如权利要求1-12中任一项所述玻璃，其中，玻璃不含卤化物。
14.如权利要求1-13中任意一项所述的玻璃，其中，具有相对更高羟基浓度的区段具有相对更低的零温度交点。
15.如权利要求14所述的玻璃，其中，具有最大羟基浓度的区段具有最小零温度交点。
16.如权利要求1-15中任意一项所述的玻璃，其中，所述多个区段的平均零交点温度是约10℃至约50℃。
17.如权利要求1-16中任意一项所述的玻璃，其中，玻璃是光掩模。
18.一种玻璃，其包括：
19.如权利要求18所述的玻璃，其中，所述多个区段包括玻璃的长度和宽度上每个相邻的区段，所述长度约为25mm或更大以及所述宽度为25mm或更大。
20.如权利要求19所述的玻璃，其中，长度约为50mm或更大以及宽度约为50mm或更大。
21.如权利要求20所述的玻璃，其中，长度约为150mm或更大以及宽度约为150mm或更大。
22.如权利要求21所述的玻璃，其中，长度约为500mm或更大以及宽度约为500mm或更大。
23.如权利要求18-22中任意一项所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差约为50ppm或更小。
24.如权利要求23所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差约为20ppm或更小。
25.如权利要求24所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差约为10ppm或更小。
26.如权利要求25所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差约为5ppm或更小。
27.如权利要求18-26中任意一项所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差与玻璃的尺寸根据如下表达式相关：P-VOH＝Y x Lc，
28.如权利要求18-27中任意一项所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大折射率与最小折射率的峰谷差是约1x10-6至约1x10-4。
29.如权利要求18-28中任意一项所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大氧化钛浓度与最小氧化钛浓度的峰谷差约为0.0030重量％或更小。
30.如权利要求18-29中任一项所述玻璃，其中，玻璃不含卤化物。
31.如权利要求18-30中任意一项所述的玻璃，其中，具有相对更高羟基浓度的区段具有相对更低的零温度交点。
32.如权利要求31所述的玻璃，其中，具有最大羟基浓度的区段具有最小零温度交点。
33.如权利要求18-32中任意一项所述的玻璃，其中，所述多个区段的平均零交点温度是约10℃至约50℃。
34.如权利要求18-33中任意一项所述的玻璃，其中，玻璃是光掩模。
35.一种玻璃，其包括：
36.如权利要求35所述的玻璃，其中，长度约为50mm或...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种玻璃，其包括：
2.如权利要求1所述的玻璃，其中，所述多个区段包括玻璃的长度和宽度上每个相邻的区段，所述长度约为25mm或更大以及所述宽度为25mm或更大。
3.如权利要求2所述的玻璃，其中，长度约为50mm或更大以及宽度约为50mm或更大。
4.如权利要求3所述的玻璃，其中，长度约为150mm或更大以及宽度约为150mm或更大。
5.如权利要求4所述的玻璃，其中，长度约为500mm或更大以及宽度约为500mm或更大。
6.如权利要求1-5中任意一项所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差约为50ppm或更小。
7.如权利要求6所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差约为20ppm或更小。
8.如权利要求7所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差约为10ppm或更小。
9.如权利要求8所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差约为5ppm或更小。
10.如权利要求1-9中任意一项所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大羟基浓度与最小羟基浓度的峰谷差与玻璃的尺寸根据如下表达式相关：p-voh＝y x lc，
11.如权利要求1-10中任意一项所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大折射率与最小折射率的峰谷差是约1x10-6至约1x10-4。
12.如权利要求1-11中任意一项所述的玻璃，其中，所述多个区段的最大氧化钛浓度与最小氧化钛浓度的峰谷差约为0.0030重量％或更小。
13.如权利要求1-12中任一项所述玻璃，其中，玻璃不含卤化物。
14.如权利要求1-13中任意一项所述的玻璃，其中，具有相对更高羟基浓度的区段具有相对更低的零温度交点。
15.如权利要求14所述的玻璃，其中，具有最大羟基浓度的区段具有最小零温度交点。
16.如权利要求1-15中任意一项所述的玻璃，其中，所述多个区段的平均零交点温度是约10℃至约50℃。
17.如权利要求1-16中任意一项所述的玻璃，其中，玻璃是光掩模。
18.一种玻璃，其包括：
19.如权利要求18所述的玻璃，其中，所述多个区段包括玻璃的长度和宽度上每个相邻的区段，所述长度约为25mm或更大以及所述宽度为25mm或更大。
20.如权利要求19所述的玻璃，其中，长度约为50mm或更大以及宽度约为50mm或更大。...
【专利技术属性】
技术研发人员：M·J·坎皮恩，K·E·贺迪纳，N·勒布隆，J·E·马克森，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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