【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶圆生产过程，具体涉及一种除泡设备用重载抽屉。
技术介绍
1、真空压力除泡系统又被称为真空压力烤箱，通过热流与压力配合，去除芯片填充材料中的气泡。主要应用包括底部填胶，银胶烧结，铟片焊接等。
2、现有技术中在批量化生产中，一般使用料盒（cassette）或卡夹（magazine）集中存储转运，部分客户产能需要高，在除泡系统层板会放置较多，同时物料价值较高，对结构稳定性要求很高，设计承重需达到100kg/层，部分特殊产品工艺，会使用到该极限工况，现有技术中的抽屉式内框架大多是使用钣金结构，承重无法满足，或现有技术中采用滑槽连接，导致抽拉不够顺滑，因此，需要改进。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种除泡设备用重载抽屉，以解决现有技术中除泡设备的隔板单层承重效果差，抽拉不顺滑的技术问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、第一方面，本技术提供了一种除泡设备用重载抽屉，包括外壳，设置在所述外壳内部的内壳，以及设置在所述内壳内部用于承重烘烤的隔板；
4、所述内壳内壁设置有用于卡合活动的滚轮，所述滚轮两个为一组设置为若干组，所述隔板侧边设置有边框型材，每组所述滚轮与所述边框型材活动连接，所述边框型材端部还设置有用于与所述滚轮卡合实现限位的限位挡块。
5、通过设置每两个滚轮为一组卡合隔板的侧边，实现抽拉顺滑，且通过采用peek材质为滚轮主体无金属摩擦碎屑产生，减少对芯片污染，且通过采用边框型材作为主要受
6、可选的，每个所述滚轮外周设置有朝向轴心开设的夹槽，所述边框型材两连接端设置有三角夹边，所述三角夹边为顶部朝向外侧与所述夹槽相适配设置看，通过设置夹槽及边框型材端部对应夹槽设置三角夹边，增加卡合连接效果及滑动的顺滑性。
7、可选的，每个所述滚轮轴心设置有固定轴与所述内壳内壁连接，且所述固定轴轴向设置有一对轴承与所述滚轮连接，本技术方案中每个固定轴轴向均套设两颗高温轴承，以实现减小高温对隔板运动的影响。
8、可选的，所述隔板还设置有若干个便于空气流通的通孔，且所述隔板底部设置有若干个承重杆与所述边框型材两对侧边连接，且所述边框型材端部还设置有便于握持的拉手，通过设置通孔便于空气流通增加烘烤效果，通过设置若干个承重杆增加承重能力，且通过设置拉手便于握持。
9、第二方面，本技术还提供了一种除泡设备用重载抽屉，包括外壳，设置在所述外壳内部的内壳，以及设置在所述内壳内部用于承重烘烤的隔板；
10、所述内壳内部设置有固定块，所述固定块设置有用于连接滑动的十字滑槽，所述隔板侧边设置有与十字滑槽相适配卡接的十字侧边型材，所述隔板端部侧边设置有支撑连接挡板，且所述内壳侧边设置有拉杆与所述支撑连接挡板连接以增加支撑效果。
11、通过设置十字滑槽及对应十字滑槽设置的十字侧边型材，增加隔板在侧边的连接效果，避免隔板上承载过重导致连接处损坏，且通过设置拉杆连接支撑连接挡板增加隔板拉出端的承重效果。
12、可选的，所述内壳端部侧边台阶状槽口，所述槽口对应隔板侧边设置有大铰接座，所述支撑连接挡板设置有小铰接座，所述大铰接座及小铰接座间设置有用于增加支撑承重效果的伸缩支撑杆，通过在大铰接座及小铰接座间设置伸缩支撑杆连接，随着隔板拉出至内壳外部，大铰接座、小铰接座及拉杆伸出端形成三角形结构，增加隔板拉出内壳段在外部的承重能力。
13、可选的，所述隔板还设置有若干个便于空气流通的通孔，且所述边框型材端部还设置有便于握持的拉手。
14、本技术的有益效果和优点：
15、该除泡设备用重载抽屉具有以下益处：
16、通过设置每两个滚轮为一组卡合隔板的侧边，实现抽拉顺滑，且通过采用peek材质为滚轮主体无金属摩擦碎屑产生，减少对芯片污染，且通过采用边框型材作为主要受力部件，大大提高装置整体的承重能力。
17、通过设置夹槽及边框型材端部对应夹槽设置三角夹边，增加卡合连接效果及滑动的顺滑性。通过在每个固定轴轴向均套设两颗高温轴承，以实现减小高温对隔板运动的影响。
18、通过设置十字滑槽及对应十字滑槽设置的十字侧边型材，增加隔板在侧边的连接效果，避免隔板上承载过重导致连接处损坏，且通过设置拉杆连接支撑连接挡板增加隔板拉出端的承重效果。通过设置大铰接座、小铰接座及拉杆伸出端形成三角形结构，增加隔板拉出内壳段在外部的承重能力。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种除泡设备用重载抽屉，其特征在于：包括外壳（1），设置在所述外壳（1）内部的内壳（2），以及设置在所述内壳（2）内部用于承重烘烤的隔板（7）；
2.根据权利要求1所述的一种除泡设备用重载抽屉，其特征在于： 每个所述滚轮（3）外周设置有朝向轴心开设的夹槽（6），所述边框型材（8）两连接端设置有三角夹边（10），所述三角夹边（10）为顶部朝向外侧与所述夹槽（6）相适配设置。
3.根据权利要求1或2所述的一种除泡设备用重载抽屉，其特征在于： 每个所述滚轮（3）轴心设置有固定轴（4）与所述内壳（2）内壁连接，且所述固定轴（4）轴向设置有一对轴承（5）与所述滚轮（3）连接。
4.根据权利要求1所述的一种除泡设备用重载抽屉，其特征在于：所述隔板（7）还设置有若干个便于空气流通的通孔（11），且所述隔板（7）底部设置有若干个承重杆（13）与所述边框型材（8）两对侧边连接，且所述边框型材（8）端部还设置有便于握持的拉手（9）。
【技术特征摘要】
1.一种除泡设备用重载抽屉，其特征在于：包括外壳（1），设置在所述外壳（1）内部的内壳（2），以及设置在所述内壳（2）内部用于承重烘烤的隔板（7）；
2.根据权利要求1所述的一种除泡设备用重载抽屉，其特征在于： 每个所述滚轮（3）外周设置有朝向轴心开设的夹槽（6），所述边框型材（8）两连接端设置有三角夹边（10），所述三角夹边（10）为顶部朝向外侧与所述夹槽（6）相适配设置。
3.根据权利要求1或2所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：张景南，陈明展，程翔，
申请(专利权)人：南京屹立芯创半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。