【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显微检测，特别是涉及一种显微光学内部微观缺陷检测设备及其检测方法。
技术介绍
1、当前大部分工业显微检测的光学系统都是使用显微系统，即利用显微物镜的高分辨率来实现产品微观缺陷或特征的高精度检测。
2、但是显微镜分辨率越高，则na必须越大，因此景深就越小，分辨率和景深两个指标之间是矛盾的。因此工业显微检测设备只能检测待检元件的表面，而不能检测元件内部缺陷。
3、在高端精密制造领域，元件内部细微缺陷的检测至关重要，业界对此存在迫切的需求，然而另一方面市场尚缺乏有效的检测设备，因此亟需填补技术空白。
技术实现思路
1、本专利技术旨在解决现有检测方式无法对元件内部进行高精度检测的问题，提供一款能够高精度地检测（透明）元件内部微观缺陷的光学内部微观缺陷检测设备，能够满足工业领域高精度体缺陷检测的需求。
2、本申请采用如下技术方案：
3、一种显微光学内部微观缺陷检测设备，包括显微物镜，显微物镜的物面浸没于折射率匹配液中，折射率匹配液的折射率与待测样品相匹配，显微物镜的物面可相对待检测样品移动，以使显微物镜对焦至待检测样品内部的不同高度。
4、优选地，待检测样品与显微物镜的物面均浸没于折射率匹配液中，待检测样品或显微物镜可在折射率匹配液内移动。
5、优选地，待检测样品设于折射率匹配液外，折射率匹配液上设有介于显微物镜的物面和待检测样品之间的窗口片，窗口片和待检测样品之间位置固定不变，显微物镜可在折射率匹配液内移
6、优选地，显微物镜的整个物方折射率与待检测样品折射率相等。
7、优选地，折射率匹配方法如下：
8、将折射率匹配介质设为恒定折射率值；
9、检测时，设计值与待检测样品的折射率曲线之交点即为工作波长；
10、定制折射率匹配液，在工作波长处满足设计折射率值。
11、优选地，折射率匹配方法如下：
12、将折射率匹配介质设为一已知的折射率匹配液；
13、检测时，折射率匹配液与待检测样品的折射率曲线之交点即为工作波长。
14、本申请另一目的是提供一种显微光学自动检测方法，应用上述的一种显微光学自动检测装置，包括以下步骤：
15、获取与待测样品折射率相匹配的折射率匹配液；
16、将显微物镜的物面浸没于折射率匹配液中；
17、移动显微物镜的物面和待检测样品之间的相对距离，扫描整个待检测样品内部。
18、优选地，移动显微物镜的物面和待检测样品之间的相对距离，具体包括：
19、显微物镜与待检测样品之间起始工作距离使得显微物镜刚好聚焦于待检测样品上表面，然后显微物镜向下移动，扫描整个待检测样品内部。
20、优选地，移动显微物镜的物面和待检测样品之间的相对距离，具体包括：
21、显微物镜与待检测样品之间起始工作距离使得显微物镜刚好聚焦于待检测样品下表面，然后显微物镜向上移动，扫描整个待检测样品内部。
22、优选地，移动显微物镜的物面和待检测样品之间的相对距离，具体包括：
23、显微物镜不动，待检测样品上下移动，扫描整个样品内部。
24、相比于现有技术，本专利技术的有益效果在于：
25、本申请提供一种显微光学内部微观缺陷检测设备及其检测方法，以折射率介质作为物方介质的显微物镜，折射率介质为液态，其折射率与待测样品精准匹配，显微物镜的物面浸没于折射率匹配液中，检测时，显微物镜的物面可相对待检测样品移动，以使显微物镜对焦至待检测样品内部的不同高度，以此实现元件内部缺陷全检测，本专利技术可以解决现有检测方式无法对元件内部进行高精度检测的问题，满足工业领域高精度体缺陷检测的需求。
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1.一种显微光学内部微观缺陷检测设备，其特征在于：包括显微物镜，显微物镜的物面浸没于折射率匹配液中，折射率匹配液的折射率与待测样品相匹配，显微物镜的物面可相对待检测样品移动，以使显微物镜对焦至待检测样品内部的不同高度。
2.根据权利要求1所述的一种显微光学内部微观缺陷检测设备，其特征在于：待检测样品与显微物镜的物面均浸没于折射率匹配液中，待检测样品或显微物镜可在折射率匹配液内移动。
3.根据权利要求1所述的一种显微光学内部微观缺陷检测设备，其特征在于：待检测样品设于折射率匹配液外，折射率匹配液上设有介于显微物镜的物面和待检测样品之间的窗口片，窗口片和待检测样品之间位置固定不变，显微物镜可在折射率匹配液内移动。
4.根据权利要求1所述的一种显微光学内部微观缺陷检测设备，其特征在于：显微物镜的整个物方折射率与待检测样品折射率相等。
5.根据权利要求1所述的一种显微光学内部微观缺陷检测设备，其特征在于：折射率匹配方法如下：
6.根据权利要求1所述的一种显微光学内部微观缺陷检测设备，其特征在于：折射率匹配方法如下：
8.根据权利要求7所述的一种显微光学自动检测方法，其特征在于：移动显微物镜的物面和待检测样品之间的相对距离，具体包括：
9.根据权利要求7所述的一种显微光学自动检测方法，其特征在于：移动显微物镜的物面和待检测样品之间的相对距离，具体包括：
10.根据权利要求7所述的一种显微光学自动检测方法，其特征在于：移动显微物镜的物面和待检测样品之间的相对距离，具体包括：显微物镜不动，待检测样品上下移动，扫描整个样品内部。
...【技术特征摘要】
1.一种显微光学内部微观缺陷检测设备，其特征在于：包括显微物镜，显微物镜的物面浸没于折射率匹配液中，折射率匹配液的折射率与待测样品相匹配，显微物镜的物面可相对待检测样品移动，以使显微物镜对焦至待检测样品内部的不同高度。
2.根据权利要求1所述的一种显微光学内部微观缺陷检测设备，其特征在于：待检测样品与显微物镜的物面均浸没于折射率匹配液中，待检测样品或显微物镜可在折射率匹配液内移动。
3.根据权利要求1所述的一种显微光学内部微观缺陷检测设备，其特征在于：待检测样品设于折射率匹配液外，折射率匹配液上设有介于显微物镜的物面和待检测样品之间的窗口片，窗口片和待检测样品之间位置固定不变，显微物镜可在折射率匹配液内移动。
4.根据权利要求1所述的一种显微光学内部微观缺陷检测设备，其特征在于：显微物镜的整个物方折射率与待检测样品折射率相等。
...【专利技术属性】
技术研发人员：汤祝熙，潘正江，林子渊，苏瀛浩，
申请(专利权)人：弘景光电仙桃科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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