一种加热炉的抽真空冷却装置以及加热处理设备制造方法及图纸

本申请公开一种加热炉的抽真空冷却装置以及加热处理设备，抽真空冷却装置包括：冷却器，设有进气口、排气口以及补气口，所述进气口通过进气管连接所述加热炉，以接收所述加热炉输出的工艺废气，所述排气口与排气管连接，所述补气口通过补气管接收冷却气体；真空泵，与所述排气管连接；真空计和温度传感器，均设置在所述排气管上。通过在补气管中输入冷却气体，用于与工艺废气混合，可以提升对加热炉中排出的高温工艺废气的冷却效果，同时利用工艺流程的特点，充分利用加热炉进行工艺时真空泵所具有的抽速余量，节省技术方案实施成本。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光伏生产设备领域，具体涉及一种加热炉的抽真空冷却装置以及加热处理设备。

技术介绍

1、太阳能电池的制备过程中，硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。其中扩散炉、氧化炉以及ald、cvd等镀膜设备都需要对腔室进行加热并抽真空来进行工艺。以扩散炉为例，硅片以石英舟为载体放入扩散炉中，在一定温度下向扩散炉内通入氮气和扩散源，以使硅片的表面扩散沉积pn结。扩散炉的扩散工艺是在高温下进行，工艺废气需要连接真空泵抽出，但是由于工艺废气温度过高，需通过冷却器来降温，现有技术中是通过增加冷却器的进气管的长度或者通过在冷却器内部增加阻挡部件，使得工艺废气在从冷却器中被抽出前能够流动更长的时间以达到降温的效果，但是这样的降温效果仍欠佳，不仅会使得真空泵中的塑料件被高温烤坏或者老化，还会造成管路接头密封圈等处的损坏。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，本申请提供一种加热炉的抽真空冷却装置以及加热处理设备，可以提升冷却效果，保护真空泵和管路接头密封圈等处。

2、为了解决上述问题，本申请提供一种加热炉的抽真空冷却装置，所述抽真空冷却装置包括：冷却器，设有进气口、排气口以及补气口，所述进气口通过进气管连接所述加热炉，以接收所述加热炉输出的工艺废气，所述排气口与排气管连接，所述补气口通过补气管接收冷却气体；真空泵，与所述排气管连接；真空计和温度传感器，均设置在所述排气管上。

3、在一实施方式中，所述抽真空冷却装置还包括：变频器，与所述真空泵耦接，以调节所述真空泵的抽速；阀门，设置在所述补气管上，以调节所述补气管中所述冷却气体的流量。

4、在一实施方式中，在所述冷却器的内部设有隔板，所述隔板位于所述进气口和所述排气口之间，所述隔板设有供气流穿过的连通部。

5、在一实施方式中，所述补气口与所述进气口位于所述隔板的同一侧。

6、在一实施方式中，所述连通部包括气孔、缺口中的至少一种。

7、在一实施方式中，所述隔板上的连通部与所述排气口错位设置。

8、在一实施方式中，所述冷却器的内部设有多层所述隔板，多层所述隔板间隔设置，且相邻的所述隔板的所述连通部错位设置。

9、在一实施方式中，所述补气口的气体路径与所述进气口的气流路径在到达所述隔板前相交设置。

10、在一实施方式中，所述冷却器包括侧壁、第一端部和第二端部，所述第一端部与所述第二端部相对设置于所述隔板的两侧且均与所述侧壁连接，其中，所述进气口与所述第一端部位于所述隔板同侧，所述进气口和所述补气口的气流方向均指向所述第一端部，所述排气口与所述第二端部位于所述隔板同侧。

11、在一实施方式中，所述第一端部的内表面呈凹面。

12、在一实施方式中，所述抽真空冷却装置还包括：过滤器，连通设置于所述排气口的下游，用于过滤所述排气口排出的气体。

13、本申请还提供一种加热处理设备，包括如上述任一项实施例中所述的抽真空冷却装置以及加热炉，其中，所述加热炉的排气端与所述进气管连接。

14、区别于现有技术情况，本申请的有益效果是：冷却器连接有第一进气管、第一排气管和补气管，且在第一排气管上设置真空计和温度传感器，根据监测的温度传感器的温度，可以通过调整补气管中冷却气体的气体流量实现气体温度的调整，同时，根据监测的真空计的压强，可以通过调整真空泵的抽速以使压强稳定；通过本申请的结构，通过在补气管中输入冷却气体，用于与工艺废气混合，可以提升对加热炉中排出的高温工艺废气的冷却效果，避免真空泵中的塑料件被高温烤坏/老化，以及管路接头密封圈等处的损坏，同时利用工艺流程的特点，充分利用加热炉进行工艺时真空泵所具有的抽速余量，节省技术方案实施成本。

15、上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本申请的具体实施方式。

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【技术保护点】

1.一种加热炉的抽真空冷却装置，其特征在于，所述抽真空冷却装置包括：

2.根据权利要求1所述的抽真空冷却装置，其特征在于，所述抽真空冷却装置还包括：

3.根据权利要求1所述的抽真空冷却装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的抽真空冷却装置，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的抽真空冷却装置，其特征在于，

6.根据权利要求3所述的抽真空冷却装置，其特征在于，

7.根据权利要求3所述的抽真空冷却装置，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的抽真空冷却装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的抽真空冷却装置，其特征在于，

10.根据权利要求9所述的抽真空冷却装置，其特征在于，

11.根据权利要求1所述的抽真空冷却装置，其特征在于，所述抽真空冷却装置还包括：

12.一种加热处理设备，其特征在于，包括如权利要求1至11任一项所述的抽真空冷却装置以及加热炉，其中，所述加热炉的排气端与所述进气管连接。

【技术特征摘要】

1.一种加热炉的抽真空冷却装置，其特征在于，所述抽真空冷却装置包括：

2.根据权利要求1所述的抽真空冷却装置，其特征在于，所述抽真空冷却装置还包括：

3.根据权利要求1所述的抽真空冷却装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的抽真空冷却装置，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的抽真空冷却装置，其特征在于，

6.根据权利要求3所述的抽真空冷却装置，其特征在于，

7.根据权利要求3所述的抽真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛文瑞，浦锡伟，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：