【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅生产，具体的说是一种重掺单晶炉主炉室测温装置。
技术介绍
1、目前，为了尽可能降低硅电子器件的开关耗损，提升器件效率，这就要求单晶硅衬底具有更低的电阻率，比如微波功率器件、肖特基器件、场控高频器件等，要求单晶硅衬底的电阻率达到3mω·cm以下。为了获得超低阻值电阻率，单晶硅制备过程中需要高浓度的掺杂。
2、在重掺单晶硅拉制过程中，为了保证晶体的顺利生长，在主炉室上开设有测温孔，测温孔处设置有测温仪来获取主炉室内的温度，测温仪与主炉室之间设置有用于封堵测温孔的玻璃，但是，重掺单晶炉内由于高炉压和大量杂质挥发物，导致杂质在测温孔处聚集，进而造成玻璃沾污，影响测温信号，进而影响测温精度。
技术实现思路
1、为了解决现有技术中玻璃沾污的问题，本技术提供一种重掺单晶炉主炉室测温装置，避免杂质在测温孔和玻璃处聚集，提高测温仪测量主炉室内温度的精准度，从而保证重掺单晶的稳定生长。
2、为了实现上述目的，本技术采用的具体方案为：一种重掺单晶炉主炉室测温装置，所述主炉室侧壁开设有测温孔，测温装置设置在主炉室外侧且位于测温孔处，测温装置包括玻璃和用于检测主炉室内温度的测温仪，玻璃位于测温仪和主炉室之间，测温仪的激光束与测温孔的中心线重合，玻璃与主炉室外侧壁之间设置有两端开口的吹尘筒，吹尘筒的一端与炉体外侧壁密封连接，吹尘筒的另外一端与玻璃密封连接，吹尘筒的侧壁设置有朝向主炉室吹气的进气管，进气管的出气口位于吹尘筒内且与测温孔中心线之间具有间距。
3、
4、作为上述一种重掺单晶炉主炉室测温装置的另一种优化方案：环形凸台与吹尘筒之间设置有第一密封圈。
5、作为上述一种重掺单晶炉主炉室测温装置的另一种优化方案：所述进气管包括垂直部，垂直部的一端伸出吹尘筒，垂直部的另外一端伸入吹尘筒内腔且朝向主炉室方向弯折形成折弯部。
6、作为上述一种重掺单晶炉主炉室测温装置的另一种优化方案：所述折弯部的延伸方向与垂直部的延伸方向的夹角为90-120°。
7、作为上述一种重掺单晶炉主炉室测温装置的另一种优化方案：所述吹尘筒包括同轴设置的连接部和无尘部，连接部与主炉室外侧壁固定连接，玻璃与无尘部远离主炉室的一端密封连接，进气管设置在无尘部且进气管出气口位于连接部内。
8、作为上述一种重掺单晶炉主炉室测温装置的另一种优化方案：环绕所述连接部靠近主炉室端部外侧壁设置有固定环，固定环与主炉室外侧壁固定连接。
9、作为上述一种重掺单晶炉主炉室测温装置的另一种优化方案：所述连接部内同轴设置有分子筛，分子筛上开设有可供测温仪激光束穿过的穿孔和与进气管出气口相对应的气孔。
10、作为上述一种重掺单晶炉主炉室测温装置的另一种优化方案：所述吹尘筒远离主炉室一端设置有固定连接有用于安装测温仪的底座。
11、与现有技术相比，本技术有如下有益效果：
12、1、本技术提供一种重掺单晶炉主炉室测温装置，玻璃与主炉室之间设置吹尘筒，吹尘筒上设置有进气管，进气管朝向主炉室内腔吹气，抑制杂质通过测温孔进入吹尘筒内，进而避免杂质在测温孔和玻璃处聚集，提高测温仪测量主炉室内温度的精准度，保证重掺单晶的稳定生长；进气管的出气口与测温孔中心线之间具有间距，避免进气管干涉测温仪信号。
13、2、本技术中，在连接部设置有分子筛，进一步防止杂质气体进入无尘部内腔；穿孔的设置避免分子筛干扰测温仪信号，气孔的设置保证进气管吹出的气体高效工作。
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1.一种重掺单晶炉主炉室测温装置，所述主炉室(1)侧壁开设有测温孔(101)，测温装置设置在主炉室(1)外侧且位于测温孔(101)处，测温装置包括玻璃(6)和用于检测主炉室(1)内温度的测温仪(3)，玻璃(6)位于测温仪(3)和主炉室(1)之间，测温仪(3)的激光束与测温孔(101)的中心线重合，其特征在于：玻璃(6)与主炉室(1)外侧壁之间设置有两端开口的吹尘筒(2)，吹尘筒(2)的一端与炉体外侧壁密封连接，吹尘筒(2)的另外一端与玻璃(6)密封连接，吹尘筒(2)的侧壁设置有朝向主炉室(1)吹气的进气管(5)，进气管(5)的出气口位于吹尘筒(2)内且与测温孔(101)中心线之间具有间距。
2.如权利要求1所述的一种重掺单晶炉主炉室测温装置，其特征在于：主炉室(1)外侧壁环绕测温孔(101)具有朝向主炉室(1)外侧延伸的环形凸台(102)，吹尘筒(2)与环形凸台(102)固定连接。
3.如权利要求2所述的一种重掺单晶炉主炉室测温装置，其特征在于：环形凸台(102)与吹尘筒(2)之间设置有第一密封圈(202)。
4.如权利要求1所述的一种重掺单晶
5.如权利要求4所述的一种重掺单晶炉主炉室测温装置，其特征在于：所述折弯部的延伸方向与垂直部的延伸方向的夹角为90-120°。
6.如权利要求1所述的一种重掺单晶炉主炉室测温装置，其特征在于：所述吹尘筒(2)包括同轴设置的连接部(201)和无尘部(203)，连接部(201)与主炉室(1)外侧壁固定连接，玻璃(6)与无尘部(203)远离主炉室(1)的一端密封连接，进气管(5)设置在无尘部(203)且进气管(5)出气口位于连接部(201)内。
7.如权利要求6所述的一种重掺单晶炉主炉室测温装置，其特征在于：所述连接部(201)的内径等于测温孔(101)的直径，无尘部(203)的内径大于测温孔(101)的直径。
8.如权利要求6所述的一种重掺单晶炉主炉室测温装置，其特征在于：环绕所述连接部(201)靠近主炉室(1)端部外侧壁设置有固定环，固定环与主炉室(1)外侧壁固定连接。
9.如权利要求6所述的一种重掺单晶炉主炉室测温装置，其特征在于：所述连接部(201)内同轴设置有分子筛(4)，分子筛(4)上开设有可供测温仪(3)激光束穿过的穿孔(402)和与进气管(5)出气口相对应的气孔(401)。
10.如权利要求1所述的一种重掺单晶炉主炉室测温装置，其特征在于：所述吹尘筒(2)远离主炉室(1)一端设置有固定连接有用于安装测温仪(3)的底座(301)。
...【技术特征摘要】
1.一种重掺单晶炉主炉室测温装置，所述主炉室(1)侧壁开设有测温孔(101)，测温装置设置在主炉室(1)外侧且位于测温孔(101)处，测温装置包括玻璃(6)和用于检测主炉室(1)内温度的测温仪(3)，玻璃(6)位于测温仪(3)和主炉室(1)之间，测温仪(3)的激光束与测温孔(101)的中心线重合，其特征在于：玻璃(6)与主炉室(1)外侧壁之间设置有两端开口的吹尘筒(2)，吹尘筒(2)的一端与炉体外侧壁密封连接，吹尘筒(2)的另外一端与玻璃(6)密封连接，吹尘筒(2)的侧壁设置有朝向主炉室(1)吹气的进气管(5)，进气管(5)的出气口位于吹尘筒(2)内且与测温孔(101)中心线之间具有间距。
2.如权利要求1所述的一种重掺单晶炉主炉室测温装置，其特征在于：主炉室(1)外侧壁环绕测温孔(101)具有朝向主炉室(1)外侧延伸的环形凸台(102)，吹尘筒(2)与环形凸台(102)固定连接。
3.如权利要求2所述的一种重掺单晶炉主炉室测温装置，其特征在于：环形凸台(102)与吹尘筒(2)之间设置有第一密封圈(202)。
4.如权利要求1所述的一种重掺单晶炉主炉室测温装置，其特征在于：所述进气管(5)包括垂直部，垂直部的一端伸出吹尘筒(2)，垂直部的另外一端伸入吹尘筒(2)内腔且朝向主炉室(1)方向弯折形成折弯部。
5.如权利要求4所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：马武祥，范吉祥，令狐铁兵，吴彦国，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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