一种力学传感器芯片快速检测装置制造方法及图纸

本技术涉及一种力学传感器芯片快速检测装置，包括装置底座，所述的装置底座上端的一侧安装有滑块以及驱动滑块横向滑动的动力装置，所述的滑块上端安装有检测用力传感器结构，所述的装置底座上端的另一侧设有凸台，该凸台上部靠近滑块的一侧开设有放置槽，所述的凸台上端安装有支架，该支架呈倒置的L型，所述的支架的内侧安装有上下滑动的升降座，该支架上端竖直安装有与升降座相连的升降气缸，所述的升降座下端安装有芯片检测片。本技术具有结构简单、测试精度高、测试时间短、降低传感器工业化量产中的测试时间成本、节约产品生产成本等优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及力学传感器芯片检测，特别是涉及一种力学传感器芯片快速检测装置。

技术介绍

1、工业自动化、智能化的发展，造就了传感器产业的蓬勃，其中以力学传感器的技术开发尤为最甚，以应变片式力学传感器为例子，使用金属或是半导体材料作为感应核心材料，当其到外力作用时，其电阻值产生改变，因此可藉由其阻值改变的线性关系进行外部力学侦测，为了开发更具灵敏度、精度、量程、快速响应等特性的新型传感器。

2、以石英谐振式晶体作为力学传感器的敏感单元，其振荡频率在受到外力作用时，其频率改变量可作为其侦测值，可具备更优秀的物理特性，可取代传统应变片式的力学传感器，然而在进行石英谐振式力学传感器的量产过程中，必须对传感器敏感单元进行力学与频率的检测动作，作为其出货质量的要求，对于石英谐振式力学传感器的量产检测，需要同时侦测受力值大小与频率变化的关系，对于短时间内需要大量检测的目标有其困难度，因此需要使用更为简单方便的装置来达成其量产要求。

技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题是提供一种力学传感器芯片快速检测装置，具有结构简单、测试精度高、测试时间短、降低传感器工业化量产中的测试时间成本、节约产品生产成本等优点。

2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种力学传感器芯片快速检测装置，包括装置底座，所述的装置底座上端的一侧安装有滑块以及驱动滑块横向滑动的动力装置，所述的滑块上端安装有检测用力传感器结构，所述的装置底座上端的另一侧设有凸台，该凸台上部靠近滑块的一侧开设有放置槽，所述的凸台上端安装有支架，该支架呈倒置的l型，所述的支架的内侧安装有上下滑动的升降座，该支架上端竖直安装有与升降座相连的升降气缸，所述的升降座下端安装有芯片检测片。

3、作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的动力装置包括动力电机和横向滑轨，所述的装置底座上端的一侧安装有动力电机，该装置底座上端位于凸台与动力电机之间并列布置有两个横向滑轨，所述的滑块沿着横向滑轨滑动，所述的装置底座上端位于两个横向滑轨之间平行布置有螺杆，该螺杆一端与动力电机的输出轴相连，所述的滑块下部与螺杆螺纹连接。

4、作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的装置底座上端的一侧安装有电机固定座，所述的动力电机固定在电机固定座外侧，所述的螺杆的两端分别与凸台以及电机固定座转动连接，所述的动力电机的输出轴穿过电机固定座与螺杆相连。

5、作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的检测用力传感器结构一端安装有顶球。

6、作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的芯片检测片上设置有检测点，该检测点用于与力学传感器芯片上的电极接触进行检测工作。

7、作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的支架的内侧安装有竖直滑轨，所述的升降座沿着竖直滑轨上下滑动。

8、作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的滑块上端安装有力传感器固定座，该力传感器固定座一端固定有检测用力传感器结构。

9、作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的检测用力传感器结构呈s型结构，该检测用力传感器结构内部安装有力学感应敏感单元。

10、有益效果：本技术涉及一种力学传感器芯片快速检测装置，以芯片检测片与检测用力传感器结构作为标定装置，在水平方向以动力装置对力学传感器芯片进行施力，可对力学传感器芯片同时进行力与频率的侦测，进而确认力学传感器芯片的物理参数，作为其产品质量的判断。本技术具有结构简单、测试精度高、测试时间短、降低传感器工业化量产中的测试时间成本、节约产品生产成本等优点。

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【技术保护点】

1.一种力学传感器芯片快速检测装置，包括装置底座(101)，其特征在于：所述的装置底座(101)上端的一侧安装有滑块(105)以及驱动滑块(105)横向滑动的动力装置，所述的滑块(105)上端安装有检测用力传感器结构(202)，所述的装置底座(101)上端的另一侧设有凸台(106)，该凸台(106)上部靠近滑块(105)的一侧开设有放置槽(107)，所述的凸台(106)上端安装有支架(209)，该支架(209)呈倒置的L型，所述的支架(209)的内侧安装有上下滑动的升降座(206)，该支架(209)上端竖直安装有与升降座(206)相连的升降气缸(208)，所述的升降座(206)下端安装有芯片检测片(205)。

2.根据权利要求1所述的一种力学传感器芯片快速检测装置，其特征在于：所述的动力装置包括动力电机(102)和横向滑轨(104)，所述的装置底座(101)上端的一侧安装有动力电机(102)，该装置底座(101)上端位于凸台(106)与动力电机(102)之间并列布置有两个横向滑轨(104)，所述的滑块(105)沿着横向滑轨(104)滑动，所述的装置底座(101)上端位于两个横向滑轨(104)之间平行布置有螺杆(108)，该螺杆(108)一端与动力电机(102)的输出轴相连，所述的滑块(105)下部与螺杆(108)螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种力学传感器芯片快速检测装置，其特征在于：所述的装置底座(101)上端的一侧安装有电机固定座(103)，所述的动力电机(102)固定在电机固定座(103)外侧，所述的螺杆(108)的两端分别与凸台(106)以及电机固定座(103)转动连接，所述的动力电机(102)的输出轴穿过电机固定座(103)与螺杆(108)相连。

4.根据权利要求1所述的一种力学传感器芯片快速检测装置，其特征在于：所述的检测用力传感器结构(202)一端安装有顶球(203)。

5.根据权利要求1所述的一种力学传感器芯片快速检测装置，其特征在于：所述的芯片检测片(205)上设置有检测点，该检测点用于与力学传感器芯片(204)上的电极接触进行检测工作。

6.根据权利要求1所述的一种力学传感器芯片快速检测装置，其特征在于：所述的支架(209)的内侧安装有竖直滑轨(207)，所述的升降座(206)沿着竖直滑轨(207)上下滑动。

7.根据权利要求1所述的一种力学传感器芯片快速检测装置，其特征在于：所述的滑块(105)上端安装有力传感器固定座(201)，该力传感器固定座(201)一端固定有检测用力传感器结构(202)。

8.根据权利要求1所述的一种力学传感器芯片快速检测装置，其特征在于：所述的检测用力传感器结构(202)呈S型结构，该检测用力传感器结构(202)内部安装有力学感应敏感单元。

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【技术特征摘要】

1.一种力学传感器芯片快速检测装置，包括装置底座(101)，其特征在于：所述的装置底座(101)上端的一侧安装有滑块(105)以及驱动滑块(105)横向滑动的动力装置，所述的滑块(105)上端安装有检测用力传感器结构(202)，所述的装置底座(101)上端的另一侧设有凸台(106)，该凸台(106)上部靠近滑块(105)的一侧开设有放置槽(107)，所述的凸台(106)上端安装有支架(209)，该支架(209)呈倒置的l型，所述的支架(209)的内侧安装有上下滑动的升降座(206)，该支架(209)上端竖直安装有与升降座(206)相连的升降气缸(208)，所述的升降座(206)下端安装有芯片检测片(205)。

2.根据权利要求1所述的一种力学传感器芯片快速检测装置，其特征在于：所述的动力装置包括动力电机(102)和横向滑轨(104)，所述的装置底座(101)上端的一侧安装有动力电机(102)，该装置底座(101)上端位于凸台(106)与动力电机(102)之间并列布置有两个横向滑轨(104)，所述的滑块(105)沿着横向滑轨(104)滑动，所述的装置底座(101)上端位于两个横向滑轨(104)之间平行布置有螺杆(108)，该螺杆(108)一端与动力电机(102)的输出轴相连，所述的滑块(105)下部与螺杆(108)螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种力学传感器芯片快...

【专利技术属性】
技术研发人员：程继光，巫晟逸，周强，刘秋实，汪林亮，赵岷江，
申请(专利权)人：台晶宁波电子有限公司，
类型：新型
国别省市：