表面处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种表面处理装置，其能够在使表面处理槽内保持真空状态的同时，使收纳在该表面处理槽内的作业机构上下移动，并使作业机构旋转或摆动等。上述表面处理装置包括：耐压槽（１），其内部能够成为真空状态；筒形的耐压外壳（７），其插入在上述耐压槽内并且上端侧从耐压槽向外侧凸出，在该凸出部（１７）连接有上下移动机构（１８），从而该耐压外壳能够上下移动；旋转驱动机构（１６），其配置于上述凸出部；驱动轴（１３），其与上述旋转驱动机构连接从而能够旋转，并且该驱动轴贯穿耐压外壳地进行配置；作业机构（３４），驱动轴的驱动力经与该驱动轴的下部连接的旋转传递机构（２４）传递至该作业机构，从而该作业机构进行表面处理作业；耐压真空密封件（３６），其配置在上述耐压槽与耐压外壳之间的外部气体连通部，用于保持耐压槽内的气密性；以及驱动真空密封件（４０），其配置在上述耐压外壳与驱动轴之间的外部气体连通部，或／和配置在上述耐压外壳与旋转传递机构之间的外部气体连通部，用于保持耐压槽内的气密性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种表面处理装置，其特征在于，　上述表面处理装置包括：　耐压槽，其内部能够成为真空状态；　筒形的耐压外壳，其下端侧插入在上述耐压槽内并且上端侧从耐压槽凸出到外侧，在该凸出部连接有上下移动机构，从而上述耐压外壳能够上下移动； 　旋转驱动机构，其配置于上述耐压外壳的凸出部；　驱动轴，其与上述旋转驱动机构连接从而能够旋转，并且该驱动轴贯穿耐压外壳地进行配置；　作业机构，驱动轴的驱动力经与上述驱动轴的下部连接的旋转传递机构传递至该作业机构，从而该作业 机构进行表面处理作业；　耐压真空密封件，其配置在上述耐压槽与耐压外壳之间的外部气体连通部，用于保持耐压槽内的气密性；以及　驱动真空密封件，其配置在上述耐压外壳与驱动轴之间的外部气体连通部，或／和配置在上述耐压外壳与旋转传递机构之 间的外部气体连通部，用于保持耐压槽内的气密性。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：内野正英，
申请(专利权)人：日本原野株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]