一种防滑舟架制造技术

本技术公开了一种防滑舟架，包括：顶板、底板和多根支撑杆，多根支撑杆的顶部和底部分别与顶板和底板可拆卸安装，支撑杆内侧沿着竖直方向均布有多个卡槽，所述卡槽底部设有支撑台阶，所述支撑台阶用于承载晶圆，并将晶圆限位在卡槽内。本技术具有结构紧凑、防滑性能好、稳定性高等优点，通过支撑台阶将晶圆限位在多个支撑杆之间，避免了在生产工艺过程中因为环境震动、设备机械运动或者工艺过程气流及晶圆内部应力释放等原因而造成晶圆滑动，提高了晶圆的安全性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体设备，具体涉及一种防滑舟架。

技术介绍

1、在半导体制造过程中，晶圆舟架是用于承载和传输晶圆的重要工具。由于操作过程中需要频繁的搬运和放置，根据舟架材料种类分类主要包括石英舟架、碳化硅舟架、石墨舟架、金属舟架等。不同的舟架使用的环境不同，石英舟架主要应用在温度低于1100℃的环境中，si c舟架主要应用在si c高温氧化环境中，金属舟架主要当作临时缓存舟架，石墨舟架因为可以耐高温，可以应用在s i c高温退火设备。目前，现有高温退火设备中的石墨舟存在防滑性能不足的问题，容易在生产工艺过程中因为环境震动、设备机械运动或者工艺过程气流及晶圆内部应力释放过程而发生滑动，导致机械手取片过程中对晶圆造成损伤，严重时发生掉片、碎片。

技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、防滑性能好、稳定性高的防滑舟架。

2、为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：

3、一种防滑舟架，包括：顶板、底板和多根支撑杆，多根支撑杆的顶部和底部分别与顶板和底板可拆卸安装，支撑杆内侧沿着竖直方向均布有多个卡槽，所述卡槽底部设有支撑台阶，所述支撑台阶用于承载晶圆，并将晶圆限位在卡槽内。

4、作为本技术的进一步改进，所述顶板和底板均呈圆环状，支撑杆包括第一支撑杆、第二支撑杆和第三支撑杆，所述第二支撑杆正对着晶圆进出卡槽的方向，第一支撑杆和第三支撑杆对称设置在第二支撑杆的两侧。

5、作为本技术的进一步改进，所述第一支撑杆和第三支撑杆之间的夹角β为120°～140°。

6、作为本技术的进一步改进，所述顶板、底板和支撑杆上均设有定位孔，通过在定位孔内安装螺钉，以实现支撑杆的顶部和底部分别与顶板和底板可拆卸安装。

7、作为本技术的进一步改进，所述螺钉、顶板、底板和支撑杆均采用石墨材料制备得到。

8、作为本技术的进一步改进，所述石墨材料的表面粗糙度ra大于6.3。

9、作为本技术的进一步改进，所述石墨材料表面喷砂。

10、作为本技术的进一步改进，当所述螺钉、顶板、底板和支撑杆在通入氯化氢和氩气混合气体的高温炉体内纯化后，所述石墨材料的石墨灰度值小于5ppm。

11、作为本技术的进一步改进，所述螺钉、顶板、底板和支撑杆的表面沉积有热解碳涂层。

12、作为本技术的进一步改进，所述热解碳涂层的厚度为30～80um。

13、与现有技术相比，本技术的优点在于：

14、1、本技术的防滑舟架，通过顶板、底板和多根支撑杆组成了防滑舟架的主体结构，具体地，多根支撑杆的顶部和底部分别与顶板和底板可拆卸安装，提高了舟架的使用灵活性，与此同时，在支撑杆内侧沿着竖直方向均布有多个卡槽，而且卡槽底部设有支撑台阶，利用支撑台阶对晶圆进行承载，并将晶圆限位在卡槽内，即可有效避免晶圆在生产工艺过程中因为环境震动、设备机械运动或者工艺过程气流及晶圆内部应力释放等原因而造成滑动，降低了掉片、碎片的风险，提高了晶圆的安全性。

15、2、本技术的防滑舟架，通过将螺钉、顶板、底板和支撑杆均采用纯化后的石墨材料制备得到，并且还在防滑舟架表面进行喷砂以及沉积热解碳涂层，既可以防止在使用该舟架进行高温退火工艺过程中因舟架内部杂质释放而导致晶圆表面污染，又可以显著提高舟架的防滑性能。

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【技术保护点】

1.一种防滑舟架，其特征在于，包括：顶板(4)、底板(7)和多根支撑杆，多根支撑杆的顶部和底部分别与顶板(4)和底板(7)可拆卸安装，支撑杆内侧沿着竖直方向均布有多个卡槽(10)，所述卡槽(10)底部设有支撑台阶(9)，所述支撑台阶(9)用于承载晶圆(8)，并将晶圆(8)限位在卡槽(10)内。

2.根据权利要求1所述的防滑舟架，其特征在于，所述顶板(4)和底板(7)均呈圆环状，支撑杆包括第一支撑杆(2)、第二支撑杆(5)和第三支撑杆(6)，所述第二支撑杆(5)正对着晶圆(8)进出卡槽(10)的方向，第一支撑杆(2)和第三支撑杆(6)对称设置在第二支撑杆(5)的两侧。

3.根据权利要求2所述的防滑舟架，其特征在于，所述第一支撑杆(2)和第三支撑杆(6)之间的夹角β为120°～140°。

4.根据权利要求1所述的防滑舟架，其特征在于，所述顶板(4)、底板(7)和支撑杆上均设有定位孔(3)，通过在定位孔(3)内安装螺钉(1)，以实现支撑杆的顶部和底部分别与顶板(4)和底板(7)可拆卸安装。

5.根据权利要求4所述的防滑舟架，其特征在于，所述螺钉(1)、顶板(4)、底板(7)和支撑杆均采用石墨材料制备得到。

6.根据权利要求5所述的防滑舟架，其特征在于，所述石墨材料的表面粗糙度Ra大于6.3。

7.根据权利要求6所述的防滑舟架，其特征在于，所述石墨材料表面喷砂。

8.根据权利要求5至7中任意一项所述的防滑舟架，其特征在于，所述螺钉(1)、顶板(4)、底板(7)和支撑杆的表面沉积有热解碳涂层。

9.根据权利要求8所述的防滑舟架，其特征在于，所述热解碳涂层的厚度为30～80um。

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【技术特征摘要】

1.一种防滑舟架，其特征在于，包括：顶板(4)、底板(7)和多根支撑杆，多根支撑杆的顶部和底部分别与顶板(4)和底板(7)可拆卸安装，支撑杆内侧沿着竖直方向均布有多个卡槽(10)，所述卡槽(10)底部设有支撑台阶(9)，所述支撑台阶(9)用于承载晶圆(8)，并将晶圆(8)限位在卡槽(10)内。

2.根据权利要求1所述的防滑舟架，其特征在于，所述顶板(4)和底板(7)均呈圆环状，支撑杆包括第一支撑杆(2)、第二支撑杆(5)和第三支撑杆(6)，所述第二支撑杆(5)正对着晶圆(8)进出卡槽(10)的方向，第一支撑杆(2)和第三支撑杆(6)对称设置在第二支撑杆(5)的两侧。

3.根据权利要求2所述的防滑舟架，其特征在于，所述第一支撑杆(2)和第三支撑杆(6)之间的夹角β为120°～140°。

4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈若愚，杨金，何永平，余洋，李东晖，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：新型
国别省市：