【技术实现步骤摘要】
本公开涉及使用声波谐振器的射频滤波器，更具体地涉及用于通信设备的滤波器。
技术介绍
1、射频（rf）滤波器是双端口器件，该双端口器件被配置为使某些频率通过并阻止其他频率，其中，“通过”意味着以相对较低的信号损失进行传输，而“阻止”意味着阻挡或显著地衰减。滤波器所通过的频率范围被称为滤波器的“通带”。这种滤波器所阻止的频率范围被称为滤波器的“阻带”。典型的rf滤波器具有至少一个通带和至少一个阻带。对通带或阻带的具体要求可以取决于具体应用。例如，在一些情况下，“通带”可以被定义为滤波器的插入损失优于诸如1db、2db或3db之类的定义值的频率范围，而“阻带”可以被定义为滤波器的抑制大于诸如20db、30db、40db或更大值（取决于应用）之类的定义值的频率范围。
2、rf滤波器用于通过无线链路来传输信息的通信系统。例如，rf滤波器可以出现在蜂窝基站、移动电话和计算设备、卫星收发器和地面站、iot（物联网）设备、膝上型计算机和平板计算机、固定点无线电链路和其他通信系统的rf前端中。rf滤波器也用于雷达、电子和信息战系统。
3、无线系统中rf滤波器的性能增强可以对系统性能产生广泛影响。rf滤波器的改进可以用于提供系统性能改进，例如更大的单元尺寸、更长的电池寿命、更高的数据速率、更大的网络容量、更低的成本、增强的安全性、更高的可靠性等。这些改进可以在无线系统的多个级别（例如，在rf模块、rf收发器、移动或固定子系统、或网络级别）处单独和组合地实现。随着对在更高频率下操作的rf滤波器的需求不断增加，需要能够在不同频带
技术实现思路
1、目前，在如此高的频率下操作的rf滤波器被设计为改进阻带频率的抑制。如下面更详细描述的，一种这样做的技术是使用与rf滤波器的并联谐振器串联的接地电感。向并联谐振器提供经调谐的电感器将在期望频率下产生传输零点（tz）以改进抑制。然而，这种接地电感器也在较高频率下产生“反激”，这导致更差的宽带抑制。换言之，这种rf滤波器经历反激，这是滤波器在较高范围（例如，frange2范围）内的劣化，从而降低了这些rf滤波器的整体性能。因此，本文公开的声学滤波器件被配置为抑制反激，同时仍然改进频率响应的宽带抑制。
2、因此，在示例性实施例中，提供了一种滤波器件，该滤波器件包括：至少一个串联谐振器，连接在一对端口之间；多个并联谐振器，连接在接地连接与一节点之间，该节点介于所述至少一个串联谐振器与所述一对端口之一之间；以及多个电感器，每一个分别串联连接在接地连接和所述多个并联谐振器之间。此外，所述多个电感器中的至少两个具有彼此不同的交错电感值。此外，至少一个串联谐振器和多个并联谐振器中的每一个包括：基板；压电层，直接地或经由一个或多个中间层附接到基板；以及叉指换能器（idt），在所述压电层的表面上并且包括分别从第一母线和第二母线延伸的多个交错idt指状物。
3、在滤波器件的另一示例性方面，多个电感器彼此并联连接。
4、在滤波器件的另一示例性方面，至少一个串联谐振器包括串联连接在所述一对端口之间的多个串联谐振器。此外，多个并联谐振器中的每一个耦接到多个串联谐振器中的一对相邻谐振器之间的节点或多个串联谐振器之一与该一对端口之一之间的节点。
5、在滤波器件的另一示例性方面，串联谐振器和并联谐振器中的每一个的压电层和idt被配置为使得施加到idt的射频信号在压电层中激发体剪切声波，其中，声能沿与所述压电层的表面基本上正交的方向传播，所述方向横向于由所述idt的交错指状物产生的电场方向。
6、在滤波器件的另一示例性方面，各个谐振器中的每一个的基板包括基底和中间层，并且所述压电层包括位于空腔上方的部分，所述空腔至少部分地在所述基板的中间层中延伸。此外，在示例性方面，压电层的设置有idt的表面面对空腔。
7、在滤波器件的另一示例性方面，至少一个串联谐振器和所述多个并联谐振器中的至少一个还包括设置在所述基板和所述压电层之间的布拉格反射器。
8、在滤波器件的另一示例性方面，多个并联谐振器中的每一个包括至少两个子谐振器。此外，至少两个子谐振器中的每一个的第一子谐振器耦接到所述多个电感器中的电感器，并且所述至少两个子谐振器中的每一个的第二子谐振器直接耦接到接地连接。
9、在另一示例性方面，提供了一种滤波器件，该滤波器件包括：至少一个串联谐振器，连接在一对端口之间；多个并联谐振器，连接在接地连接与一节点之间，该节点介于所述至少一个串联谐振器与所述一对端口之一之间；以及多个电感器，每一个分别串联连接在接地连接和所述多个并联谐振器之间。此外，所述多个电感器中的至少两个具有彼此不同的交错电感值。至少一个串联谐振器和所述多个并联谐振器中的每一个包括压电层和位于压电层表面上的叉指换能器（idt）。在该方面，串联谐振器和并联谐振器中的每一个的压电层和idt被配置为使得施加到idt的射频信号在压电层中激发体剪切声波，其中，声能沿与压电层的表面基本上正交的方向传播，所述方向横向于由idt的交错指状物产生的电场方向。
10、在另一示例性方面，提供了一种射频模块，该射频模块包括：滤波器件，具有连接在一对端口之间的至少一个串联谐振器、连接在接地连接与一节点（该节点位于所述至少一个串联谐振器和所述一对端口之一间）之间的多个并联谐振器、以及分别连接在接地连接与所述多个并联谐振器之间的多个电感器；以及射频电路，耦接到滤波器件，该滤波器件和射频电路被封装在公共封装内。在该方面，多个电感器中的至少两个具有彼此不同的交错电感值。此外，至少一个串联谐振器和所述多个并联谐振器中的每一个包括压电层和位于压电层表面上的叉指换能器（idt）。在该方面，各个谐振器中的每一个的压电层和idt被配置为使得施加到idt的射频信号在压电层中激发体剪切声波，其中，声能沿与所述压电层的表面基本上正交的方向传播，所述方向横向于由idt的交错指状物产生的电场方向。
11、以上示例方面的简化概述用于提供对本公开的基本理解。该概述不是对所有设想方面的广泛概述，并且既不旨在确定本公开所有方面的关键或决定性要素，也不旨在划定本公开的任何或所有方面的范围。其唯一目的是以简化形式呈现一个或多个方面，作为随后对本公开的更详细描述的前言。为了实现前述目的，本公开的一个或多个方面包括权利要求中描述且示例性指出的特征。。
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1.一种滤波器件，包括：
2.根据权利要求1所述的滤波器件，其中，所述多个电感器彼此并联连接。
3.根据权利要求1所述的滤波器件，其中，所述至少一个串联谐振器包括串联连接在所述一对端口之间的多个串联谐振器。
4.根据权利要求3所述的滤波器件，其中，所述多个并联谐振器中的每一个耦接到所述多个串联谐振器中的一对相邻谐振器之间的节点或所述多个串联谐振器之一与所述一对端口之一之间的节点。
5.根据权利要求1所述的滤波器件，其中，所述串联谐振器和所述并联谐振器中的每一个的压电层和IDT被配置为使得施加到所述IDT的射频信号在压电层中激发体剪切声波，其中，声能沿与所述压电层的表面基本上正交的方向传播，所述方向横向于由所述IDT的交错指状物产生的电场的方向。
6.根据权利要求1所述的滤波器件，其中，各个谐振器中的每一个的基板包括基底和中间层，并且所述压电层包括位于空腔上方的部分，所述空腔至少部分地在所述基板的中间层中延伸。
7.根据权利要求6所述的滤波器件，其中，所述压电层的设置有所述IDT的表面面对所述空腔。
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