【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种传输装置及承载舟。
技术介绍
1、卧式扩散炉用于在硅衬底表面进行掺杂制备pn结，是晶体硅光伏电池生产工艺中的关键设备之一。扩散炉常见的硅片承载方式为：两个沿进出反应室方向首尾排列的石英舟托同时承载多个石英小舟，每个石英小舟装载一定数量的硅片，硅片沿着进出反应室的方向竖直放置，沿着进出反应室的垂直方向又有一定数量的硅片平行排列。当前，随着工艺温度的不断升高，石英舟托在使用一段时间后会出现不同程度的变形，影响自动化取、放硅片，频繁地更换变形的石英舟托极大的增加了生产成本。
2、近年来，随着光伏行业的快速发展，市场竞争日趋激烈，各大光伏企业正积极扩大产能以快速抢占市场，对扩散炉的产能提升也提出了更高的要求，如何在设备尺寸和反应室恒温区一定的情况下提升单管装片量是提高设备产能的重要研究方向之一。工艺前，石英舟托承载多个石英舟，机械手托起石英舟托，对多个石英舟进行搬运，石英舟托随石英舟送入扩散炉。随着产能的不断提升，现有硅片装载形式下石英舟托所要承载的负载更大，更容易发生变形。石英舟托在高温下长时间使用会产生变形，石英舟托的变形量过大则需对其更换，增加了企业的生产成本。
技术实现思路
1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种传输装置及承载舟，其不需要通过石英舟托支撑承载舟，因而避免了更换石英舟托，降低了生产成本。
2、为实现本申请的目的而提供一种传输装置，用于传输承载舟，所述传输装置包括安装主体、抓取机构
3、所述抓取机构与所述安装主体可转动地连接，且对应于承载舟沿第一方向分布的两个侧面，所述抓取机构包括抓取部，所述抓取部与对应的所述侧面上的搭载部搭接配合，所述第一方向为所述承载舟的宽度方向；
4、驱动机构用于带动所述抓取机构转动，使所述抓取机构的所述抓取部相互靠近或相互远离，以抓取或放置所述承载舟。
5、在一些实施例中，所述驱动机构包括输出轴组件、主动传动组件、从动传动组件以及驱动器；
6、所述输出轴组件与所述安装主体相连，所述输出轴组件的数量与所述抓取机构的数量相等，且一一对应地与各个所述抓取机构固定连接，用于带动各个所述抓取机构转动；
7、所述主动传动组件和所述从动传动组件传动配合，且分别与各个所述输出轴组件相连；
8、所述驱动器与所述主动传动组件相连，并通过主动传动组件和所述从动传动组件带动两个所述输出轴组件反向转动。
9、在一些实施例中，所述抓取机构包括多个连接部，所述连接部与所述输出轴组件固定连接，所述抓取部连接所述连接部远离所述输出轴组件的一端。
10、在一些实施例中，所述抓取部包括至少一个承载连杆和至少一个导向套，所述承载连杆的两端分别连接相邻的两个所述连接部，所述承载连杆的数量为两个以上时，各个所述承载连杆同轴设置；
11、所述导向套套设于所述承载连杆的外周，用于支撑所述承载舟的所述搭载部。
12、在一些实施例中，所述导向套的外壁设有沿其周向设置的定位槽，所述定位槽用于容纳所述搭载部。
13、在一些实施例中，当所述导向套为多个时，所有所述导向套等间距分布，以使相邻两个所述承载舟之间的间隙不大于预设值。
14、在一些实施例中，所述安装主体包括横梁和纵梁，所述横梁沿所述承载舟排列的方向延伸，所述纵梁设置于所述横梁的端部，所述横梁或所述纵梁上还设有用于检测所述安装主体碰撞其他部件的碰撞检测机构。
15、在一些实施例中，所述纵梁设有安装柱，所述碰撞检测机构包括转动块和微动开关，所述安装柱与所述转动块的中部可转动地连接，所述微动开关位于所述转动块的两端，且朝向所述纵梁设置。
16、在一些实施例中，所述碰撞检测机构还包括弹性柱塞，所述弹性柱塞安装在所述转动块朝向所述纵梁的一侧，所述弹性柱塞位于所述微动开关和所述安装柱之间，用于保护所述微动开关。
17、本申请还提供了一种承载舟，包括第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板沿所述承载舟的宽度方向分布，所述第一侧板和所述第二侧板的外侧均设有搭载部，用于与权利要求1至9任意一项所述的传输装置的抓取机构配合。
18、在一些实施例中，所述承载舟的底部设有舟脚，所述舟脚具有用于减重的镂空结构。
19、本申请具有以下有益效果：
20、本申请提供的传输装置，用于传输多个承载舟，传输装置包括安装主体、抓取机构以及驱动机构；其中，抓取机构的数量为与安装主体可转动地连接，抓取机构分别对应于承载舟沿第一方向分布的两个侧面，抓取机构均包括抓取部，抓取部与对应的侧面上的搭载部搭接配合；驱动机构用于带动抓取机构转动，使抓取机构的抓取部相互靠近或相互远离，以抓取或放置承载舟。
21、本申请的传输装置不需要配合舟托抓取承载舟，也就不会将舟托送入半导体热处理设备，从而避免了更换舟托，降低了生产成本。
22、本申请还提供了一种承载舟，其搭接部能够与传输装置的抓取部配合进行移动，在承载舟移动过程中省去了舟托，节约了更换舟托的成本。
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1.一种传输装置，用于传输承载舟，其特征在于，所述传输装置包括安装主体、抓取机构以及驱动机构；其中，
2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述驱动机构包括输出轴组件、主动传动组件、从动传动组件以及驱动器；
3.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述抓取机构包括多个连接部，所述连接部与所述输出轴组件固定连接，所述抓取部连接所述连接部远离所述输出轴组件的一端。
4.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述抓取部包括至少一个承载连杆和至少一个导向套，所述承载连杆的两端分别连接相邻的两个所述连接部，所述承载连杆的数量为两个以上时，各个所述承载连杆同轴设置；
5.根据权利要求4所述的传输装置，其特征在于，所述导向套的外壁设有沿其周向设置的定位槽，所述定位槽用于容纳所述搭载部。
6.根据权利要求5所述的传输装置，其特征在于，当所述导向套为多个时，所有所述导向套等间距分布，以使相邻两个所述承载舟之间的间隙不大于预设值。
7.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述安装主体包括横梁和纵梁，所述横
8.根据权利要求7所述的传输装置，其特征在于，所述纵梁设有安装柱，所述碰撞检测机构包括转动块和微动开关，所述安装柱与所述转动块的中部可转动地连接，所述微动开关位于所述转动块的两端，且朝向所述纵梁设置。
9.根据权利要求8所述的传输装置，其特征在于，所述碰撞检测机构还包括弹性柱塞，所述弹性柱塞安装在所述转动块朝向所述纵梁的一侧，所述弹性柱塞位于所述微动开关和所述安装柱之间，用于保护所述微动开关。
10.一种承载舟，其特征在于，包括第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板沿所述承载舟的宽度方向分布，所述第一侧板和所述第二侧板的外侧均设有搭载部，用于与权利要求1至9任意一项所述的传输装置的抓取机构配合。
11.根据权利要求10所述的承载舟，其特征在于，所述承载舟的底部设有舟脚，所述舟脚具有用于减重的镂空结构。
...【技术特征摘要】
1.一种传输装置，用于传输承载舟，其特征在于，所述传输装置包括安装主体、抓取机构以及驱动机构；其中，
2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述驱动机构包括输出轴组件、主动传动组件、从动传动组件以及驱动器；
3.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述抓取机构包括多个连接部，所述连接部与所述输出轴组件固定连接，所述抓取部连接所述连接部远离所述输出轴组件的一端。
4.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述抓取部包括至少一个承载连杆和至少一个导向套，所述承载连杆的两端分别连接相邻的两个所述连接部，所述承载连杆的数量为两个以上时，各个所述承载连杆同轴设置；
5.根据权利要求4所述的传输装置，其特征在于，所述导向套的外壁设有沿其周向设置的定位槽，所述定位槽用于容纳所述搭载部。
6.根据权利要求5所述的传输装置，其特征在于，当所述导向套为多个时，所有所述导向套等间距分布，以使相邻两个所述承载舟之间的间隙不大于预设值。
7.根据权利要求1所述的传输装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：江军，艾志超，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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