【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及超临界二氧化碳生产装置，尤其是一种用于基材处理的超临界流体制造装置及操作方法。
技术介绍
1、超临界流体是指在温度和压力高于其临界点时不存在明显的液相和气相的任何物质，使用超临界流体的超临界工艺可用于半导体行业以获得各种优势。例如，超临界工艺可用于基板干燥工艺和清洁工艺，超临界二氧化碳制造过程中，二氧化碳中包含的少量杂质可能冷凝或沉积，冷凝或沉积的杂质可能会导致基材被污染，因此，就需要一种用于基材处理的超临界流体制造装置。
2、现有技术中，在生产制造超临界二氧化碳时，杂质包括水和油液以及其他气体，这些杂质在二氧化碳发生相变时，可能会冷凝或沉积，而大多超临界二氧化碳生产设备不具备进一步提纯二氧化碳的效果，因此，在原料不纯净时，会导致超临界二氧化碳中存在固体颗粒。
技术实现思路
1、本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种用于基材处理的超临界流体制造装置及操作方法，从而可以有效的保证超临界二氧化碳的纯净性，有效的避免超临界二氧化碳中的固体颗粒，保证基材处理工作的顺利进行。
2、本专利技术所采用的技术方案如下：
3、一种用于基材处理的超临界流体制造装置，包括罐体，所述罐体的顶面安装有制冷组件，制冷组件用于冷却二氧化碳；位于罐体内部上方位置水平设置有第一隔板，第一隔板上方设置有环形板，位于罐体侧壁靠近环形板处贯穿设置有排油管；位于第一隔板的下方设置有上下间隔的两块第二隔板，处于下方的第二隔板滑动设置在罐体内；
4、位于第一
5、罐体底部内壁上转动安装有空心轴，空心轴贯穿罐体的顶部，空心轴上安装有分离组件，分离组件用于分离二氧化碳气体中的油液；空心轴上还安装有与压缩组件连接的传动组件，还包括设置在罐体底部的动力组件，动力组件与空心轴连接。
6、其进一步技术方案在于：
7、所述制冷组件的结构为：包括冷却箱，所述冷却箱固定在罐体顶部，所述冷却箱内填充有冷却液，且空心轴贯穿冷却箱底部内壁，所述冷却箱底部内壁固定有第二鳍片，所述第二鳍片顶部设置有挡板；冷却箱底部开有多个矩形孔，单个矩形孔内固定有半导体制冷片，且半导体制冷片的冷端和第二鳍片抵触，半导体制冷片的热端对应有第一鳍片；扇叶，所述扇叶套设在空心轴上，且扇叶处于罐体和冷却箱之间处；环形座，所述环形座固定在冷却箱底部内壁上，且挡板和环形座之间存在间隙，所述环形座底部贯穿设置有排水管，且排水管贯穿冷却箱底部外壁；输入管，所述输入管和环形座连通，且输入管贯穿冷却箱外壁；连接管，所述连接管和环形座连通，且连接管贯穿罐体内壁，且连接管端部靠近空心轴；循环机构，所述循环机构设置在冷却箱内壁上，所述循环机构用于冷却液的循环。
8、所述循环机构的结构为：包括壳体，所述壳体固定在冷却箱底部内壁上，所述壳体侧壁开设有多个进气孔；转轴转动设置在壳体内壁上，转轴侧壁固定有多个叶片，连通座固定在壳体底部，输送管一端和壳体连通，输送管另一端和连通座连通；还包括圆槽，所述圆槽开设在空心轴顶部，所述圆槽内固定有支撑架，空心管和支撑架固定，且空心管端部靠近圆槽底部内壁，所述空心管侧壁顶部开设有多个通孔，且多个通孔均处于连通座内，所述转轴和空心管固定。
9、所述分离组件的结构为：包括多个热管，每个热管固定在空心轴侧壁上，且每个热管贯穿圆槽内壁；还包括多个导热板，导热板和热管一一对应并固定。
10、所述压缩组件的结构为：包括套筒，所述套筒固定在罐体内壁上，所述套筒内滑动设置有活塞，活塞的侧壁上固定有套杆，套杆端部设置有连接座；还包括第一单向阀，所述第一单向阀贯穿设置在套筒侧壁上；还包括第一管体，所述第一管体和第一单向阀连通，所述第一管体贯穿第一隔板顶部，且第一管体端部靠近空心轴；还包括第二单向阀，所述第二单向阀贯穿设置在套筒侧壁上；还包括第二管体，所述第二管体和第二单向阀连通，所述第二管体贯穿处于上方的第二隔板底部。
11、所述传动组件的结构为：包括多个固定架，单个固定架固定在空心轴侧壁上，多个固定架的外圈同时固定安装有椭圆导轨，椭圆导轨上滑动安装连接座。
12、还包括多个第二搅拌杆，多个所述第二搅拌杆均固定在空心轴侧壁上，多个所述第二搅拌杆均处于两个第二隔板之间；还包括多个第一搅拌杆，多个所述第一搅拌杆均固定在空心轴侧壁上，多个所述第一搅拌杆均处于第三隔板下方处；还包括：第一电磁阀、第二电磁阀和输出管，所述第一电磁阀贯穿设置在处于下方的第二隔板顶部；所述第二电磁阀贯穿设置在第三隔板顶部；所述输出管贯穿设置在罐体侧壁处于第三隔板下方处。
13、所述升降组件的结构为：包括防护罩，所述防护罩固定在第三隔板底部，所述防护罩内固定有液压推杆，且液压推杆的伸缩端贯穿第三隔板顶部，所述液压推杆的伸缩端和处于下方的第二隔板固定。
14、所述动力组件的结构为：包括支架和连接盘，所述支架固定在罐体底部，所述支架上固定有电机；连接盘设置有两个，其中一个所述连接盘转动设置在冷却箱底部内壁上，另一个所述连接盘转动设置在冷却箱底部外壁上，两个所述连接盘顶部均开设有多个安装孔，每个所述安装孔内均固定有强磁铁，其中一个所述连接盘和空心轴固定，另一个所述连接盘和电机的输出轴固定。
15、一种用于基材处理的超临界流体制造装置的操作方法，包括如下操作步骤：
16、第一步：准备工作，将整个制造装置准备就绪，接通电源开关；
17、第二步：打开电机，电机工作时驱动其中一个连接盘旋转，通过强磁铁，使得另一个连接盘旋转，进而驱动空心轴旋转，通过支撑架带动空心管旋转，空心管进而带动转轴和叶片旋转，使得冷却箱中的冷却液能够通过进气孔进入壳体内，再通过旋转状态的叶片以及输送管进入连通座中，冷却液再通过通孔进入空心管内部，随后进入圆槽底部，冷却液再通过圆槽底部流动至圆槽顶部进入冷却箱底部，通过挡板的作用，流经第二鳍片后移动至环形座表面处，最后再移动至壳体处，形成冷却液的循环；第三步：接通半导体制冷片的开关，半导体制冷片工作时使得第二鳍片维持在较低温度，空心轴旋转过程中通过扇叶产生气流，气流流经第一鳍片时带走第一鳍片的热量，进而使得半导体制冷片能够长时间工作，进而使得冷却液长时间维持在较低温度；
18、第四步：通过输入管输入二氧化碳，二氧化碳通过输入管进入环形座中，经过冷却后冷凝产生的水暂时储存在环形座底部，在非工作时间段，通过排水管上的阀门，即可排出环形座内的冷凝水，二氧化碳通过连接管进入罐体中处于第一隔板上方位置处；
19、第五步：空心轴旋转的过程中带动热管和导热板旋转，流经圆槽的低温冷却液通过热管使得导热板保持较低温度，进而对二氧化碳气体进一步冷夜，以保证二氧化碳中的水分能够充分液化，同时导热板的高速旋转能够将二氧化碳中的油液甩向罐体的内壁上，通过环形板的阻挡，实现二氧化碳中水分和油液的分离，在非工作状本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于基材处理的超临界流体制造装置，其特征在于：包括罐体(1)，所述罐体(1)的顶面安装有制冷组件，制冷组件用于冷却二氧化碳；位于罐体(1)内部上方位置水平设置有第一隔板(12)，第一隔板(12)上方设置有环形板(13)，位于罐体(1)侧壁靠近环形板(13)处贯穿设置有排油管(3)；位于第一隔板(12)的下方设置有上下间隔的两块第二隔板(14)，处于下方的第二隔板(14)滑动设置在罐体(1)内；
2.如权利要求1所述的一种用于基材处理的超临界流体制造装置，其特征在于：所述制冷组件的结构为：包括冷却箱(5)，所述冷却箱(5)固定在罐体(1)顶部，所述冷却箱(5)内填充有冷却液，且空心轴(11)贯穿冷却箱(5)底部内壁，所述冷却箱(5)底部内壁固定有第二鳍片(46)，所述第二鳍片(46)顶部设置有挡板(44)；
3.如权利要求2所述的一种用于基材处理的超临界流体制造装置，其特征在于：所述循环机构的结构为：包括壳体(41)，所述壳体(41)固定在冷却箱(5)底部内壁上，所述壳体(41)侧壁开设有多个进气孔(42)；转轴(48)转动设置在壳体(41)内壁上，
4.如权利要求3所述的一种用于基材处理的超临界流体制造装置，其特征在于：所述分离组件的结构为：包括多个热管(35)，每个热管(35)固定在空心轴(11)侧壁上，且每个热管(35)贯穿圆槽内壁；还包括多个导热板(34)，导热板(34)和热管(35)一一对应并固定。
5.如权利要求4所述的一种用于基材处理的超临界流体制造装置，其特征在于：所述压缩组件的结构为：包括套筒(21)，所述套筒(21)固定在罐体(1)内壁上，所述套筒(21)内滑动设置有活塞(30)，活塞(30)的侧壁上固定有套杆(29)，套杆(29)端部设置有连接座(28)；
6.如权利要求5所述的一种用于基材处理的超临界流体制造装置，其特征在于：所述传动组件的结构为：包括多个固定架(26)，单个固定架(26)固定在空心轴(11)侧壁上，多个固定架(26)的外圈同时固定安装有椭圆导轨(27)，椭圆导轨(27)上滑动安装连接座(28)。
7.如权利要求6所述的一种用于基材处理的超临界流体制造装置，其特征在于：还包括多个第二搅拌杆(20)，多个所述第二搅拌杆(20)均固定在空心轴(11)侧壁上，多个所述第二搅拌杆(20)均处于两个第二隔板(14)之间；
8.如权利要求7所述的一种用于基材处理的超临界流体制造装置，其特征在于：所述升降组件的结构为：包括防护罩(18)，所述防护罩(18)固定在第三隔板(15)底部，所述防护罩(18)内固定有液压推杆(23)，且液压推杆(23)的伸缩端贯穿第三隔板(15)顶部，所述液压推杆(23)的伸缩端和处于下方的第二隔板(14)固定。
9.如权利要求8所述的一种用于基材处理的超临界流体制造装置，其特征在于：所述动力组件的结构为：包括支架(4)和连接盘(16)，所述支架(4)固定在罐体(1)底部，所述支架(4)上固定有电机(8)；连接盘(16)设置有两个，其中一个所述连接盘(16)转动设置在冷却箱(5)底部内壁上，另一个所述连接盘(16)转动设置在冷却箱(5)底部外壁上，两个所述连接盘(16)顶部均开设有多个安装孔，每个所述安装孔内均固定有强磁铁(17)，其中一个所述连接盘(16)和空心轴(11)固定，另一个所述连接盘(16)和电机(8)的输出轴固定。
10.一种如权利要求9所述的用于基材处理的超临界流体制造装置的操作方法，其特征在于：包括如下操作步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种用于基材处理的超临界流体制造装置，其特征在于：包括罐体(1)，所述罐体(1)的顶面安装有制冷组件，制冷组件用于冷却二氧化碳；位于罐体(1)内部上方位置水平设置有第一隔板(12)，第一隔板(12)上方设置有环形板(13)，位于罐体(1)侧壁靠近环形板(13)处贯穿设置有排油管(3)；位于第一隔板(12)的下方设置有上下间隔的两块第二隔板(14)，处于下方的第二隔板(14)滑动设置在罐体(1)内；
2.如权利要求1所述的一种用于基材处理的超临界流体制造装置，其特征在于：所述制冷组件的结构为：包括冷却箱(5)，所述冷却箱(5)固定在罐体(1)顶部，所述冷却箱(5)内填充有冷却液，且空心轴(11)贯穿冷却箱(5)底部内壁，所述冷却箱(5)底部内壁固定有第二鳍片(46)，所述第二鳍片(46)顶部设置有挡板(44)；
3.如权利要求2所述的一种用于基材处理的超临界流体制造装置，其特征在于：所述循环机构的结构为：包括壳体(41)，所述壳体(41)固定在冷却箱(5)底部内壁上，所述壳体(41)侧壁开设有多个进气孔(42)；转轴(48)转动设置在壳体(41)内壁上，转轴(48)侧壁固定有多个叶片(49)，连通座(47)固定在壳体(41)底部，输送管(43)一端和壳体(41)连通，输送管(43)另一端和连通座(47)连通；
4.如权利要求3所述的一种用于基材处理的超临界流体制造装置，其特征在于：所述分离组件的结构为：包括多个热管(35)，每个热管(35)固定在空心轴(11)侧壁上，且每个热管(35)贯穿圆槽内壁；还包括多个导热板(34)，导热板(34)和热管(35)一一对应并固定。
5.如权利要求4所述的一种用于基材处理的超临界流体制造装置，其特征在于：所述压缩组件的结构为：包括套筒(21)，所述套筒(21)固定在罐体(1)内壁上，所述套筒(...
【专利技术属性】
技术研发人员：田金辉，陈明哲，
申请(专利权)人：无锡科特维尔电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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