【技术实现步骤摘要】
本公开的各种方面和实施方式涉及一种真空搬送装置和真空搬送装置的控制方法。
技术介绍
1、近年，伴随布线图案的微细化，存在基板上附着的水分使基板上形成的布线氧化而使布线的品质下降的情况。因此，在用于搬送及保管基板的foup(front openingunified pod：前开式晶圆传送盒)中，向收容有基板的内部填充氮气，由此使得不在基板上附着水分。另外，真空搬送装置内被控制为低压，因此当在真空搬送装置内进行搬送的过程中，基板上附着的水分不会太多。
2、但是，在从foup取出到搬送至真空搬送装置为止的期间、以及从真空搬送装置取出到收容于foup为止的期间，基板暴露在大气中，因此在基板上大量地附着水分。
3、已知一种在foup与真空搬送装置之间设置用于将foup与真空搬送装置之间的搬送路径保持为低湿度状态的微环境搬送装置以避免上述情况的技术(例如参照下述专利文献1)。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1：日本特开2013-115065号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、本公开提供一种能够减少附着于基板的水分的真空搬送装置和真空搬送装置的控制方法。
3、用于解决问题的方案
4、本公开的一个方面是真空搬送装置，该真空搬送装置配置于工艺腔室与加载互锁室之间，用于在工艺腔室与加载互锁室之间搬送基板，所述真空搬送装置具备容器、搬送装置、排气装置、露点计以及控制装置。容器经由
5、本公开的一个方面是真空搬送装置，该真空搬送装置配置于工艺腔室与加载互锁室之间，用于在所述工艺腔室与所述加载互锁室之间搬送基板，所述真空搬送装置具备：容器，其经由闸阀来与所述工艺腔室及所述加载互锁室分别连接；搬送装置，其设置于所述容器内，用于在所述工艺腔室与所述加载互锁室之间搬送基板；排气装置，其用于排出所述容器内的气体；露点计，其测定所述容器内的气体的露点温度；以及控制装置，其基于由所述露点计测定出的所述露点温度来判定是否为能够执行工艺的状态，所述控制装置具有：判定部，在所述容器内被向大气开放并再次被密闭后，所述判定部判定所述露点温度是否成为了预先决定的第一温度以下；以及控制部，在满足了预先决定的多个规定条件的情况下，所述控制部判定为成为了能够执行工艺的状态，所述预先决定的多个规定条件包括由所述判定部判定为所述露点温度成为了所述第一温度以下作为条件之一，所述真空搬送装置还具有用于向所述容器内供给非活性气体的气体供给装置，所述气体供给装置具有压力控制阀，所述排气装置具有第一泵和第二泵，所述控制部通过使所述第一泵和所述第二泵工作来排出所述容器内的气体，在所述容器内的压力成为了预先决定的第一压力以下的情况下，所述控制部在使所述第一泵停止并使所述第二泵工作的状态下控制所述压力控制阀，以使所述容器内的压力成为比所述第一压力高的第二压力。
6、本公开的一个方面是真空搬送装置，该真空搬送装置配置于工艺腔室与加载互锁室之间，用于在所述工艺腔室与所述加载互锁室之间搬送基板，所述真空搬送装置具备：容器，其经由闸阀来与所述工艺腔室及所述加载互锁室分别连接；搬送装置，其设置于所述容器内，用于在所述工艺腔室与所述加载互锁室之间搬送基板；排气装置，其用于排出所述容器内的气体；露点计，其测定所述容器内的气体的露点温度；以及控制装置，其基于由所述露点计测定出的所述露点温度来判定是否为能够执行工艺的状态，所述控制装置具有：判定部，在所述容器内被向大气开放并再次被密闭后，所述判定部判定所述露点温度是否成为了预先决定的第一温度以下；以及控制部，在满足了预先决定的多个规定条件的情况下，所述控制部判定为成为了能够执行工艺的状态，所述预先决定的多个规定条件包括由所述判定部判定为所述露点温度成为了所述第一温度以下作为条件之一，所述真空搬送装置还具有用于向所述容器内供给非活性气体的气体供给装置，所述气体供给装置具有压力控制阀，所述控制部控制所述压力控制阀，以在所述工艺腔室与所述容器之间的闸阀被打开之前，使所述容器内的压力高于所述工艺腔室的压力。
7、本公开的一个方面是真空搬送装置的控制方法，所述真空搬送装置具备：容器，其配置于工艺腔室与加载互锁室之间；搬送装置，其设置于所述容器内，用于在所述工艺腔室与所述加载互锁室之间搬送基板；以及排气装置，其用于排出所述容器内的气体；所述真空搬送装置的控制方法包括以下工序：在所述容器内被向大气开放并再次被密闭后，判定由设置于所述容器内的露点计测定出的所述容器内的气体的露点温度是否成为了预先决定的第一温度以下；以及在满足了预先决定的多个规定条件的情况下，判定为成为了能够执行工艺的状态，所述预先决定的多个规定条件包括判定为所述露点温度成为了所述第一温度以下作为条件之一，所述真空搬送装置还具有用于向所述容器内供给非活性气体的气体供给装置，所述气体供给装置具有压力控制阀，所述排气装置具有第一泵和第二泵，所述真空搬送装置的控制方法还包括以下工序：通过使所述第一泵和所述第二泵工作来排出所述容器内的气体，在所述容器内的压力成为了预先决定的第一压力以下的情况下，在使所述第一泵停止并使所述第二泵工作的状态下控制所述压力控制阀，以使所述容器内的压力成为比所述第一压力高的第二压力。
8、本公开的一个方面是真空搬送装置的控制方法，所述真空搬送装置具备：容器，其配置于工艺腔室与加载互锁室之间；搬送装置，其设置于所述容器内，用于在所述工艺腔室与所述加载互锁室之间搬送基板；以及排气装置，其用于排出所述容器内的气体；所述真空搬送装置的控制方法包括以下工序：在所述容器内被向大气开放并再次被密闭后，判定由设置于所述容器内的露点计测定出的所述容器内的气体的露点温度是否成为了预先决定的第一温度以下；以及在满足了预先决定的多个规定条件的情况下，判定为成为了能够执行工艺的状态，所述预先决定的多个规定条件包括判定为所述露点温度成为了所述第一温度以下作为条件之一，所述真空搬送装置还具有用于向所述容器内供给非活性气体的气体供给装置，所述气体供给装置具有压力控制阀，所述真空搬送装置的控制方法还包括以下工序：控制所述压力控制阀，以在所述工艺腔室与所述容器之间的闸阀被打开之前，使所述容器内的压力高于所述工艺腔室的压力。
9、专利技术的效果
10、根据本公开的各种方面和实施方式，能够减少附着于基板的水分。
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1.一种真空搬送装置，配置于工艺腔室与加载互锁室之间，用于在所述工艺腔室与所述加载互锁室之间搬送基板，所述真空搬送装置具备：
2.根据权利要求1所述的真空搬送装置，其特征在于，
3.根据权利要求1或2所述的真空搬送装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的真空搬送装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的真空搬送装置，其特征在于，
6.一种真空搬送装置，配置于工艺腔室与加载互锁室之间，用于在所述工艺腔室与所述加载互锁室之间搬送基板，所述真空搬送装置具备：
7.一种真空搬送装置的控制方法，
8.一种真空搬送装置的控制方法，
【技术特征摘要】
1.一种真空搬送装置，配置于工艺腔室与加载互锁室之间，用于在所述工艺腔室与所述加载互锁室之间搬送基板，所述真空搬送装置具备：
2.根据权利要求1所述的真空搬送装置，其特征在于，
3.根据权利要求1或2所述的真空搬送装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的真空搬送装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：石桥诚之，井富隼人，高桥裕之，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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