【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及深紫外光学，更具体地，涉及一种用于深紫外光路中的杂散光抑制系统。
技术介绍
1、在深紫外光学系统中，伴随着深紫外光束的传播，总会存在一些与深紫外光束共同存在的杂散光，这些杂散光的来源主要包括两方面：第一、由于光学非线性过程（例如倍频、和频等）产生于深紫外光源系统中的某些中间过程的光，这些光并非最终的系统输出的深紫外光，但由于深紫外光源系统设计和制造上的原因，实际上无法完全消除这些杂散光。第二，深紫外光在各类光学元件和样品表面反射、透射等过程中，由于光学元件表面和样品表面非理想表面（例如表面有微观的不平整的空间结构）产生的并非按照宏观光学定律（如反射定律、折射定律等）所要求的方向传播的光，这些光也是杂散光的来源。这些杂散光将会对后续的光学探测（例如光致发光）造成影响，甚至于会出现杂散光远大于光学系统需要探测的光学信号，严重降低了光学系统的信噪比。
2、对于上述的第一种杂散光，如果是在可见和近红外波段，通常采用技术成熟的带通或单边滤光片或光栅来滤除，然而在深紫外波段，带通或单边滤光片的通过效率较低，对有用的深紫外光或信号光也会有很大衰减。对于上述的第二种杂散光，在深紫外波段尚没有有效的办法来去除。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供了一种用于深紫外光路中的杂散光抑制系统，用以解决现有技术难以有效抑制深紫外光学系统中产生杂散光的技术问题。
2、本专利技术的一个方面提供了一种用于深紫外光路中的杂散光抑制系统，系统包括：长光路单元，长光路单元设有
3、根据本专利技术的实施例，长光路单元包括至少一个反射镜，其中，反射镜用于折叠深紫外光束的光路。
4、根据本专利技术的实施例，平片滤光单元按照第一预设角度设于光束通道上，其中，平片滤光单元被配置为能够透过水平偏振态的激光，并滤除水平偏振态激光之外的其它杂散光。
5、根据本专利技术的实施例，棱镜偏转单元的入射光面或出射光面按照第二预设角度设于光束通道上，其中，棱镜偏转单元被配置为能够透过水平偏振态的激光，并滤除水平偏振态激光之外的其它杂散光。
6、根据本专利技术的实施例，棱镜偏转单元还被配置为能够利用棱镜的色散作用，分离深紫外光束与杂散光的传播方向。
7、根据本专利技术的实施例，光阑单元设有孔径，孔径被配置为能够通过深紫外光束，并遮挡深紫外光束中的杂散光。
8、根据本专利技术的实施例，平片滤光单元包括至少一个布儒斯特角平片，布儒斯特角平片的法向与深紫外光束的夹角为布儒斯特角。
9、根据本专利技术的实施例，棱镜偏转单元包括至少一个三角棱镜，三角棱镜的入射光面的法向与深紫外光束的夹角为布儒斯特角，且三角棱镜的出射光面的法向与深紫外光束的夹角为布儒斯特角。
10、根据本专利技术的实施例，光阑单元包括至少一个光阑。
11、根据本专利技术的实施例，光阑垂直于光束通道设置。
12、与现有技术相比，本专利技术提供的用于深紫外光路中的杂散光抑制系统，至少具有以下有益效果：
13、（1）本专利技术提供的用于深紫外光路中的杂散光抑制系统，通过采用长光路单元来增加了深紫外光束的传播光程，有利于分离方向性好的深紫外激光和杂散光，其中，光程越长，越有利于杂散光的分离，因此，该系统可以有效降低深紫外激光中的杂散光成分，提高深紫外光学系统的信噪比。
14、（2）本专利技术提供的用于深紫外光路中的杂散光抑制系统，采用平片滤光单元，利用其中的布儒斯特角平片，每个布儒斯特角平片的法向与激光束的夹角为布儒斯特角，依据布儒斯特定律，可高效透过p偏振（水平偏正态）的激光，滤除其他杂散光，提高深紫外光学系统的信噪比。
15、（3）本专利技术提供的用于深紫外光路中的杂散光抑制系统，采用棱镜偏转单元，利用其中的三角棱镜，每个三角棱镜的入射光面的法向与激光束的夹角为布儒斯特角，同时每个三角棱镜的出射光面的法向与激光束的夹角也是布儒斯特角，可高效透过p偏振的激光，滤除其他偏振的杂散光。另外，利用三角棱镜的色散作用，使得杂散光与深紫外激光发生方向上的分离。这两种因素的共同作用，可以有效降低深紫外激光中的杂散光成分，提高深紫外光学系统的信噪比。
16、（4）本专利技术提供的用于深紫外光路中的杂散光抑制系统，采用光阑单元，利用其中的光阑，使得每个光阑的孔径刚好通过深紫外激光，而对杂散光实现有效的遮挡，起到对杂散光的抑制作用，提高深紫外光学系统的信噪比。
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1.一种用于深紫外光路中的杂散光抑制系统，其特征在于，所述系统包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述长光路单元包括至少一个反射镜，其中，所述反射镜用于折叠所述深紫外光束的光路。
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述平片滤光单元按照第一预设角度设于所述光束通道上，其中，所述平片滤光单元被配置为能够透过水平偏振态的激光，并滤除水平偏振态激光之外的其它杂散光。
4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述棱镜偏转单元的入射光面或出射光面按照第二预设角度设于所述光束通道上，其中，所述棱镜偏转单元被配置为能够透过水平偏振态的激光，并滤除水平偏振态激光之外的其它杂散光。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述棱镜偏转单元还被配置为能够利用棱镜的色散作用，分离所述深紫外光束与杂散光的传播方向。
6.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述光阑单元设有孔径，所述孔径被配置为能够通过所述深紫外光束，并遮挡所述深紫外光束中的杂散光。
7.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述平片滤光单元
8.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述棱镜偏转单元包括至少一个三角棱镜，所述三角棱镜的入射光面的法向与所述深紫外光束的夹角为布儒斯特角，且所述三角棱镜的出射光面的法向与所述深紫外光束的夹角为布儒斯特角。
9.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述光阑单元包括至少一个光阑。
10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述光阑垂直于所述光束通道设置。
...【技术特征摘要】
1.一种用于深紫外光路中的杂散光抑制系统，其特征在于，所述系统包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述长光路单元包括至少一个反射镜，其中，所述反射镜用于折叠所述深紫外光束的光路。
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述平片滤光单元按照第一预设角度设于所述光束通道上，其中，所述平片滤光单元被配置为能够透过水平偏振态的激光，并滤除水平偏振态激光之外的其它杂散光。
4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述棱镜偏转单元的入射光面或出射光面按照第二预设角度设于所述光束通道上，其中，所述棱镜偏转单元被配置为能够透过水平偏振态的激光，并滤除水平偏振态激光之外的其它杂散光。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述棱镜偏转单元还被配置为能够利用棱镜的色散作用，分离所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：金鹏，王占国，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：
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