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【技术实现步骤摘要】
本申请涉及自动化设备,特别涉及一种光调装置。
技术介绍
1、激光雷达是以发射激光束探测目标的位置、速度等特征量的雷达系统;其工作原理是向目标发射探测信号(激光束),然后将接收到的从目标反射回来的信号(目标回波)与发射信号进行比较,作适当处理后,就可获得目标的有关信息,如目标距离、方位、高度、速度、姿态、甚至形状等参数。
2、相关技术中,有些激光雷达的光收发模组包括光芯片与微反射镜,光芯片包括多个收发波导模块,每个收发波导模块用于实现探测光的出射与回波光的接收,各收发波导模块之间沿垂直于光芯片的法线的方向错开排布。微反射镜与光芯片沿收发波导模块出射光信号的方向相对设置;微反射镜具有多个反射面,每一反射面与一收发波导模块相对设置。在对微反射镜和光芯片的光调过程中,相关技术中采用常规的弹簧夹爪结构夹持和释放微反射镜,但弹簧夹爪在释放微反射镜的瞬间通常只会单边释放压力,而这会使微反射镜的位置出现微位移,进而影响调试结果。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种光调装置,能够减小了微反射镜光调时的应力变化,使光调更稳定,以提高调试精度。
2、本申请实施例提供了一种光调装置,该光调装置包括:
3、承载组件,用于承载芯片模组,所述芯片模组包括基板以及设于所述基板的光芯片,所述光芯片具有多个收发波导模块,每一所述收发波导模块用于实现一光信号的收发;
4、多轴移动平台,包括安装部,所述多轴移动平台用于调节所述安装部的位置和姿态;
5、夹持组
6、光束分析仪,设于所述承载组件的上方,用于接收经由所述光芯片出射并经由所述微反射镜反射的光束。
7、在其中一些实施例中,所述多轴移动平台为六轴移动平台,所述安装部为所述六轴移动平台的执行端。
8、在其中一些实施例中,所述夹爪包括连接部与夹持部;
9、所述连接部与所述驱动部连接,所述夹持部与所述连接部连接,两所述夹爪的所述夹持部相对设置,两所述夹持部用于共同配合以夹持或释放所述微反射镜。
10、在其中一些实施例中,两所述夹持部中的一个为第一夹持部,另一个为第二夹持部,所述第一夹持部具有朝向所述第二夹持部设置的第一侧壁,所述第二夹持部的夹持部设有朝向所述第一夹持部设置的第二侧壁;
11、所述第一夹持部的底面设有定位槽,所述定位槽具有面向所述第二夹持部的第三侧壁与背向所述驱动部设置的第四侧壁;
12、两所述夹持部经由所述第三侧壁、所述第四侧壁与所述第二侧壁定位夹持所述微反射镜。
13、在其中一些实施例中,所述第一夹持部的底部还设有与所述定位槽连通的第一凹槽,所述第一凹槽分别在所述第三侧面及所述第四侧面处与所述定位槽连通。
14、在其中一些实施例中,所述夹爪还包括设于所述夹持部的底面的加强筋。
15、在其中一些实施例中,沿所述夹持部的厚度方向,所述加强筋的厚度与所述夹持部的厚度比值为1/6~1/2。
16、在其中一些实施例中,所述夹持部的底面凹设形成至少一避空槽,所述避空槽与所述定位槽不连通。
17、在其中一些实施例中,所述承载组件包括底座和吸附载台,所述吸附载台固定于所述底座的上方,且所述吸附载台与真空发生设备连通,所述吸附载台用于承载并真空吸附所述基板背离所述光芯片的表面。
18、在其中一些实施例中,所述承载组件还包括第一移动模组,所述第一移动模组与所述底座连接,所述第一移动模组用于驱动所述底座移动。
19、在其中一些实施例中,所述光调装置还包括支架和第二移动模组,所述第二移动模组可滑动地安装于所述支架,所述光束分析仪安装于所述第二移动模组,并位于所述光芯片的上方。
20、在其中一些实施例中,所述光调装置还包括摄像头,所述摄像头安装于所述第二移动模组,所述摄像头用于获取所述微反射镜与所述光芯片的相对位置信息。
21、本申请实施例的光调装置在夹持或释放微反射镜的过程中,夹持组件的驱动部用于控制两夹爪同步地相向或背向运动。从而使得当微反射镜和光芯片相对位置确定以进行固定时,在放开微反射镜的瞬间,两夹爪同时释放微反射镜,降低了释放微反射镜时相对两侧的受力差异,减少微反射镜的位置出现微位移的情况的发生,即减小了微反射镜光调时的应力变化,使光调更稳定,提高调试精度。
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1.一种光调装置,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的光调装置,其特征在于,所述多轴移动平台为六轴移动平台,所述安装部为所述六轴移动平台的执行端。
3.如权利要求1所述的光调装置,其特征在于,所述夹爪包括连接部与夹持部;
4.如权利要求3所述的光调装置,其特征在于,两所述夹持部中的一个为第一夹持部,另一个为第二夹持部,所述第一夹持部具有朝向所述第二夹持部设置的第一侧壁,所述第二夹持部设有朝向所述第一夹持部设置的第二侧壁;
5.如权利要求4所述的光调装置,其特征在于,所述第一夹持部的底部还设有与所述定位槽连通的第一凹槽,所述第一凹槽分别在所述第三侧面及所述第四侧面处与所述定位槽连通。
6.如权利要求3所述的光调装置,其特征在于,所述夹爪还包括设于所述夹持部的底面的加强筋。
7.如权利要求6所述的光调装置,其特征在于,沿所述夹持部的厚度方向,所述加强筋的厚度与所述夹持部的厚度比值为1/6~1/2。
8.如权利要求4所述的光调装置,其特征在于,所述夹持部的底面凹设形成至少一避空槽,所述避空槽与所述
9.如权利要求1至8任意一项中所述的光调装置,其特征在于,所述承载组件包括底座和吸附载台,所述吸附载台固定于所述底座的上方,且所述吸附载台与真空发生设备连通,所述吸附载台用于承载并真空吸附所述基板背离所述光芯片的表面。
10.如权利要求9所述的光调装置,其特征在于,所述承载组件还包括第一移动模组,所述第一移动模组与所述底座连接,所述第一移动模组用于驱动所述底座移动。
11.如权利要求1至8任意一项中所述的光调装置,其特征在于,所述光调装置还包括支架和第二移动模组,所述第二移动模组可滑动地安装于所述支架,所述光束分析仪安装于所述第二移动模组,并位于所述光芯片的上方。
12.如权利要求11所述的光调装置,其特征在于,所述光调装置还包括摄像头,所述摄像头安装于所述第二移动模组,所述摄像头用于获取所述微反射镜与所述光芯片的相对位置信息。
...【技术特征摘要】
1.一种光调装置,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的光调装置,其特征在于,所述多轴移动平台为六轴移动平台,所述安装部为所述六轴移动平台的执行端。
3.如权利要求1所述的光调装置,其特征在于,所述夹爪包括连接部与夹持部;
4.如权利要求3所述的光调装置,其特征在于,两所述夹持部中的一个为第一夹持部,另一个为第二夹持部,所述第一夹持部具有朝向所述第二夹持部设置的第一侧壁,所述第二夹持部设有朝向所述第一夹持部设置的第二侧壁;
5.如权利要求4所述的光调装置,其特征在于,所述第一夹持部的底部还设有与所述定位槽连通的第一凹槽,所述第一凹槽分别在所述第三侧面及所述第四侧面处与所述定位槽连通。
6.如权利要求3所述的光调装置,其特征在于,所述夹爪还包括设于所述夹持部的底面的加强筋。
7.如权利要求6所述的光调装置,其特征在于,沿所述夹持部的厚度方向,所述加强筋的厚度与所述夹持部的厚度比值为1/6~1/2。
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【专利技术属性】
技术研发人员:于贺贺,汪敬,
申请(专利权)人:深圳市速腾聚创科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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