用于传输工具的拾取器以及具有该拾取器的传输工具制造技术

一种用于传输工具的拾取器包括：连接于用于传输拾取器的传输模块的拾取器主体；安装于所述拾取器主体以能够垂直地移动的吸杆，其内具有在上、下方向贯穿形成的真空管路，其下端具有用于吸持半导体装置的吸头，且其上端具有气动连接部分，该气动连接部分连接于用于生成真空压使得所述吸头能够吸持半导体装置的真空压生成器；用于通过向下提供弹力而允许所述吸头维持相对于拾取器主体向下移动的状态的弹性部件；及安装于所述拾取器主体的气压缸单元，用于通过气动压力相对于所述拾取器主体向上移动所述吸杆。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于传输工具的拾取器，尤其涉及一种用于能够 拾取例如半导体装置的要传输的物体的传输工具的拾取器，以及具有 该拾取器的传输工具。
技术介绍
在制造半导体装置的过程中，已经过封装处理的半导体装置必须经过各种测试，比如电特性测试，例如DC特性以及用于测试抵抗外 部热的可靠性的老化测试。根据测试结果，半导体装置分为好的或坏 的。为了测试或分拣处理，将半导体装置装载在每个托盘和/或板子 上，托盘顺序传送。装载在每一托盘和/或板子上的半导体装置由传输工具拾取并传 输至测试设备的插孔、托盘、板子等，从而测试或分拣。用于拾取半导体装置的常规传输工具包括吸杆，其一端具有吸 头，该吸头用于通过形成真空压吸持半导体装置的上表面；以及用于 垂直移动该吸杆的气压缸单元。这里，气压缸单元设置有与用于供应空气的供气管连接的连接部 分，藉此通过空气供给向上或向下移动吸杆。将传输工具配置为具有两个、四个、八个拾取器等作为一套，藉 此一次传输多个半导体装置。用于传输工具的拾取器的数量以及配置 根据传输工具的结构决定。由于根据一套中拾取器的数量和配置决定要传输的半导体装置 的数量，用于传输工具的拾取器的结构极大地影响使用这种传输工具 的半导体装置测试器或者半导体装置分拣器的性能。另外，当在传输过程中，用于传输工具的拾取器的吸头开始与半 导体装置接触时，可能破坏半导体装置，或者由于向其施加的接触压 使得半导体装置的引线变形。此外，由于半导体装置的高度可能改变，应根据半导体装置的变 化的高度提供额外的用于传输工具的拾取器。
技术实现思路
因此，本专利技术的一个目的是提供一种具有能够使多个拾取器形成 一套拾取器的结构的传输工具。本专利技术的另一个目的是提供一种能够最小化施于要传输的半导 体装置的压力的用于传输工具的拾取器。本专利技术的再一个目的是提供一种拾取器，用于能够不受限于根据 半导体装置的类型而不同的半导体装置的高度传输半导体装置的传 输工具。为实现上述目的，提供一种用于传输工具的拾取器，包括连接于用于移动拾取器的传输模块的拾取器主体；安装于该拾取器体以便可垂直移动的吸杆，该吸杆内具有沿上、下方向贯穿形成的真空管路， 其下端用于吸持半导体装置的吸头，和其上端的气动连接部分，该气 动连接部分连接于用于生成真空压使得该吸头能够吸持半导体装置的真空压发生器；用于通过向下施加弹力至该吸杆，维持该吸杆相对 于该拾取器主体的向下移动的状态的弹性部件；以及安装于该拾取器 主体的气压缸单元，用于通过气动压力相对于该拾取器主体向上移动 该吸杆。该拾取器主体可形成有一个或更多个用于在吸杆垂直移动时阻 止吸杆旋转的导向孔。该导向孔可形成为具有多边形形状，沿该导向孔移动的吸杆的一 部分具有多边形形状。该弹性部件可为安装于该拾取器主体下并插入有该吸杆的螺旋弹簧。该拾取器主体可包括第一体部分；及连接于该第一体部分的第二 体部分，该第二体部分中有该气压缸单元。该气压缸单元可包括可移动地插入该第二体部分的向上打开的 气缸空间的活塞管，该活塞管连接于吸杆的上端，用于通过活塞管的 移动来移动吸杆，以及形成在活塞管下端用于排出空气的排气口，活 塞管的上端连接于用于供应空气至排气口的供气管，及在活塞管的外 部圆周表面上形成的密封部分，用于通过阻止排放至排气口的空气在 该气缸空间外面流动而通过排气口供应的空气的压力来向上移动该 活塞管。该第一体部分可形成有在其上侧以及下侧的支撑突出，使得第二 体部分的上端及下端能够插入并与其连接。为实现这些目的，也提供一种传输工具，包括 一个或更多个所 述拾取器；与该拾取器连接的传输模块，用于移动该拾取器。为实现这些目的，还提供一种用于传输工具的拾取器，包括连 接于用于移动拾取器的传输模块的拾取器主体；安装在该拾取器主体 以便可垂直移动的吸杆，该吸杆内具有在上、下方向贯穿形成的真空 管路，其下端用于吸持半导体装置的吸头，以及其上端的气动连接部 分，该气动连接部分连接至用于生成真空压使得该吸头可吸持半导体 装置的真空压生成器；用于相对于该拾取器主体向下施加弹力至吸杆 的弹性部件；以及安装于该拾取器体的气压缸单元，用于通过气动压 力相对于该拾取器主体垂直移动吸杆。该气压缸单元可配置以具有两个气动室。且，该气压缸单元可包 括彼此平行地安装于该拾取器主体的第一以及第二导轴，第一及第 二导轴内有管路；以及连接于该第一及第二导轴以便可垂直移动的缸 体，该缸体具有连接于该第一导轴的管路的第一气动室，以及由连接 于该第二导轴的密封部分划分为两个室空间的第二气动室，两个室空间分别连接于第二导轴的管路以及第一气动室，该吸杆安装于缸体一 侧以便可垂直移动。该缸体可形成有一个或更多个与该吸杆连接、用于阻止该吸杆旋 转的导向孔。该导向孔可形成为具有多边形形状，沿该导向孔移动的吸杆的一部分具有多边形形状，弹性部件可为安装在该拾取器主体下且插入有吸杆的螺旋弹簧。依照本专利技术的用于传输工具的拾取器具有一个优点，在于因为使 用单个的气压缸以减少由气压缸占用的空间，拾取器的安装空间减至最小。依照本专利技术的用于传输工具的拾取器具有一个优点，在于因为使 用单个的气压缸以减少拾取器占用的空间，传输工具可设置有更大数 量的拾取器。特别地，通过最小化相邻拾取器之间的间隔并调整该间 隔可将该用于传输工具的拾取器应用到任何不同标准的装置。依照本专利技术的用于传输工具的拾取器具有一个优点，在于因为用 于传输工具的拾取器最小化吸头对要吸持的半导体装置的上表面的 接触力，可避免接触力导致的半导体装置的损坏或半导体装置的引线 的变形。依照本专利技术的用于传输工具的拾取器具有一个优点，在于因为吸 头配置为当接触要拾取的半导体装置的上表面时可向上移动，用于传 输工具的拾取器能够不受限于半导体装置根据半导体装置的类型而 不同的高度，传输半导体装置。附图说明图l为按照本专利技术的用于传输工具的拾取器的透视图； 图2为图1的用于传输工具的拾取器的分解透视图； 图3为图1的用于传输工具的拾取器的剖面图； 图4为显示图1的用于传输工具的拾取器的吸头吸持半导体装置后向上移动的状态的视图；图5为依照本专利技术第二种实施方案的用于传输工具的拾取器的分解透视图；图6为图5的用于传输工具的拾取器的剖面图；以及 图7为显示图6的用于传输工具的拾取器向下移动以吸持半导体 装置的状态的剖面图。具体实施方式以下，将参照附图更详细地说明依照本专利技术的用于传输工具的拾 取器。图l为按照本专利技术的用于传输工具的拾取器的透视图，图2为图1 的用于传输工具的拾取器的分解透视图，图3为图1的用于传输工具的 拾取器的剖面图，图4为显示图1的用于传输工具的拾取器的吸头吸持 半导体装置之后向上移动的状态的视图。依照本专利技术的传输工具包括在控制器(未示出)的控制下移动的 传输模块(未示出)；及一个或多个连接于该传输模块以随传输模块 的移动而移动的拾取器，用于拾取半导体装置l并将所拾取的半导体 装置l装载至另一个位置。该传输模块包括用于装配一个或多个拾取器的装配部分，以及用 于在X方向、或Y方向、或X-Y方向等移动该装配部分的传输装置。如图1至图3所示，该拾取器包括拾取器主体100，安装于拾取器 主体100以便可垂直地移动的吸杆200，用于提供弹力至吸杆200的下 侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于传输工具的拾取器，包括：　连接于用于移动拾取器的传输模块的拾取器主体；　安装于所述拾取器主体以能够垂直移动的吸杆，所述吸杆内具有在上、下方向贯穿形成的真空管路，其下端用于吸持半导体装置的吸头，以及其上端的气动连接部分，所 述气动连接部分连接于用于生成真空压使得所述吸头可吸持半导体装置的真空压生成器；　用于通过向下施加弹力至所述吸杆，维持所述吸杆相对于所述拾取器主体向下移动的状态的弹性部件；及　安装于所述拾取器主体的气压缸单元，用于通过气动压力相对 于所述拾取器主体向上移动所述吸杆。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳弘俊，张元鎭，
申请(专利权)人：宰体有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]