【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光电芯片检测领域，具体涉及一种用于芯片检测的均匀光源系统。
技术介绍
1、光电芯片的成像感光性能检测需要特定工作波段的均匀光作为激励源，来测试芯片的感光性能，例如量子效率，像素感光均一性等。检测的准确率和可靠性对光源均一性提出了很高的要求；另外光源功率的实时监测反馈，对及时发现产线异常具有很大的帮助。
技术实现思路
1、为此，本技术提供了一种用于芯片检测的均匀光源系统，具有实时精确功率监测的光源。
2、为实现上述目的，本技术主要采用以下技术方案：
3、一种用于芯片检测的均匀光源系统，所述系统中包括：均匀光发生装置和功率检测装置，其中，所述均匀光发生装置包括：光源，用于提供恒定光源；光纤，两端分别连接所述光源和积分球，用于将所述恒定光源传输至积分球；积分球，内部为球形中空结构，用于对恒定光源进行内部匀化得到均匀光；光筒，通过转接口与所述积分球连接，用于对所述均匀光进行准直得到面光源；所述功率检测装置包括：功率计，与所述积分球连接，用于实时检测所述积分球内部的均匀光的功率；以及转接板，所述转接板与所述功率计固定连接，用于将所述均匀光的功率实时传输至上位机。
4、优选地，所述积分球还包括：第一通孔，与所述光纤连接，用于接收所述光纤传输的恒定光源；第二通孔，与所述光筒连接，用于将所述均匀光输出至所述光筒；第三通孔，其上盖设有所述转接板，用于插接所述功率计。
5、优选地，所述光筒包括：光筒入口和光筒主体，在所述光筒入口处设置有滤光片。
6、优选地，通过调节所述光筒的深度控制所述面光源的大小。
7、优选地，所述系统还包括：可调恒流源，与所述光源连接，用于向所述光源提供恒定电流。
8、优选地，所述光源优选为特定波长的led光源。
9、优选地，所述光纤为sma光纤。
10、本技术提供的系统能够在设计目标面产生均匀光源，根据需要调节波长，调节功率大小，并且能够实时监测目标面照射功率，并反馈给上位机，起到在线监测的作用。
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1.一种用于芯片检测的均匀光源系统，其特征在于，所述系统中包括：均匀光发生装置和功率检测装置，其中，所述均匀光发生装置包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述积分球还包括：
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述光筒包括：光筒入口和光筒主体，在所述光筒入口处设置有滤光片。
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，通过调节所述光筒的深度控制所述面光源的大小。
5.根据权利要求1-4任一项所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：
6.根据权利要求1-4任一项所述的系统，其特征在于，所述光源为特定波长的LED光源。
7.根据权利要求1-4任一项所述的系统，其特征在于，所述光纤为SMA光纤。
【技术特征摘要】
1.一种用于芯片检测的均匀光源系统，其特征在于，所述系统中包括：均匀光发生装置和功率检测装置，其中，所述均匀光发生装置包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述积分球还包括：
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述光筒包括：光筒入口和光筒主体，在所述光筒入口处设置有滤光片。
4.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：左海杰，王申，
申请(专利权)人：唯导上海科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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