System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种高分辨率印刷检测显微镜物镜制造技术_技高网

一种高分辨率印刷检测显微镜物镜制造技术

技术编号:44797535 阅读:5 留言:0更新日期:2025-03-28 19:48
本发明专利技术是关于一种高分辨率印刷检测显微镜物镜,包括沿光轴依次排列的第一透镜、第二透镜、光阑、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜,入射光束依次经所述第一透镜会聚、所述第二透镜发散后,经光阑限制路径,然后依次经所述第三透镜发散、所述第四透镜发散、所述第五透镜会聚,并最终经所述第六透镜会聚而成像于所述光轴的延长线上。本发明专利技术的高分辨率印刷检测显微镜物镜具有长物距和复消色差特性,成像情况理想、稳定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学透镜领域,尤其涉及一种高分辨率印刷检测显微镜物镜


技术介绍

1、显微镜物镜作为高精度印刷检测设备的关键元件,被广泛应用于产品失效分析、质量控制等重要环节。相比于传统的照相物镜,显微镜物镜具有更高的分辨率,能够快速清晰地定位被测物体的微小缺陷,不仅可以对产品进行严格的质量控制,还显著提升了检测的效率和精度。因此,高分辨率的显微镜物镜是衡量印刷检测设备有效性和可靠性的有力保障。

2、目前,随着印刷行业的快速发展,对印刷质量的检测精度和效率提出了更高的要求。然而,目前现有的显微镜物镜仍存在物距较短、色差校正不完善等不足之处,限制了其在高精度印刷检测中的应用。


技术实现思路

1、针对上述技术问题,本专利技术提出一种高分辨率印刷检测显微镜物镜,具有长物距、复消色差、高分辨率、高成像质量等优点,全视场在空间频率600lp/mm处的mtf均大于0.2,且各个视场的rms弥散斑大小均小于艾里斑大小,镜头总长小于55mm。

2、本专利技术具体涉及一种高分辨率印刷检测显微镜物镜,包括:从物侧向像侧沿光轴依次排列的具有正光焦度、且凹面朝向像面的第一透镜,具有负光焦度、且凸面朝向物面的第二透镜,由第一子透镜和第二子透镜组成的具有负光焦度的第三透镜,由第三子透镜和第四子透镜组成的具有负光焦度的第四透镜,具有正光焦度、且双凸面的第五透镜,具有正光焦度、且凹面朝向像面的第六透镜;所述第三透镜与所述第四透镜均为双胶合透镜;第一透镜的光焦度为φ1,第二透镜的光焦度为φ2,第三透镜的光焦度为φ3,第四透镜的光焦度为φ4,第五透镜的光焦度为φ5,第六透镜的光焦度为φ6,整个显微镜物镜的光焦度为φ,满足如下关系:0.5≤φ≤0.1;其中,所述显微镜物镜的光学总长,即ttl≤55mm,且所述第一透镜的光焦度φ1与整个显微镜物镜的光焦度φ,满足如下关系:0.56≤φ1/φ≤0.64。

3、进一步地,所述第二透镜的光焦度φ2与整个显微镜物镜的光焦度φ,满足如下关系:-0.74≤φ2/φ≤-0.53。

4、进一步地,所述第三透镜的光焦度φ3与整个显微镜物镜的光焦度φ,满足如下关系:-0.42≤φ3/φ≤-0.2。

5、进一步地,所述第四透镜的光焦度φ4与整个显微镜物镜的光焦度φ,满足如下关系:-0.1≤φ4/φ≤-0.056。

6、进一步地,所述第五透镜的光焦度φ5与整个显微镜物镜的光焦度φ,满足如下关系:0.74≤φ5/φ≤1.05。

7、进一步地,所述第六透镜的光焦度φ6与整个显微镜物镜的光焦度φ,满足如下关系:0.12≤φ6/φ≤0.25。

8、进一步地,所述第一子透镜的折射率为n31,所述第二子透镜的折射率为n32,满足如下关系:0.04≤|n31-n32|≤0.1。

9、进一步地,所述第三子透镜的折射率为n3,所述第四子透镜的折射率为n4,满足如下关系:0.12≤|n3-n4|≤0.3。

10、进一步地,所述第一子透镜的阿贝数为vd31,所述第二子透镜的阿贝数为vd32,满足如下关系:23≤|vd31-vd32|≤45。

11、进一步地,所述第三子透镜的阿贝数为vd41,所述第四子透镜的阿贝数为vd42,满足如下关系:35≤|vd41-vd42|≤40。

12、本专利技术提供的高分辨率印刷检测显微镜物镜仅由六组(八个)透镜构成,结构简单、易于实现,具有长物距和复消色差特性。通过上述结构的高分辨率印刷检测显微镜物镜,能够实现高分辨率的全视场成像,各个视场的均方根弥散斑均小于艾里斑,成像情况理想、稳定;在空间频率600lp/mm处保证mtf(调制传递函数)仍大于0.2,适用于检测印刷品中的精细缺陷,为高精度印刷检测提供了强有力的技术保障。

13、应当理解的是,以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的,并不能限制本公开。

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【技术保护点】

1.一种高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第二透镜的光焦度Φ2与整个显微镜物镜的光焦度Φ,满足如下关系:-0.74≤Φ2/Φ≤-0.53。

3.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第三透镜的光焦度Φ3与整个显微镜物镜的光焦度Φ,满足如下关系:-0.42≤Φ3/Φ≤-0.2。

4.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第四透镜的光焦度Φ4与整个显微镜物镜的光焦度Φ,满足如下关系:-0.1≤Φ4/Φ≤-0.056。

5.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第五透镜的光焦度Φ5与整个显微镜物镜的光焦度Φ,满足如下关系:0.74≤Φ5/Φ≤1.05。

6.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第六透镜的光焦度Φ6与整个显微镜物镜的光焦度Φ,满足如下关系:0.12≤Φ6/Φ≤0.25。

7.根据权利要求1-6中任一项权利要求所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第一子透镜的折射率为n31,所述第二子透镜的折射率为n32,满足如下关系:0.04≤|n31-n32|≤0.1。

8.根据权利要求1-6中任一项权利要求所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第三子透镜的折射率为n3,所述第四子透镜的折射率为n4,满足如下关系:0.12≤|n3-n4|≤0.3。

9.根据权利要求1-6中任一项权利要求所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第一子透镜的阿贝数为Vd31,所述第二子透镜的阿贝数为Vd32,满足如下关系:23≤|Vd31-Vd32|≤45。

10.根据权利要求1-6中任一项权利要求所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第三子透镜的阿贝数为Vd41,所述第四子透镜的阿贝数为Vd42,满足如下关系:35≤|Vd41-Vd42|≤40。

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【技术特征摘要】

1.一种高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第二透镜的光焦度φ2与整个显微镜物镜的光焦度φ,满足如下关系:-0.74≤φ2/φ≤-0.53。

3.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第三透镜的光焦度φ3与整个显微镜物镜的光焦度φ,满足如下关系:-0.42≤φ3/φ≤-0.2。

4.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第四透镜的光焦度φ4与整个显微镜物镜的光焦度φ,满足如下关系:-0.1≤φ4/φ≤-0.056。

5.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第五透镜的光焦度φ5与整个显微镜物镜的光焦度φ,满足如下关系:0.74≤φ5/φ≤1.05。

6.根据权利要求1所述的高分辨率印刷检测显微镜物镜,其特征在于,所述第六透镜的光焦度φ6与整个显微镜物镜的光焦度φ,满足...

【专利技术属性】
技术研发人员:杜斌金豆豆杨柯楠王赛男尹梦伟王瀚裴翌廷周世生
申请(专利权)人:西安理工大学
类型:发明
国别省市:

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