【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，具体的说是一种大负载物镜式五维度镜架。
技术介绍
1、半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。
2、在半导体检测和测量中，照明物镜是光路中核心组件，这个组件在使用中现需要多个维度的调整，并且需要很高的稳定性。当光路中的物镜超过4kg时，目前标准五位镜架负载较小，针对直径较大的标准大物镜无法满足空间安装需求和负载需求。
3、故此，我们提出了一种大负载物镜五位镜架，用以解决上述问题。
技术实现思路
1、针对现有技术中存在的上述不足之处，本技术目的是提供大负载物镜式五维度镜架，用于解决现有的标准五位镜架负载较小，针对直径较大的大物镜无法满足空间安装需求的问题。
2、本技术为实现上述目的所采用的技术方案是：大负载物镜式五维度镜架，包括座板、t型架以及大物镜安装板，所述t型架固设于座板上，所述t型架上固设有一大物镜安装板，通过所述大物镜安装板固定安装大负载物镜，所述大物镜安装板的外部围设有支撑框，其特点是：还包括左右偏摆模块、y方向调节模块、z方向调节模块、x方向调节模块以及前后
3、为了进一步提高大负载物镜式五维度镜架的使用便利性，本技术采用的方案是：所述y方向调节模块、z方向调节模块及x方向调节模块上均设有微型滑轨，所述微型滑轨通过台阶螺栓与弹簧设于各调节模块上，且所述微型滑轨连接有第二微调螺钉组件。
4、为了进一步提高大负载物镜式五维度镜架的使用便利性，本技术采用的方案是：所述y方向调节模块包括定位锁止片、y方向上调节板与y方向下调节板，所述y方向上调节板与所述y方向下调节板之间连接有第一微调螺钉组件，所述y方向下调节板的底部设有定位锁止片，旋转第一微调螺钉组件带动y方向上调节板沿微型滑轨做y方向移动。
5、为了进一步提高大负载物镜式五维度镜架的使用便利性，本技术采用的方案是：所述z方向调节模块包括定位锁止片、z方向前调节板与z方向后调节板，所述z方向前调节板与所述z方向后调节板之间连接有第三微调螺钉组件，所述z方向后调节板的侧部设有定位锁止片，旋转第三微调螺钉组件带动z方向前调节板沿微型滑轨做z方向移动。
6、为了进一步提高大负载物镜式五维度镜架的使用便利性，本技术采用的方案是：所述x方向调节模块包括定位锁止片、x方向上调节板与x方向下调节板，所述x方向上调节板与所述x方向下调节板之间连接有第四微调螺钉组件，所述x方向下调节板的侧部设有定位锁止片，旋转第四微调螺钉组件带动x方向上调节板沿微型滑轨做z方向移动。
7、为了进一步提高大负载物镜式五维度镜架的使用便利性，本技术采用的方案是：所述左右偏摆模块包括左右偏摆前调节板与左右偏摆后调节板，所述左右偏摆前调节板与所述左右偏摆后调节板之间通过弹性连接块左右偏摆连接固定。
8、为了进一步提高大负载物镜式五维度镜架的使用便利性，本技术采用的方案是：所述前后偏摆模块包括前后偏摆前调节板与前后偏摆后调节板，所述前后偏摆前调节板与所述前后偏摆后调节板之间通过弹性连接块前后偏摆连接固定。
9、为了进一步提高大负载物镜式五维度镜架的使用便利性，本技术采用的方案是：所述左右偏摆模块与前后偏摆模块均通过定位锁止片活动锁定。
10、本技术的有益效果：该种大负载物镜式五维度镜架通过五个不同方向的位置进行定位调节，实现镜筒所需位置的精确固定，解决了大物镜在空间安装和重负载情况下安装调试，解决光路重核心部件的固定。
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1.大负载物镜式五维度镜架，包括座板（5）、T型架（6）以及大物镜安装板（7），所述T型架（6）固设于座板（5）上，所述T型架（6）上固设有一大物镜安装板（7），通过所述大物镜安装板（7）固定安装大负载物镜，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的大负载物镜式五维度镜架，其特征在于：所述Y方向调节模块（2）、Z方向调节模块（3）及X方向调节模块（4）上均设有微型滑轨（10）。
3.根据权利要求2所述的大负载物镜式五维度镜架，其特征在于：所述微型滑轨（10）通过台阶螺栓与弹簧设于各调节模块上，且所述微型滑轨（10）连接有第二微调螺钉组件（12）。
4.根据权利要求1所述的大负载物镜式五维度镜架，其特征在于：所述Y方向调节模块（2）包括定位锁止片、Y方向上调节板与Y方向下调节板，所述Y方向上调节板与所述Y方向下调节板之间连接有第一微调螺钉组件（11），所述Y方向下调节板的底部设有定位锁止片，旋转第一微调螺钉组件（11）带动Y方向上调节板沿微型滑轨（10）做Y方向移动。
5.根据权利要求1所述的大负载物镜式五维度镜架，其特征在于：所述Z方向
6.根据权利要求1所述的大负载物镜式五维度镜架，其特征在于：所述X方向调节模块（4）包括定位锁止片、X方向上调节板与X方向下调节板，所述X方向上调节板与所述X方向下调节板之间连接有第四微调螺钉组件（14），所述X方向下调节板的侧部设有定位锁止片，旋转第四微调螺钉组件（14）带动X方向上调节板沿微型滑轨（10）做Z方向移动。
7.根据权利要求1所述的大负载物镜式五维度镜架，其特征在于：所述左右偏摆模块（1）包括左右偏摆前调节板与左右偏摆后调节板，所述左右偏摆前调节板与所述左右偏摆后调节板之间通过弹性连接块（15）左右偏摆连接固定。
8.根据权利要求1所述的大负载物镜式五维度镜架，其特征在于：所述前后偏摆模块（8）包括前后偏摆前调节板与前后偏摆后调节板，所述前后偏摆前调节板与所述前后偏摆后调节板之间通过弹性连接块（15）前后偏摆连接固定。
9.根据权利要求1所述的大负载物镜式五维度镜架，其特征在于：所述左右偏摆模块（1）与前后偏摆模块（8）均通过定位锁止片活动锁定。
10.根据权利要求1所述的大负载物镜式五维度镜架，其特征在于：所述大物镜安装板（7）的外部围设有支撑框（9）。
...【技术特征摘要】
1.大负载物镜式五维度镜架，包括座板（5）、t型架（6）以及大物镜安装板（7），所述t型架（6）固设于座板（5）上，所述t型架（6）上固设有一大物镜安装板（7），通过所述大物镜安装板（7）固定安装大负载物镜，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的大负载物镜式五维度镜架，其特征在于：所述y方向调节模块（2）、z方向调节模块（3）及x方向调节模块（4）上均设有微型滑轨（10）。
3.根据权利要求2所述的大负载物镜式五维度镜架，其特征在于：所述微型滑轨（10）通过台阶螺栓与弹簧设于各调节模块上，且所述微型滑轨（10）连接有第二微调螺钉组件（12）。
4.根据权利要求1所述的大负载物镜式五维度镜架，其特征在于：所述y方向调节模块（2）包括定位锁止片、y方向上调节板与y方向下调节板，所述y方向上调节板与所述y方向下调节板之间连接有第一微调螺钉组件（11），所述y方向下调节板的底部设有定位锁止片，旋转第一微调螺钉组件（11）带动y方向上调节板沿微型滑轨（10）做y方向移动。
5.根据权利要求1所述的大负载物镜式五维度镜架，其特征在于：所述z方向调节模块（3）包括定位锁止片、z方向前调节板与z方向后调节板，所述z方向前调节板与所述z方向后调节板之间连接有第三微调螺钉组件（13），所述z方向后调节板...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶亮，
申请(专利权)人：常州雷射激光设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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