【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蚀刻，具体涉及蚀刻方法，还涉及蚀刻装置。
技术介绍
1、蚀刻过程是电路板生产的基本工序，是指采用蚀刻液将电路基板未被抗蚀层保护的铜蚀刻掉，最终形成导电线路的过程。
2、随着科技的发展，线路精细要求越来越高，业界对于载板蚀刻线路生产提出了更高的要求；现有技术主要采用一流体喷嘴蚀刻或二流体蚀刻两种蚀刻技术进行蚀刻，但是采用一流体喷嘴蚀刻往往存在线路清晰度达不到工艺要求的问题；使用二流体蚀刻技术虽然能够使得线路清晰度达到工艺要求，但是现有的二流体蚀刻技术存在压缩空气需求量大、蚀刻速率较慢以及能量消耗较大等问题。
技术实现思路
1、为此，本专利技术提供一种蚀刻装置，以解决现有技术中的上述问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、根据本专利技术的第一方面，一种蚀刻方法，具备以下蚀刻工序：
4、第一蚀刻工序、使用二流体喷嘴将第一蚀刻液和压缩空气喷附于蚀刻对象表面从而将蚀刻对象蚀刻；
5、第二蚀刻工序、使用二流体喷嘴将压缩空气以及第二蚀刻液同时喷附于在上述第一蚀刻工序蚀刻完成后的蚀刻对象；
6、第一蚀刻工序的二流体喷嘴的压缩空气的压力小于第二蚀刻工序的二流体喷嘴的压缩空气的压力，第二蚀刻液的蚀刻速率小于第一蚀刻液的蚀刻速率。
7、进一步地，第一蚀刻液和第二蚀刻液均为hcl与naclo3的混合溶液，第一蚀刻液的hcl浓度大于第二蚀刻液的hcl浓度。
8、进一步地，第一
9、进一步地，第一蚀刻工序的二流体喷嘴的压缩空气的压力为2.0bar，第二蚀刻工序的二流体喷嘴的压缩空气的压力为3.0bar。
10、根据本专利技术的第一方面，一种蚀刻装置，包括第一机身、第二机身、第一水泵、第二水泵、气泵、多个第一二流体喷嘴和多个第二二流体喷嘴，第一机身内设置有第一蚀刻液，第二机身内设置有第二蚀刻液，第一水泵的出水口通过水管与多个第一二流体喷嘴连接，第二水泵的出水口通过水管与多个第二二流体喷嘴连接，第一水泵的进水口通过管路与第一机身连接且连通至第一蚀刻液，第二水泵的进水口通过管路与第二机身连接且连通至第二蚀刻液，多个第一二流体喷嘴和多个第二二流体喷嘴均通过气管和气泵连接，多个第一二流体喷嘴均安装于第一机身内，多个第二二流体喷嘴均安装于第二机身内。
11、进一步地，还包括第三水泵、第一吸头、第四水泵和第二吸头，第三水泵的进水口通过水管与多个第一吸头连接，第三水泵的出水口通过水管与第一机身连接且连通至第一蚀刻液，第四水泵的进水口通过水管与多个第二吸头连接，第四水泵的出水口通过水管与第二机身连接且连通至第二蚀刻液。
12、进一步地，还包括第一文丘里管和第二文丘里管，第一文丘里管的一端通过水管与第三水泵连接，第一文丘里管的另一端通过水管与第一机身连接且连通至第一蚀刻液，第一文丘里管的中部通过水管与多个第一吸头连接，第二文丘里管的一端通过水管与第四水泵连接，第二文丘里管的另一端通过水管与第二机身连接且连通至第二蚀刻液，第二文丘里管的中部通过水管与多个第二吸头连接。
13、进一步地，还包括第一自动调节阀和第二自动调节阀，第一水泵与多个第一二流体喷嘴之间的水管上、第三水泵与第一文丘里管之间的水管上及气泵与多个第一二流体喷嘴之间的气管上均设置有第一自动调节阀，第二水泵与多个第二二流体喷嘴之间的水管上、第四水泵与第二文丘里管之间的水管上及气泵与多个第二二流体喷嘴之间的气管上均设置有第二自动调节阀。
14、进一步地，还包括第一压力计和第二压力计，第一水泵与多个第一二流体喷嘴之间的水管上、第三水泵与第一文丘里管之间的水管上及气泵与多个第一二流体喷嘴之间的气管上均设置有第一压力计，第二水泵与多个第二二流体喷嘴之间的水管上、第四水泵与第二文丘里管之间的水管上及气泵与多个第二二流体喷嘴之间的气管上均设置有第二压力计。
15、进一步地，还包括输送机构，输送机构用于输送蚀刻对象，多个第一二流体喷嘴分别设置于输送机构的上下两侧，多个第二二流体喷嘴分别设置于输送机构的上下两侧，第一机身及第二机身均与输送机构连接。
16、本专利技术具有如下优点：通过对第一蚀刻工序采用第一蚀刻液、第二蚀刻工序采用第二蚀刻液，采用上述蚀刻方法与传统的二流体蚀刻相比，能减少压缩空气使用量30％以上；蚀刻速率提高20％以上同时保障最佳的蚀刻效果。
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1.一种蚀刻方法，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于，所述第一蚀刻液(112)和所述第二蚀刻液(212)均为HCl与NaClO3的混合溶液，所述第一蚀刻液(112)的HCl浓度大于所述第二蚀刻液(212)的HCl浓度。
3.根据权利要求2所述的蚀刻方法，其特征在于，所述第一蚀刻液(112)的HCl浓度为1.5mol/L至2.5mol/L，所述第二蚀刻液(212)的HCl浓度为0.3mol/L至0.5mol/L。
4.根据权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于，所述第一蚀刻工序的二流体喷嘴的压缩空气的压力为2.0bar，所述第二蚀刻工序的二流体喷嘴的压缩空气的压力为3.0bar。
5.一种蚀刻装置，其特征在于，包括第一机身(101)、第二机身(201)、第一水泵(103)、第二水泵(203)、气泵(106)、多个第一二流体喷嘴(105)和多个第二二流体喷嘴(205)，所述第一机身(101)内设置有第一蚀刻液(112)，所述第二机身(201)内设置有第二蚀刻液(212)，所述第一水泵(103)的出水口通过水管与多个
6.根据权利要求5所述的一种蚀刻装置，其特征在于，还包括第三水泵(108)、第一吸头(102)、第四水泵(208)和第二吸头(202)，所述第三水泵(108)的进水口通过水管与多个所述第一吸头(102)连接，所述第三水泵(108)的出水口通过水管与所述第一机身(101)连接且连通至所述第一蚀刻液(112)，所述第四水泵(208)的进水口通过水管与多个所述第二吸头(202)连接，所述第四水泵(208)的出水口通过水管与所述第二机身(201)连接且连通至所述第二蚀刻液(212)。
7.根据权利要求6所述的一种蚀刻装置，其特征在于，还包括第一文丘里管(104)和第二文丘里管(204)，所述第一文丘里管(104)的一端通过水管与所述第三水泵(108)连接，所述第一文丘里管(104)的另一端通过水管与所述第一机身(101)连接且连通至第一蚀刻液(112)，所述第一文丘里管(104)的中部通过水管与多个所述第一吸头(102)连接，所述第二文丘里管(204)的一端通过水管与所述第四水泵(208)连接，所述第二文丘里管(204)的另一端通过水管与所述第二机身(201)连接且连通至第二蚀刻液(212)，所述第二文丘里管(204)的中部通过水管与多个所述第二吸头(202)连接。
8.根据权利要求7所述的一种蚀刻装置，其特征在于，还包括第一自动调节阀(110)和第二自动调节阀(210)，所述第一水泵(103)与多个所述第一二流体喷嘴(105)之间的水管上、所述第三水泵(108)与所述第一文丘里管(104)之间的水管上及所述气泵(106)与多个所述第一二流体喷嘴(105)之间的气管上均设置有所述第一自动调节阀(110)，所述第二水泵(203)与多个所述第二二流体喷嘴(205)之间的水管上、所述第四水泵(208)与所述第二文丘里管(204)之间的水管上及所述气泵(106)与多个所述第二二流体喷嘴(205)之间的气管上均设置有所述第二自动调节阀(210)。
9.根据权利要求8所述的一种蚀刻装置，其特征在于，还包括第一压力计(111)和第二压力计(211)，所述第一水泵(103)与多个所述第一二流体喷嘴(105)之间的水管上、所述第三水泵(108)与所述第一文丘里管(104)之间的水管上及所述气泵(106)与多个所述第一二流体喷嘴(105)之间的气管上均设置有所述第一压力计(111)，所述第二水泵(203)与多个所述第二二流体喷嘴(205)之间的水管上、所述第四水泵(208)与所述第二文丘里管(204)之间的水管上及所述气泵(106)与多个所述第二二流体喷嘴(205)之间的气管上均设置有所述第二压力计(211)。
10.根据权利要求5所述的一种蚀刻装置，其特征在于，还包括输送机构(4)，所述输送机构(4)用于输送蚀刻对象(3)，多个所述第一二流体喷嘴(105)分别设置于输送机...
【技术特征摘要】
1.一种蚀刻方法，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于，所述第一蚀刻液(112)和所述第二蚀刻液(212)均为hcl与naclo3的混合溶液，所述第一蚀刻液(112)的hcl浓度大于所述第二蚀刻液(212)的hcl浓度。
3.根据权利要求2所述的蚀刻方法，其特征在于，所述第一蚀刻液(112)的hcl浓度为1.5mol/l至2.5mol/l，所述第二蚀刻液(212)的hcl浓度为0.3mol/l至0.5mol/l。
4.根据权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于，所述第一蚀刻工序的二流体喷嘴的压缩空气的压力为2.0bar，所述第二蚀刻工序的二流体喷嘴的压缩空气的压力为3.0bar。
5.一种蚀刻装置，其特征在于，包括第一机身(101)、第二机身(201)、第一水泵(103)、第二水泵(203)、气泵(106)、多个第一二流体喷嘴(105)和多个第二二流体喷嘴(205)，所述第一机身(101)内设置有第一蚀刻液(112)，所述第二机身(201)内设置有第二蚀刻液(212)，所述第一水泵(103)的出水口通过水管与多个所述第一二流体喷嘴(105)连接，所述第二水泵(203)的出水口通过水管与多个所述第二二流体喷嘴(205)连接，所述第一水泵(103)的进水口通过管路与所述第一机身(101)连接且连通至所述第一蚀刻液(112)，所述第二水泵(203)的进水口通过管路与所述第二机身(201)连接且连通至所述第二蚀刻液(212)，多个所述第一二流体喷嘴(105)和多个所述第二二流体喷嘴(205)均通过气管与多个所述气泵(106)连接，多个所述第一二流体喷嘴(105)均安装于所述第一机身(101)内，多个所述第二二流体喷嘴(205)均安装于所述第二机身(201)内。
6.根据权利要求5所述的一种蚀刻装置，其特征在于，还包括第三水泵(108)、第一吸头(102)、第四水泵(208)和第二吸头(202)，所述第三水泵(108)的进水口通过水管与多个所述第一吸头(102)连接，所述第三水泵(108)的出水口通过水管与所述第一机身(101)连接且连通至所述第一蚀刻液(112)，所述第四水泵(208)的进水口通过水管与多个所述第二吸头(202)连接，所述第四水泵(208)的出水口通过水管与所述第二机身(201)连接且连通至所述第二蚀刻液(212)。
7.根据权利要求6所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾祥秒，
申请(专利权)人：深圳天华机器设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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