【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种化学增幅型正型光刻胶组合物，特别涉及一种具有高感度或优异深宽比的化学增幅型正型光刻胶组合物。
技术介绍
1、依中国台湾专利文献twi659997、twi610921b已知化学增幅型正型光刻胶树脂组合物形成厚膜光刻胶图型时，随着厚度的增加，其感度和解析度(深宽比)会随厚度增加而变差。因此，为了符合现今封装产业以更高精度和更小线宽来形成电镀凸块与配线，高感度和更优良的解析(深宽比)也为现今封装产业所要求。
2、有鉴于此，目前亟需发展出一种新颖的化学增幅型正型光刻胶组合物，以解决前述问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种化学增幅型正型光刻胶组合物，包括：一碱溶性树脂，包括一丙烯酸树脂及一酚醛树脂，其中酚醛树脂包括衍伸自间甲酚(m-cresol)的单体及衍伸自三甲基苯酚(trimethylphenol)的单体，且丙烯酸树脂与酚醛树脂的重量比介于1:4至4:1之间；以及一光酸产生剂。更具体而言，在本专利技术中，酚醛树脂是由间甲酚及三甲基苯酚与醛类缩聚而成。
2、在本专利技术的光刻胶组合物中，通过使用由间甲酚及三甲基苯酚所组成的酚醛树脂，相较于一般化学增幅型正型光刻胶组合物，本专利技术的化学增幅型正型光刻胶组合物于封装工艺使用下还具有高感度和更优异深宽比。此外，本专利技术的化学增幅型正型光刻胶组合物还可涂布于任何基材上形成厚膜光刻胶，特别是可在金属基材上形成厚光刻胶膜。据此，对于未来化学增幅型正型光刻胶产品，例如，在封装领域用的光刻胶、由电镀工艺
3、在本专利技术中，丙烯酸树脂与酚醛树脂的重量比可介于1:4至4:1之间。当本专利技术的正型光刻胶组合物的丙烯酸树脂含量过低时，则光刻胶无法顺利成型；当本专利技术的正型光刻胶组合物的酚醛树脂含量过低时，则感度较低及/或深宽比较低。
4、在本专利技术的一实施例中，酚醛树脂是由间甲酚及三甲基苯酚所聚合而成，其中，间-甲酚与三甲基苯酚的摩尔比可介于95:5至90:10之间。此外，在本专利技术中，酚醛树脂的重量平均分子量可介于20000至50000之间，例如，可介于26000至40000之间。
5、在本专利技术的一实施例中，丙烯酸树脂的含量可为10至60重量份，酚醛树脂的含量可为10至60重量份，而光酸产生剂的含量可为0.05至2重量份。
6、在本专利技术的一实施例中，化学增幅型正型光刻胶组合物可还包括一溶剂，其中溶剂的含量可为10至50重量份。
7、在本专利技术的一实施例中，丙烯酸树脂包括及等单体。在本专利技术的一实施例中，丙烯酸树脂除了包括前述单体外，可还包括及等单体。
8、在本专利技术的一实施例中，光酸产生剂可为
9、或其组合。
10、在本专利技术中，溶剂的种类及含量并无特殊限制，只要能使溶质能有良好溶解性即可。在本专利技术的一实施例中，溶剂的具体例子可为丙二醇单甲醚醋酸酯(propylene glycolmonomethyl ether acetate，pgmea)、丙二醇甲醚醋酸酯(dipropylene glycol methylether，dpm)、甲基正丁基酮(methyl amyl ketone，mak)或其组合，但本专利技术并不仅限于此。
11、在本专利技术的一实施例中，化学增幅型正型光刻胶组合物可选择性的还包括一添加剂，例如，一碱基猝灭剂、一金属减活剂、一界面活性剂或其他适合的添加剂。
12、此外，本专利技术还提供前述化学增幅型正型光刻胶组合物的用途，用于形成厚膜光刻胶，且厚膜光刻胶的膜厚可介于4μm至200μm之间。其中，本专利技术所提供的化学增幅型正型光刻胶组合物可涂布于任何基材上形成光刻胶；特别是，当本专利技术所提供的光刻胶组合物涂布于金属基材上时，可有利于应用在由电镀工艺所得的配线与凸块工艺上。
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1.一种化学增幅型正型光刻胶组合物，包括：
2.根据权利要求1所述的正型光刻胶组合物，其中间-甲酚与三甲基苯酚的摩尔比介于95:5至90:10之间。
3.根据权利要求1所述的正型光刻胶组合物，其中该酚醛树脂的重量平均分子量介于20000至50000之间。
4.根据权利要求3所述的正型光刻胶组合物，其中该酚醛树脂的重量平均分子量介于26000至40000之间。
5.根据权利要求1所述的正型光刻胶组合物，其中该丙烯酸树脂的含量为10至60重量份，该酚醛树脂的含量为10至60重量份，而该光酸产生剂的含量为0.05至2重量份。
6.根据权利要求5所述的正型光刻胶组合物，还包括一溶剂，其中该溶剂的含量为10至50重量份。
7.根据权利要求1所述的正型光刻胶组合物，其中该光酸产生剂为
8.根据权利要求1所述的正型光刻胶组合物，其中该丙烯酸树脂包括及
9.根据权利要求8所述的正型光刻胶组合物，其中该丙烯酸树脂还包括及
10.一种根据权利要求1至9任一项所述的正型光刻胶组合物的用途，用于形
...【技术特征摘要】
1.一种化学增幅型正型光刻胶组合物，包括：
2.根据权利要求1所述的正型光刻胶组合物，其中间-甲酚与三甲基苯酚的摩尔比介于95:5至90:10之间。
3.根据权利要求1所述的正型光刻胶组合物，其中该酚醛树脂的重量平均分子量介于20000至50000之间。
4.根据权利要求3所述的正型光刻胶组合物，其中该酚醛树脂的重量平均分子量介于26000至40000之间。
5.根据权利要求1所述的正型光刻胶组合物，其中该丙烯酸树脂的含量为10至60重量份，该酚醛树脂的含量为10至60重量份...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁思伟，黄新义，周乃天，陈怡静，
申请(专利权)人：台湾永光化学工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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