【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶生产,尤其是涉及一种测量单晶界面深度的测量尺。
技术介绍
1、在单晶生长过程中,需要时刻关注单晶炉中的温度梯度,在先单晶生长结束后,其断苞时的界面深度可以直接体现炉内温度梯度的情况,对在后单晶的生产起到重要的参考意义。
2、传统的测量单晶断苞时界面深度的方法是:参考附图1,用横、竖两把直尺配合,将竖尺伸入断苞后的单晶底部的上凹弧面中,利用横尺抵住单晶的底面边缘,找到上凹弧面的最深处后,用手捏住横尺和竖尺,使其相对位置固定,将二者从单晶下方移出,读取与横尺交界处的竖尺刻度。
3、但这样的测量方法受限于测量者的经验,横尺和竖尺的配合度影响测量结果的精准性,例如测量时竖尺歪斜、转移时横尺和竖尺松转等都会导致读数不准,并且在测量的过程中,需要在单晶正下方用手扶着竖尺,有一定的安全风险,例如单晶结构裂损,温度仍较高的碎屑下落伤人等。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种测量单晶界面深度的测量尺,以解决上述背景中的问题。
2、本技术的技术方案包括:一种测量单晶界面深度的测量尺,其包括:
3、辅助尺,所述辅助尺内设有垂直于自身顶面的测量滑槽;
4、刻度尺,所述刻度尺滑动设于所述测量滑槽中,顶端伸出所述测量滑槽外;
5、夹紧机构,所述夹紧机构活动设置于所述辅助尺中,用于夹紧或放松所述刻度尺。
6、优选的,所述夹紧机构包括若干组夹臂和驱动件,所述夹臂位于所述刻度尺的侧向,所述驱动件连接所述夹臂,用
7、优选的,所述辅助尺中设有与所述测量滑槽连通的夹臂滑槽,所述夹臂滑动设置于所述夹臂滑槽中,所述夹臂的外表设有与所述夹臂滑槽同向延伸的传动齿条,所述传动齿条通过与其啮合的传动齿轮连接所述驱动件。
8、优选的,所述辅助尺上设有限位通孔,所述限位通孔与所述夹臂滑槽连通,所述夹臂上设有与所述限位通孔适配的伸缩卡接件,所述伸缩卡接件抵接所述夹臂滑槽的内壁或卡接所述限位通孔。
9、优选的,所述夹臂上设有凹陷于其表面的限位滑槽,所述伸缩卡接件包括压缩弹簧和限位卡块,所述限位卡块滑动设于所述限位滑槽中,通过压缩弹簧固连所述限位滑槽的内壁。
10、优选的,所述辅助尺的外壁设有复位键,所述复位键包括连接杆和跳针,所述跳针的顶端通过连接杆连接所述辅助尺的外壁,底端伸入所述限位通孔中。
11、优选的,所述夹臂包括通过加劲弹簧连接的两个臂段,所述伸缩卡接件位于靠近所述驱动件的所述臂段上。
12、优选的,所述辅助尺中设有顶端开口的驱动滑槽,所述驱动件为滑动设置于所述驱动滑槽中的杆件,所述驱动件的外表设有与所述驱动滑槽同向延伸的驱动齿条,所述驱动齿条与所述传动齿轮啮合。
13、优选的,所述驱动滑槽内设有弹性复位件,所述驱动件的底端与所述弹性复位件固定连接。
14、优选的,所述测量滑槽中设有弹性支撑件,所述刻度尺的底端通过所述弹性支撑件连接所述测量滑槽。
15、本技术具有的有益效果在于:本测量尺中的刻度尺始终与辅助尺的顶面垂直,可避免由于测量经验不足或操作失误导致刻度尺歪斜、松转,进而引起的测量误差,提高测量结果的准确度;并且借助辅助尺和夹紧机构的配合,使得测量时人手不必位于单晶正下方持拿刻度尺,避免单晶碎屑下落伤人的安全事故;通过对夹紧机构的多样性结构设计,提高了本测量尺的使用便捷度。
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1.一种测量单晶界面深度的测量尺,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的测量单晶界面深度的测量尺,其特征在于,所述夹紧机构包括若干组夹臂和驱动件,所述夹臂位于所述刻度尺的侧向,所述驱动件连接所述夹臂,用于驱动所述夹臂靠近或远离所述刻度尺。
3.根据权利要求2所述的测量单晶界面深度的测量尺,其特征在于,所述辅助尺中设有与所述测量滑槽连通的夹臂滑槽,所述夹臂滑动设置于所述夹臂滑槽中,所述夹臂的外表设有与所述夹臂滑槽同向延伸的传动齿条,所述传动齿条通过与其啮合的传动齿轮连接所述驱动件。
4.根据权利要求3所述的测量单晶界面深度的测量尺,其特征在于,所述辅助尺上设有限位通孔,所述限位通孔与所述夹臂滑槽连通,所述夹臂上设有与所述限位通孔适配的伸缩卡接件,所述伸缩卡接件抵接所述夹臂滑槽的内壁或卡接所述限位通孔。
5.根据权利要求4所述的测量单晶界面深度的测量尺,其特征在于,所述夹臂上设有凹陷于其表面的限位滑槽,所述伸缩卡接件包括压缩弹簧和限位卡块,所述限位卡块滑动设于所述限位滑槽中,通过压缩弹簧固连所述限位滑槽的内壁。
6.根
7.根据权利要求4-6任一所述的测量单晶界面深度的测量尺,其特征在于,所述夹臂包括通过加劲弹簧连接的两个臂段,所述伸缩卡接件位于靠近所述驱动件的所述臂段上。
8.根据权利要求7所述的测量单晶界面深度的测量尺,其特征在于,所述辅助尺中设有顶端开口的驱动滑槽,所述驱动件为滑动设置于所述驱动滑槽中的杆件,所述驱动件的外表设有与所述驱动滑槽同向延伸的驱动齿条,所述驱动齿条与所述传动齿轮啮合。
9.根据权利要求8所述的测量单晶界面深度的测量尺,其特征在于,所述驱动滑槽内设有弹性复位件,所述驱动件的底端与所述弹性复位件固定连接。
10.根据权利要求1-6、8-9任一所述的测量单晶界面深度的测量尺,其特征在于,所述测量滑槽中设有弹性支撑件,所述刻度尺的底端通过所述弹性支撑件连接所述测量滑槽。
...【技术特征摘要】
1.一种测量单晶界面深度的测量尺,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的测量单晶界面深度的测量尺,其特征在于,所述夹紧机构包括若干组夹臂和驱动件,所述夹臂位于所述刻度尺的侧向,所述驱动件连接所述夹臂,用于驱动所述夹臂靠近或远离所述刻度尺。
3.根据权利要求2所述的测量单晶界面深度的测量尺,其特征在于,所述辅助尺中设有与所述测量滑槽连通的夹臂滑槽,所述夹臂滑动设置于所述夹臂滑槽中,所述夹臂的外表设有与所述夹臂滑槽同向延伸的传动齿条,所述传动齿条通过与其啮合的传动齿轮连接所述驱动件。
4.根据权利要求3所述的测量单晶界面深度的测量尺,其特征在于,所述辅助尺上设有限位通孔,所述限位通孔与所述夹臂滑槽连通,所述夹臂上设有与所述限位通孔适配的伸缩卡接件,所述伸缩卡接件抵接所述夹臂滑槽的内壁或卡接所述限位通孔。
5.根据权利要求4所述的测量单晶界面深度的测量尺,其特征在于,所述夹臂上设有凹陷于其表面的限位滑槽,所述伸缩卡接件包括压缩弹簧和限位卡块,所述限位卡块滑动设于所述限位滑槽中,通过压缩弹簧固连所...
【专利技术属性】
技术研发人员:周建辉,郭谦,张文霞,
申请(专利权)人:内蒙古中环晶体材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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