【技术实现步骤摘要】
本申请属于晶片加工，尤其涉及一种晶圆传送装置。
技术介绍
1、晶圆的传送是晶片加工过程中的重要流程，目前晶圆大多是通过传送装置的传片腔室进行传送，晶圆在传送腔室中具有预设状态，传送过程中需保证晶圆处于预设状态，以使得晶圆能够以所需要的状态进入后续加工工序中。
2、但在实际操作过程中发现，晶圆进入传送腔室后，其实际状态无法保证，相对于预设状态可能会出现偏移或者旋转，此时若直接进入后续加工工序，会影响晶圆的成品质量。
3、因此如何能准确了解晶圆在传送腔室内的实际状态是否与预设状态一致，已成为本领域亟待解决的问题。
技术实现思路
1、本申请提供一种晶圆传送装置，能有效对晶圆的实际状态进行检测。
2、本申请提供了一种晶圆传送装置，其中，所述晶圆传送装置包括：
3、壳体，具有传送腔，所述传送腔用于容纳晶圆；
4、旋转座，能转动地安装于所述传送腔中，所述旋转座用于承载所述晶圆并带动所述晶圆转动；
5、多组偏移检测组件，沿所述旋转座的周向间隔设置，各组所述偏移检测组件与所述旋转座之间的距离相等，各组所述偏移检测组件用于配合检测所述晶圆与所述旋转座的同轴度；
6、旋转检测组件，与所述旋转座间隔设置并位于任意两组相邻设置的所述偏移检测组件之间，所述旋转检测组件用于检测所述晶圆相对于所述旋转检测组件的周向相对位置。
7、如上所述的晶圆传送装置，其中，所述壳体包括：
8、底壳，沿所述晶圆的轴向的一
9、壳盖，能拆装地密封安装于所述开口，所述底壳与所述壳盖围合形成所述传送腔，所述旋转座安装于所述底壳的底板上。
10、如上所述的晶圆传送装置，其中，所述偏移检测组件包括：
11、第一发射器，安装于所述壳盖，所述第一发射器用于发出第一光信号；
12、第一接收器，安装于所述底壳的底板，所述第一接收器与所述第一发射器沿所述晶圆的轴向相对设置，所述第一接收器用于接收所述第一光信号；
13、以便在各组所述偏移检测组件的所述第一接收器均能接收到对应的所述第一发射器发出的所述第一光信号时，确认所述晶圆与所述旋转座同轴；
14、在其中任意一组所述偏移检测组件的所述第一接收器均未接收到对应的所述第一发射器发出的所述第一光信号时，确认所述晶圆与所述旋转座不同轴。
15、如上所述的晶圆传送装置，其中，所述旋转检测组件包括：
16、第二发射器，安装于所述壳盖，所述第二发射器用于发出第二光信号；
17、第二接收器，安装于所述底壳的底板，所述第二接收器与所述第二发射器沿所述晶圆的轴向相对设置，所述第二接收器用于接收所述第二光信号；
18、所述晶圆的周缘设有检测区域，所述检测区域能供所述第二光信号穿过；
19、以便在所述第二接收器均能接收到所述第二光信号时，确认所述晶圆未发生旋转；
20、在所述第二接收器均未接收到所述第二光信号时，确认所述晶圆发生旋转。
21、如上所述的晶圆传送装置，其中，所述偏移检测组件设有至少三组，三组所述偏移检测组件沿所述晶圆的周向均匀间隔设置；所述旋转检测组件设于任意两组所述偏移检测组件之间。
22、如上所述的晶圆传送装置，其中，所述壳盖上及所述底壳的底板上开设有安装孔，所述安装孔沿所述晶圆的轴向贯通；
23、所述第一发射器、所述第二发射器及所述第二接收器均设于所述壳体的外部，且所述第一发射器及所述第二发射器分别通过一组安装构件安装于一个所述壳盖的所述安装孔处，所述第二接收器通过一组所述安装构件安装于所述底壳的底板的所述安装孔处，所述第一光信号能通过所述壳盖上对应的所述安装孔传递至所述传送腔中，所述第二光信号能贯穿所述壳盖上的所述安装孔以及相对应的所述底壳的底板上的所述安装孔。
24、如上所述的晶圆传送装置，其中，所述安装构件包括：
25、密封座，连接于所述壳盖，所述密封座上开设有沿所述晶圆的轴向贯通的透光孔，所述透光孔沿所述晶圆的轴向与所述安装孔相对应；
26、透明板，密封夹设于所述密封座与所述壳盖之间；
27、支撑座，连接于所述密封座背离所述壳盖的一侧，所述支撑座用于承载所述第一发射器或所述第二发射器。
28、如上所述的晶圆传送装置，其中，所述安装构件还包括校准元件，所述校准元件安装于所述密封座背离所述壳盖的一侧，且所述校准元件与所述第一发射器、或者所述校准元件与所述第二发射器位于所述支撑座的同一侧；
29、所述校准元件上设有校光孔，沿所述晶圆的轴向，所述校光孔的投影落入所述透光孔的投影中，所述校光孔用于校准所述第一光信号或所述第二光信号的传播方向。
30、如上所述的晶圆传送装置，其中，所述支撑座上设有连接孔，所述连接孔的贯通方向垂直于所述晶圆的轴向，所述第一发射器及所述第二发射器分别通过连接件安装于对应的所述连接孔；
31、所述连接孔为沿所述晶圆的轴向延伸的条形孔。
32、如上所述的晶圆传送装置，其中，所述支撑座上设有至少一个调节顶丝，所述调节顶丝与所述支撑座旋接，所述调节顶丝能沿所述连接孔的贯通方向往复移动；
33、所述调节顶丝的一端与所述第一发射器或所述第二发射器相抵接，通过所述调节顶丝，能调整所述第一发射器与所述支撑座之间的角度或所述第二发射器与所述支撑座之间的角度，从而调整所述第一光信号或所述第二光信号的传播方向。
34、本申请的晶圆传送装置，通过壳体的传送腔中设置旋转座，能用于承载晶圆并带动晶圆转动，在晶圆转动的过程中可以实现晶圆实时状态的检测，具体地，在设计时将晶圆的预设状态设定为晶圆与旋转座同轴，通过设置偏移检测组件能够有效检测晶圆与旋转座之间的同轴度，若检测到晶圆与旋转座不同轴，则判定晶圆的实时状态相对于预设状态发生偏移，在进入后续工序时需要对晶圆的位置进行调整；通过设置旋转检测组件，能够检测晶圆的实时状态相对于预设状态是否发生旋转，若晶圆发生旋转，可以配合旋转座检测晶圆的旋转角度并将晶圆转回至预设状态，以保证晶圆能够以所需要的预设状态进入至后续加工工序，保证晶圆的成品质量。
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1.一种晶圆传送装置，其特征在于，所述晶圆传送装置包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述壳体(1)包括：
3.根据权利要求2所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述偏移检测组件(3)包括：
4.根据权利要求3所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述旋转检测组件(4)包括：
5.根据权利要求1至4任一项所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述偏移检测组件(3)设有至少三组，三组所述偏移检测组件(3)沿所述晶圆的周向均匀间隔设置；所述旋转检测组件(4)设于任意两组所述偏移检测组件(3)之间。
6.根据权利要求4所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述壳盖(12)上及所述底壳(11)的底板上开设有安装孔(121)，所述安装孔(121)沿所述晶圆的轴向贯通；
7.根据权利要求6所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述安装构件(5)包括：
8.根据权利要求7所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述安装构件(5)还包括校准元件(55)，所述校准元件(55)安装于所述密封座(51)背离所述壳盖(12)的一侧，且
9.根据权利要求7或8所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述支撑座(54)上设有连接孔(541)，所述连接孔(541)的贯通方向垂直于所述晶圆的轴向，所述第一发射器(31)及所述第二发射器(41)分别通过连接件安装于对应的所述连接孔(541)；
10.根据权利要求9所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述支撑座(54)上设有至少一个调节顶丝(542)，所述调节顶丝(542)与所述支撑座(54)旋接，所述调节顶丝(542)能沿所述连接孔(541)的贯通方向往复移动；
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆传送装置，其特征在于，所述晶圆传送装置包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述壳体(1)包括：
3.根据权利要求2所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述偏移检测组件(3)包括：
4.根据权利要求3所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述旋转检测组件(4)包括：
5.根据权利要求1至4任一项所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述偏移检测组件(3)设有至少三组，三组所述偏移检测组件(3)沿所述晶圆的周向均匀间隔设置；所述旋转检测组件(4)设于任意两组所述偏移检测组件(3)之间。
6.根据权利要求4所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述壳盖(12)上及所述底壳(11)的底板上开设有安装孔(121)，所述安装孔(121)沿所述晶圆的轴向贯通；
7.根据权利要求6所述的晶圆传送装置，其特征在于，所述安装构件(...
【专利技术属性】
技术研发人员：张禧晨，米涛，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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