【技术实现步骤摘要】
本申请涉及微光机电，尤其是涉及一种微机电振镜。
技术介绍
1、微机电系统(micro electro mechanical system，mems)振镜是一种采用mems技术制造的，在驱动器作用下反射镜按照一定规律偏转的器件，本申请中，称为微机电振镜。微机电振镜通过控制微小镜面的扭转往复运动，将入射至镜面上的激光反射至不同角度，因此可实现垂直于镜面扭转轴方向的扫描。基于上述特性，微机电振镜在激光打印、光通信、激光雷达、虚拟现实、增强现实等领域具有广泛的应用价值。
2、目前，已知的微机电振镜通常有高频谐振扫描与低频准静态扫描两种驱动方式，对于低频准静态驱动的微机电振镜，驱动力必须克服扭转梁的刚度使得镜面旋转。为了获得较大的扭转角，微机电振镜通常需要使用较大的驱动电流或较强的驱动磁场，从而导致振镜功耗较高，发热明显而产生镜面变形。此外，降低扭转梁刚度可满足大扭转角的需求，但是低刚度的扭转梁可能降低谐振频率，从而使得振镜易受振动或冲击损坏，导致可靠性较差。
技术实现思路
1、为解决现有存在的技术问题，本申请提供一种能够有效避免镜面变形、提升可靠性的微机电振镜。
2、本申请提供一种微机电振镜，包括：
3、反射镜；
4、振镜芯片，包括与所述反射镜间隔地设置的扭转支撑结构及连接于所述扭转支撑结构与所述反射镜之间的加强连接件，所述加强连接件于所述扭转支撑结构和所述反射镜之间形成有隔热通道，所述扭转支撑结构上设有驱动线圈；
5、固定框架，
6、其中，所述反射镜和所述振镜芯片的质心在同一轴线上，所述驱动线圈通电后在磁场中受到电磁力，驱动所述扭转支撑结构带动所述反射镜绕所述转轴梁结构转动。
7、可选的，所述加强连接件于与所述反射镜连接的一端设有粘结区域，所述粘结区域包括与所述反射镜粘结连接的至少一个粘结点。
8、可选的，所述粘结点的数量为多个，多个所述粘结点相对于所述反射镜的中心呈对称地设置，所述粘结点与所述反射镜通过粘结胶键合固定。
9、可选的，所述粘结区域与所述反射镜的中心区域对应。
10、可选的，所述扭转支撑结构的中央设有镂空区域；所述驱动线圈环绕地设于所述镂空区域的外围。
11、可选的，所述驱动线圈由漆包线堆叠形成，粘接设置于所述扭转支撑结构的外边缘区域；或，所述驱动线圈通过电镀或溅射的方式固定于所述扭转支撑结构的外边缘区域。
12、可选的，所述反射镜包括镜面基底和设于所述镜面基底上的反射膜，所述加强连接件与所述镜面基底远离所述反射膜的一侧连接。
13、可选的，所述振镜芯片可动结构的外围尺寸小于或等于所述反射镜的外围尺寸。
14、可选的，所述加强连接件呈网格状，所述扭转支撑结构的厚度小于所述加强连接件的厚度。
15、可选的，所述微机电振镜还包括磁性组件和限位组件，所述振镜芯片通过所述固定框架固定于所述限位组件上，所述磁性组件包括固定于所述限位组件上且用于为所述驱动线圈提供磁场的多组磁铁。
16、上述实施例所提供的微机电振镜，通过与反射镜间隔地设置的扭转支撑结构以及连接于扭转支撑结构和反射镜之间的加强连接件的设置，加强连接件于扭转支撑结构和反射镜之间形成有隔热通道，如此，驱动线圈在工作中产生的热量是通过扭转支撑结构和加强连接件传递至反射镜，隔热通道可以降低传导到反射镜上的热量，从而可以有效抑制反射镜的热形变；此外，微机电振镜的芯片部分是由反射镜与振镜芯片共同组成，振镜芯片中扭转支撑结构和加强连接件的设置有利于确保芯片部分的整体强度满足需求的情况下降低质量，从而降低转动惯量，有助于提升芯片部分的机械可靠性。
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1.一种微机电振镜，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的微机电振镜，其特征在于，所述加强连接件于与所述反射镜连接的一端设有粘结区域，所述粘结区域包括与所述反射镜粘结连接的至少一个粘结点。
3.根据权利要求2所述的微机电振镜，其特征在于，所述粘结点的数量为多个，多个所述粘结点相对于所述反射镜的中心呈对称地设置，所述粘结点与所述反射镜通过粘结胶键合固定。
4.根据权利要求3所述的微机电振镜，其特征在于，所述粘结区域与所述反射镜的中心区域对应。
5.根据权利要求1所述的微机电振镜，其特征在于，所述扭转支撑结构的中央设有镂空区域；
6.根据权利要求5所述的微机电振镜，其特征在于，所述驱动线圈由漆包线绕制形成，粘接设置于所述扭转支撑结构的外边缘区域；
7.根据权利要求1所述的微机电振镜，其特征在于，所述反射镜包括镜面基底和设于所述镜面基底上的反射膜，所述加强连接件与所述镜面基底远离所述反射膜的一侧连接。
8.根据权利要求1所述的微机电振镜，其特征在于，所述振镜芯片可动结构的外围尺寸小于或等于所述反射
9.根据权利要求1所述的微机电振镜，其特征在于，所述加强连接件呈网格状，所述扭转支撑结构的厚度小于所述加强连接件的厚度。
10.根据权利要求1所述的微机电振镜，其特征在于，所述微机电振镜还包括磁性组件和限位组件，所述振镜芯片通过所述固定框架固定于所述限位组件上，所述磁性组件包括固定于所述限位组件上且用于为所述驱动线圈提供磁场的多组磁铁。
...【技术特征摘要】
1.一种微机电振镜，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的微机电振镜，其特征在于，所述加强连接件于与所述反射镜连接的一端设有粘结区域，所述粘结区域包括与所述反射镜粘结连接的至少一个粘结点。
3.根据权利要求2所述的微机电振镜，其特征在于，所述粘结点的数量为多个，多个所述粘结点相对于所述反射镜的中心呈对称地设置，所述粘结点与所述反射镜通过粘结胶键合固定。
4.根据权利要求3所述的微机电振镜，其特征在于，所述粘结区域与所述反射镜的中心区域对应。
5.根据权利要求1所述的微机电振镜，其特征在于，所述扭转支撑结构的中央设有镂空区域；
6.根据权利要求5所述的微机电振镜，其特征在于，所述驱动线圈由漆包线绕制形成，粘接设置于...
【专利技术属性】
技术研发人员：熊笔锋，倪伟鉴，
申请(专利权)人：觉芯电子无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
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