【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石墨坩埚，具体为一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚。
技术介绍
1、sic单晶通常通过物理气相沉积(pvt)或者溶液法生长，而这些生长过程中所使用的sic粉料必须具备极高的纯度，在pvt生长过程中，sic粉料通常被加热至高温，产生源气体，而这些源气体中的杂质会直接影响到sic单晶的质量。因此，sic粉料的高纯度能够确保源气体中的杂质含量极低，有利于单晶的生长，而石墨薄坩埚作为高温容器，能够承载和容纳碳化硅粉料及其他原料，确保反应过程中不受外界杂质的污染，此外，石墨坩埚具有良好的导热性能，能够快速均匀地传导热量，有利于碳化硅粉料的均匀加热和石墨化反应的进行。结构上，石墨坩埚通常由高纯度的石墨材料制成，包括底部、侧壁和口部，底部设计为平整的圆形或方形，侧壁为圆柱形，口部设计为适当大小的开口，便于装料和取料；
2、如申请公告号为cn113120909a所公开的一种高纯半绝缘碳化硅粉料的制备方法，其碳化硅晶体生长炉，包括双石英管，双石英管的外部围有感应加热线圈，双石英管内安装有热场，热场由内到外依次包括卡槽式石墨内置薄坩埚组、石墨坩埚组、石墨软毡组、外置坩埚组和石墨硬毡组，组装碳化硅晶体生长炉时，先将左卡口式内置薄坩埚和右卡口式内置薄坩埚卡紧，随后放入石墨坩埚本体内，该技术方案中采用左右两个半圆形柱状坩埚并通过卡口组成一个完整的柱状坩埚，以便装料和取料，但是在将卡槽式石墨内置薄坩埚组从石墨坩埚本体取出时，容易因上拉力不均匀而导致左右两个锅体提前分开，进而致使碳化硅粉料漏出，此时操作人员需要更加小心谨慎地进行操作
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚，通过石墨坩埚盖底端的弧形对插结构限位住左、右卡口式内置薄坩埚，且石墨坩埚盖的外部和左、右卡口式内置薄坩埚的内壁之间再增设弹性插片进行对接，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚，包括右卡口式内置薄坩埚以及一侧外壁上通过双柱校准对插结构、卡口对接结构安装的左卡口式内置薄坩埚，右卡口式内置薄坩埚、左卡口式内置薄坩埚组成柱状石墨薄坩埚，所述右卡口式内置薄坩埚、左卡口式内置薄坩埚内部的一端分别固定有左石墨半环、右石墨半环，左石墨半环、右石墨半环用于组成环状件，所述柱状石墨薄坩埚的顶端设置有石墨坩埚盖，所述石墨坩埚盖的底端设置有和左石墨半环、右石墨半环进行连接的弧形对插结构，所述石墨坩埚盖底端的中心位置处固定有下支撑盘，且所述下支撑盘内部的两侧皆设置有预留腔，所述预留腔的内部安装有弹性弹出结构,弹性弹出结构的活动端安装有插片,插片的一端贯穿至下支撑盘的外部并与左石墨半环、右石墨半环的内壁相互插接。
3、优选的，所述双柱校准对插结构包括设置在右卡口式内置薄坩埚一侧外壁上的两个内凹孔，以及固定在左卡口式内置薄坩埚一侧外壁上的两个凸柱，所述凸柱、内凹孔同心插接。
4、优选的，所述卡口对接结构包括设置在右卡口式内置薄坩埚一侧外壁上的镂空腔，以及固定在左卡口式内置薄坩埚一侧外壁上的卡板，所述卡板、镂空腔相互插接。
5、优选的，所述弧形对插结构包括固定在石墨坩埚盖底端两侧的弧形防松板，以及设置在左石墨半环、右石墨半环内部的弧形切除槽。
6、优选的，所述左石墨半环、右石墨半环一侧的内壁上皆设置有和插片进行插接的插槽。
7、优选的，所述弹性弹出结构包括滑动安装在预留腔内部的滑块，以及固定在预留腔一侧内壁上安装的螺旋弹簧,螺旋弹簧的一端与滑块的一端固定连接，所述滑块的另一端与插片的一端固定连接。
8、优选的，所述弹性弹出结构还包括固定在滑块顶端的连接舌,连接舌的顶端贯穿至石墨坩埚盖的外部并安装有矩形滑钮。
9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：该一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚通过设置有石墨坩埚盖和插片等相互配合的结构，通过石墨坩埚盖底端的弧形对插结构限位住左、右薄坩埚，可以确保在提拉的过程中左右坩埚不会分离，从而避免了碳化硅粉料的泄漏，而弹性弹出结构、插片的设计可以确保石墨坩埚盖与左右坩埚之间的紧密对接，使得整体提拉更加平稳和顺畅，操作人员可以更加轻松地完成装料和取料的操作，提高生产效率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚，其特征在于：包括右卡口式内置薄坩埚(1)以及一侧外壁上通过双柱校准对插结构、卡口对接结构安装的左卡口式内置薄坩埚(2)，右卡口式内置薄坩埚(1)、左卡口式内置薄坩埚(2)组成柱状石墨薄坩埚，所述右卡口式内置薄坩埚(1)、左卡口式内置薄坩埚(2)内部的一端分别固定有左石墨半环(4)、右石墨半环(5)，左石墨半环(4)、右石墨半环(5)用于组成环状件，所述柱状石墨薄坩埚的顶端设置有石墨坩埚盖(3)，所述石墨坩埚盖(3)的底端设置有和左石墨半环(4)、右石墨半环(5)进行连接的弧形对插结构，所述石墨坩埚盖(3)底端的中心位置处固定有下支撑盘(6)，且所述下支撑盘(6)内部的两侧皆设置有预留腔(601)，所述预留腔(601)的内部安装有弹性弹出结构(10),弹性弹出结构(10)的活动端安装有插片(7),插片(7)的一端贯穿至下支撑盘(6)的外部并与左石墨半环(4)、右石墨半环(5)的内壁相互插接。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚，其特征在于：所述双柱校准对插结构包括设置在右卡口式内置薄坩埚(1)一侧外
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚，其特征在于：所述卡口对接结构包括设置在右卡口式内置薄坩埚(1)一侧外壁上的镂空腔(101)，以及固定在左卡口式内置薄坩埚(2)一侧外壁上的卡板(201)，所述卡板(201)、镂空腔(101)相互插接。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚，其特征在于：所述弧形对插结构包括固定在石墨坩埚盖(3)底端两侧的弧形防松板(301)，以及设置在左石墨半环(4)、右石墨半环(5)内部的弧形切除槽(9)。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚，其特征在于：所述左石墨半环(4)、右石墨半环(5)一侧的内壁上皆设置有和插片(7)进行插接的插槽(8)。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚，其特征在于：所述弹性弹出结构(10)包括滑动安装在预留腔(601)内部的滑块(1001)，以及固定在预留腔(601)一侧内壁上安装的螺旋弹簧(1002),螺旋弹簧(1002)的一端与滑块(1001)的一端固定连接，所述滑块(1001)的另一端与插片(7)的一端固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚，其特征在于：所述弹性弹出结构(10)还包括固定在滑块(1001)顶端的连接舌(1003),连接舌(1003)的顶端贯穿至石墨坩埚盖(3)的外部并安装有矩形滑钮(1004)。
...【技术特征摘要】
1.一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚，其特征在于：包括右卡口式内置薄坩埚(1)以及一侧外壁上通过双柱校准对插结构、卡口对接结构安装的左卡口式内置薄坩埚(2)，右卡口式内置薄坩埚(1)、左卡口式内置薄坩埚(2)组成柱状石墨薄坩埚，所述右卡口式内置薄坩埚(1)、左卡口式内置薄坩埚(2)内部的一端分别固定有左石墨半环(4)、右石墨半环(5)，左石墨半环(4)、右石墨半环(5)用于组成环状件，所述柱状石墨薄坩埚的顶端设置有石墨坩埚盖(3)，所述石墨坩埚盖(3)的底端设置有和左石墨半环(4)、右石墨半环(5)进行连接的弧形对插结构，所述石墨坩埚盖(3)底端的中心位置处固定有下支撑盘(6)，且所述下支撑盘(6)内部的两侧皆设置有预留腔(601)，所述预留腔(601)的内部安装有弹性弹出结构(10),弹性弹出结构(10)的活动端安装有插片(7),插片(7)的一端贯穿至下支撑盘(6)的外部并与左石墨半环(4)、右石墨半环(5)的内壁相互插接。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚，其特征在于：所述双柱校准对插结构包括设置在右卡口式内置薄坩埚(1)一侧外壁上的两个内凹孔(102)，以及固定在左卡口式内置薄坩埚(2)一侧外壁上的两个凸柱(202)，所述凸柱(202)、内凹孔(102)同心插接。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅粉料制备用的卡槽式石墨薄坩埚，...
【专利技术属性】
技术研发人员：高鑫，刘天宇，施星亦，王灏冉，邹思影，朱丽萍，
申请(专利权)人：宁波工程学院，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。