【技术实现步骤摘要】
本申请涉及剥离，尤其涉及一种剥离治具及衬底剥离设备。
技术介绍
1、llo(laser lift-off，激光剥离技术)是利用激光能量分解gan/蓝宝石接口处的gan缓冲层，从而实现led外延片从蓝宝石衬底分离。在激光分离后，还需借用工具将衬底剥离。但相关技术中的剥离工具，在剥离过程中，容易导致micro-led结构损伤。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供了一种剥离治具及衬底剥离设备。
2、本申请采用的技术方案如下：
3、第一方面，本申请实施例提供了一种剥离治具，包括：
4、吸附外框，所述吸附外框包括边框，所述边框的内侧围合形成凹槽；
5、吸附板，所述吸附板设置于所述凹槽，且所述吸附板设有通气孔，所述通气孔设有多个，多个所述通气孔在所述吸附板上均匀分布，所述通气孔用于吸附待剥离件的表面，所述边框与所述待剥离件的边侧贴合。
6、在第一方面的其中一个实施例中，所述吸附外框还包括基板，所述边框设置于所述基板的边侧，所述边框与所述基板围合形成所述凹槽。
7、在第一方面的其中一个实施例中，所述吸附板与所述基板之间设有通气间隙。
8、在第一方面的其中一个实施例中，所述吸附外框背离所述吸附板的一侧设有抽气口，所述抽气口与所述通气间隙连通。
9、在第一方面的其中一个实施例中，所述基板设置有台阶结构，所述吸附板安装于所述台阶结构背离所述基板的一侧，以形成所述通气间隙。
10、在第一方面的
11、在第一方面的其中一个实施例中，所述吸附板的厚度小于所述凹槽的深度。
12、第二方面，本申请实施例还提供了一种衬底剥离设备，包括上述任一实施例中所述的剥离治具。
13、在第二方面的其中一个实施例中，所述衬底剥离设备还包括拔拉件，所述拔拉件设置于所述吸附外框背离所述吸附板的一侧。
14、在第二方面的其中一个实施例中，所述衬底剥离设备还包括气管，所述气管的一端与所述吸附外框连接，所述气管远离所述吸附外框的一端与外部真空系统连接。
15、相对于相关技术，本申请的有益效果是：本申请提供了一种剥离治具及衬底剥离设备，可用于衬底剥离工艺。剥离治具包括吸附外框和吸附板，吸附外框包括边框，吸附板设置于吸附外框，边框与待剥离件的边侧贴合，吸附板吸附待剥离件的表面。如此一来，衬底在被激光分离后，将衬底的外侧嵌入吸附外框中，边框与衬底的边侧贴合，以对衬底的边侧进行限位，同时吸附板吸紧衬底的边部，使衬底与吸附外框保持固定，通过对吸附外框进行拔拉施力，衬底整体跟随吸附外框运动，使衬底与发光层分离。本申请提供的剥离治具，通过在吸附板上设置均匀分布的多个通气孔，并通过气孔抽真空吸附衬底，使蓝宝石衬底在分离时受力均匀，以改善分离过程中的产品结构损伤问题。
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1.一种剥离治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的剥离治具，其特征在于，所述吸附外框还包括基板，所述边框设置于所述基板的边侧，所述边框与所述基板围合形成所述凹槽。
3.根据权利要求2所述的剥离治具，其特征在于，所述吸附板与所述基板之间设有通气间隙。
4.根据权利要求3所述的剥离治具，其特征在于，所述吸附外框背离所述吸附板的一侧设有抽气口，所述抽气口与所述通气间隙连通。
5.根据权利要求3所述的剥离治具，其特征在于，所述基板设置有台阶结构，所述吸附板安装于所述台阶结构背离所述基板的一侧，以形成所述通气间隙。
6.根据权利要求5所述的剥离治具，其特征在于，所述吸附板与所述台阶结构可拆卸连接。
7.根据权利要求1所述的剥离治具，其特征在于，所述吸附板的厚度小于所述凹槽的深度。
8.一种衬底剥离设备，其特征在于，包括权利要求1至7中任一项所述的剥离治具。
9.根据权利要求8所述的衬底剥离设备，其特征在于，所述衬底剥离设备还包括拔拉件，所述拔拉件设置于所述吸附外框背离所述吸附板的一侧
10.根据权利要求8所述的衬底剥离设备，其特征在于，所述衬底剥离设备还包括气管，所述气管的一端与所述吸附外框连接，所述气管远离所述吸附外框的一端与外部真空系统连接。
...【技术特征摘要】
1.一种剥离治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的剥离治具，其特征在于，所述吸附外框还包括基板，所述边框设置于所述基板的边侧，所述边框与所述基板围合形成所述凹槽。
3.根据权利要求2所述的剥离治具，其特征在于，所述吸附板与所述基板之间设有通气间隙。
4.根据权利要求3所述的剥离治具，其特征在于，所述吸附外框背离所述吸附板的一侧设有抽气口，所述抽气口与所述通气间隙连通。
5.根据权利要求3所述的剥离治具，其特征在于，所述基板设置有台阶结构，所述吸附板安装于所述台阶结构背离所述基板的一侧，以形成所述通气间隙。
6....
【专利技术属性】
技术研发人员：张珂，丁香荣，
申请(专利权)人：深圳市思坦科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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