【技术实现步骤摘要】
本申请涉及控制，具体涉及一种基于集成制造系统的设备控制方法及集成制造系统。
技术介绍
1、芯片的制造要经过成百上千道的工艺加工，各个工艺均会影响芯片的最终性能，而芯片制造时通常以一批次晶圆(lot)为加工单位送入生产流水线的机台中进行加工，一批次晶圆中包括多片晶圆，一批次晶圆(lot)在送入生产流水线后出现工艺异常的监控定位对于优化芯片加工工艺及提高良率具有重要意义。
2、然而，目前芯片制造时通常依靠生产流水线中机台自带软件设置取片规则，取片规则的规律通常固定单一不能够灵活设置，而规律的取片规则导致出现工艺异常的机台更加难以监控定位，需要耗费较多时间的来通过验证实验来查询异常，会对生产线的生产进度产生不利影响。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种方案，不受机台自身软硬件的限制，便可实现灵活地对生产流水线中加工机台差异化的取片，从而提升产品出现问题时定位分析工艺异常机台的效率，尽可能的缩短定位异常所耗费的时间，更快的排除异常，减小工艺异常机台对后续产线生产的影响。
2、本申请实施例提供以下技术方案：
3、根据本申请的一个实施例，一种基于集成制造系统的设备控制方法，所述集成制造系统中包括制造执行系统和设备自动化系统，所述方法包括：通过所述制造执行系统建立差异化取片规则的数据库，所述数据库中包括多种多腔室机台的差异化取片规则，每种所述多腔室机台的差异化取片规则中包括多个不同的取片规则；通过所述设备自动化系统配置生产流水线中多腔室机台对应的规则标签，
4、在本申请的一些实施例中，在所述通过所述设备自动化系统配置生产流水线中多腔室机台对应的规则标签之后，所述方法还包括：通过所述制造执行系统接收所述设备自动化系统反馈多腔室机台与规则标签的对应关系，以根据所述对应关系在所述生产流水线生产时进行取片规则分配。
5、在本申请的一些实施例中，在所述通过所述制造执行系统接收所述设备自动化系统反馈多腔室机台与规则标签的对应关系之后，所述方法还包括：通过所述制造执行系统在生产流水线生产时确定待取片机台；根据所述对应关系从所述数据库中获取所述待取片机台对应的取片规则，得到目标取片规则；通过所述制造执行系统将所述目标取片规则发送给所述设备自动化系统；通过所述设备自动化系统控制所述待取片机台按照所述目标取片规则从晶圆批次中进行取片加工。
6、在本申请的一些实施例中，所述根据所述对应关系从所述数据库中获取所述待取片机台对应的取片规则，得到目标取片规则，包括：查询所述对应关系中是否存在待取片机台对应的规则标签；若存在，则从所述数据库中获取所述待取片机台对应的规则标签所对应取片规则；根据所述待取片机台对应的规则标签所对应取片规则，得到所述目标取片规则。
7、在本申请的一些实施例中，所述根据所述待取片机台对应的规则标签所对应取片规则，得到所述目标取片规则，包括：判断所述待取片机台对应的规则标签所对应取片规则与所述待取片机台的可用腔室数量是否匹配；若匹配，则将所述待取片机台对应的规则标签所对应取片规则，确定为所述目标取片规则。
8、在本申请的一些实施例中，在所述判断所述待取片机台对应的规则标签所对应取片规则与所述待取片机台的可用腔室数量是否匹配之后，所述方法还包括：若不匹配，则通过所述制造执行系统从公共库中获取与所述待取片机台的可用腔室数量相匹配且与已配置给所述生产流水线中多腔室机台的取片规则不同的补充取片规则；将所述补充取片规则确定为所述目标取片规则。
9、在本申请的一些实施例中，所述查询所述对应关系中是否存在待取片机台对应的规则标签之后，所述方法还包括：若不存在且所述待取片机台存在多个腔室，则通过所述制造执行系统从公共库中获取与所述待取片机台的可用腔室数量相匹配且与已配置给所述生产流水线中多腔室机台的取片规则不同的候选取片规则；通过所述制造执行系统将所述候选取片规则发送给所述设备自动化系统。
10、在本申请的一些实施例中，所述通过所述制造执行系统建立差异化取片规则的数据库，包括：通过所述制造执行系统获取待加工的晶圆批次中所包括的晶圆片数以及所述生产流水线中多腔室机台的腔室数量；根据所述晶圆片数及所述生产流水线中多腔室机台的腔室数量，建立差异化取片规则的数据库。
11、根据本申请的一个实施例，一种集成制造系统，所述系统包括：制造执行系统用于：建立差异化取片规则的数据库，所述数据库中包括多种多腔室机台的差异化取片规则，每种所述多腔室机台的差异化取片规则中包括多个不同的取片规则；设备自动化系统用于：配置生产流水线中多腔室机台对应的规则标签，其中，具有相同数量腔室的多腔室机台之间的规则标签不同，每种规则标签对应所述数据库的一个取片规则。
12、在本申请的一些实施例中，所述制造执行系统还用于：接收所述设备自动化系统反馈多腔室机台与规则标签的对应关系，以根据所述对应关系在所述生产流水线生产时进行取片规则分配。
13、在本申请的一些实施例中，所述制造执行系统还用于：在生产流水线生产时确定待取片机台；根据所述对应关系从所述数据库中获取所述待取片机台对应的取片规则，得到目标取片规则；将所述目标取片规则发送给所述设备自动化系统；相应地，所述设备自动化系统还用于：控制所述待取片机台按照所述目标取片规则从晶圆批次中进行取片加工。
14、在本申请的一些实施例中，所述制造执行系统还用于：查询所述对应关系中是否存在待取片机台对应的规则标签；若存在，则从所述数据库中获取所述待取片机台对应的规则标签所对应取片规则，得到目标取片规则。
15、根据本申请的另一实施例，一种存储介质，其上存储有计算机程序，当所述计算机程序被计算机的处理器执行时，使计算机执行本申请实施例所述的方法。
16、根据本申请的另一实施例，一种电子设备可以包括：存储器，存储有计算机程序；处理器，读取存储器存储的计算机程序，以执行本申请实施例所述的方法。
17、根据本申请的另一实施例，一种计算机程序产品或计算机程序，该计算机程序产品或计算机程序包括计算机指令，该计算机指令存储在计算机可读存储介质中。计算机设备的处理器从计算机可读存储介质读取该计算机指令，处理器执行该计算机指令，使得该计算机设备执行本申请实施例所述的各种可选实现方式中提供的方法。
18、本申请实施例中，集成制造系统中包括制造执行系统和设备自动化系统，通过所述制造执行系统建立差异化取片规则的数据库，所述数据库中包括多种多腔室机台的差异化取片规则，每种所述多腔室机台的差异化取片规则中包括多个不同的取片规则；通过所述设备自动化系统配置生产流水线中多腔室机台对应的规则标签，其中，具有相同数量腔室的多腔室机台之间的规则标签不同，每种规则标签对应所述数据库的一个取片规则。
19、以这种方式，通过制造执行系统和设备自动化系统联合，可以灵活地对生本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于集成制造系统的设备控制方法，其特征在于，所述集成制造系统中包括制造执行系统和设备自动化系统，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述通过所述设备自动化系统配置生产流水线中多腔室机台对应的规则标签之后，所述方法还包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述通过所述制造执行系统接收所述设备自动化系统反馈多腔室机台与规则标签的对应关系之后，所述方法还包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述对应关系从所述数据库中获取所述待取片机台对应的取片规则，得到目标取片规则，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述待取片机台对应的规则标签所对应取片规则，得到所述目标取片规则，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在所述判断所述待取片机台对应的规则标签所对应取片规则与所述待取片机台的可用腔室数量是否匹配之后，所述方法还包括：
7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述查询所述对应关系中是否存在待取片机台对应的规则标签之后，
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述通过所述制造执行系统建立差异化取片规则的数据库，包括：
9.一种集成制造系统，其特征在于，所述系统包括：
10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述制造执行系统还用于：接收所述设备自动化系统反馈多腔室机台与规则标签的对应关系，以根据所述对应关系在所述生产流水线生产时进行取片规则分配。
11.根据权利要求10所述的系统，其特征在于，所述制造执行系统还用于：在生产流水线生产时确定待取片机台；根据所述对应关系从所述数据库中获取所述待取片机台对应的取片规则，得到目标取片规则；将所述目标取片规则发送给所述设备自动化系统；相应地，所述设备自动化系统还用于：控制所述待取片机台按照所述目标取片规则从晶圆批次中进行取片加工。
12.根据权利要求11所述的系统，其特征在于，所述制造执行系统还用于：查询所述对应关系中是否存在待取片机台对应的规则标签；若存在，则从所述数据库中获取所述待取片机台对应的规则标签所对应取片规则，得到目标取片规则。
...【技术特征摘要】
1.一种基于集成制造系统的设备控制方法，其特征在于，所述集成制造系统中包括制造执行系统和设备自动化系统，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述通过所述设备自动化系统配置生产流水线中多腔室机台对应的规则标签之后，所述方法还包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述通过所述制造执行系统接收所述设备自动化系统反馈多腔室机台与规则标签的对应关系之后，所述方法还包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述对应关系从所述数据库中获取所述待取片机台对应的取片规则，得到目标取片规则，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述待取片机台对应的规则标签所对应取片规则，得到所述目标取片规则，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在所述判断所述待取片机台对应的规则标签所对应取片规则与所述待取片机台的可用腔室数量是否匹配之后，所述方法还包括：
7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述查询所述对应关系中是否存在待取片机台对...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏治栋，杨涛，
申请(专利权)人：格创东智深圳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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