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一种贴装机构及固晶机制造技术

技术编号:44756447 阅读:3 留言:0更新日期:2025-03-26 12:41
本发明专利技术涉及半导体加工技术领域,公开了一种贴装机构,包括:主体组件、吸嘴组件和连接组件;主体组件包括安装座和第一通电件,吸嘴组件包括基体、加热器、第一导电件和吸附件;本申请通过设置第一导电件和第一通电件,使加热器能够以接触导电的方式实现电连接,在此基础上,本申请通过将加热器集成在吸嘴组件的基体上,使得本申请在通过连接组件进行吸嘴组件和主体组件的拆装时,加热器和基体能够被一同拆装,并且加热器的设置还不会影响到基体的拆装,从而使得本申请在实现对吸嘴组件加热的基础上,还能够便捷的完成对吸嘴组件的更换,进而提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体加工,特别是涉及一种贴装机构及固晶机


技术介绍

1、共晶固晶技术是一种通过金属与金属熔合而键合固晶的技术,它通过各种加热手段,使共晶芯片与共晶芯片、共晶芯片与和底座或者引线框架之间的合金层熔化,从而形成稳固的金属与金属熔融键合。相比传统的固晶方式,金属与金属的键合,提高了键合强度,降低了键合阻抗,同时还提升了导热效率。

2、目前,在进行共晶工艺时,通常采用基板加热或者吸嘴组件加热的方式来实现共晶,当采用基板加热的方式时,由于芯片需要依次共晶在基板的顶部,为此基板顶部的芯片会受到多次加热,导致先前安装的芯片与基板的共晶部位再次熔融,影响共晶质量,而采用吸嘴组件加热的方式,虽然能够避免芯片和相应位置的基板重复加热,但是现有的装置在将加热结构集成在贴装机构后,不仅会导致贴装机构的结构臃肿,并且还会干扰吸嘴组件的拆装,使得无法根据芯片的需求及时调整吸嘴组件的规格,造成工作效率的下降。


技术实现思路

1、在本专利技术的目的是:提供一种贴装机构及固晶机,其能够在实现对吸嘴组件加热的基础上,便捷的完成对吸嘴组件的更换,提高装置的工作效率。

2、为了实现上述目的,本专利技术提供了一种贴装机构,包括:主体组件、吸嘴组件和连接组件;所述主体组件包括安装座和第一通电件,所述安装座具有安装面,所述第一通电件设于所述安装座,所述第一通电件具有第一通电端,所述第一通电端位于所述安装面;所述吸嘴组件包括基体、加热器、第一导电件和吸附件,所述基体通过所述连接组件可拆卸安装于所述安装面,所述加热器设于所述基体背离所述安装面的一侧,所述第一导电件设于所述基体,且与所述加热器电连接,所述第一导电件具有第一导电端,所述第一导电端位于所述基体朝向所述安装面的一侧,所述吸附件设于所述基体,所述吸附件具有吸附端,所述吸附端从所述基体穿出并穿设于所述加热器,所述吸附端用于吸附芯片,随着所述基体安装于所述安装面,所述第一导电端能够与所述第一通电端电连接。

3、可选的,所述安装面具有第一安装孔,所述基体朝向所述安装面的一侧具有凸起,所述凸起与所述第一安装孔对应设置,且所述凸起与所述第一安装孔相适配,随着所述基体安装于所述安装面,所述凸起能够插入至所述第一安装孔。

4、可选的,所述主体组件还包括抽吸件,所述抽吸件设于所述第一安装孔,所述凸起朝向所述安装面的一侧具有第二安装孔,且所述第二安装孔贯穿于所述安装座,所述吸附件设于所述第二安装孔,随着所述基体安装于所述安装面,所述凸起能够插入至所述第一安装孔,以使所述吸附件与所述抽吸件相连通。

5、可选的,所述吸嘴组件还包括弹性件,所述第二安装孔的内周侧壁具有向内延伸的凸沿,所述吸附件的外周侧壁具有凸缘,所述弹性件设于所述凸沿朝向所述安装面的一侧,所述吸附件的所述凸缘搭接于所述弹性件朝向所述安装面的一侧,随着所述基体安装于所述安装面,所述吸附件能够与所述抽吸件相接触,并压缩所述弹性件。

6、可选的,所述安装面设有限位部,所述限位部沿所述安装座的外周侧壁向背离所述安装面的方向延伸,所述限位部和所述安装面围合形成限位槽,所述限位部的内周侧面具有卡槽,所述基体的外周侧面还设有卡条,所述卡条和所述卡槽的形状相适配,随着所述卡条与所述卡槽对接,所述基体能沿所述限位槽滑动至与所述安装面贴合。

7、可选的,所述基体的内部中空,所述基体背离所述安装面的一侧敞开,所述加热器安装于所述基体背离所述安装面的一侧,且与所述基体共同围合形成腔体,所述基体的外周侧面具有多个镂空孔,所述第一导电件设于所述基体朝向所述安装面的一侧,且经过所述腔体向所述加热器延伸至与所述加热器电连接,所述吸附件设于所述基体朝向所述安装面的一侧,且经过所述腔体向所述加热器延伸至穿过于所述加热器。

8、可选的,所述基体为陶瓷材质。

9、可选的,所述连接组件包括磁吸件和磁性件,所述磁吸件设于所述安装面,所述磁性件设于所述基体朝向所述安装面的一侧。

10、可选的,所述连接组件包括多个所述磁吸件,多个所述磁吸件沿所述安装面的周向间隔设置,所述磁性件呈环状且与多个所述磁吸件相对应,所述基体朝向所述安装面的一侧具有安装槽,所述磁性件设于所述安装槽中,且所述磁性件朝向所述安装面的一侧具有第三安装孔,所述基体上与所述第三安装孔相对应的位置上具有第四安装孔,所述第一导电件依次经过所述第三安装孔、所述第四安装孔至所述基体的内部,并从所述基体的内部穿出与所述加热器连接,且所述第三安装孔与所述第一导电端之间留有间隙。

11、可选的,所述主体组件包括多个所述第一通电件,多个所述第一通电端沿所述安装面的周向间隔设置,所述吸嘴组件包括多个所述第一导电件,且多个所述第一导电端分别与多个所述第一通电端一一对应设置。

12、可选的,所述吸嘴组件还包括传感器和第二导电件,所述传感器设于所述加热器中,所述主体组件还包括第二通电件,所述第二通电件具有第二通电端,所述第二通电件设于所述安装座,且所述第二通电端位于所述安装面,并与所述第一通电端间隔设置,所述第二导电件设于所述基体,且与所述传感器电连接,所述第二导电件具有第二导电端,所述第二导电端设于所述基体朝向所述安装面的一侧,随着所述基体安装于所述安装面,所述第二导电端能够与所述第二通电端电连接。

13、可选的,所述第一导电件包括传导触头和导线,所述传导触头设于所述基体朝向所述安装座的一侧,且所述传导触头朝向所述安装面的一端为所述第一导电端,所述导线设于所述基体的内部,且一端与所述传导触头电连接,另一端与所述加热器电连接。

14、可选的,所述吸嘴组件还包括导热件,所述导热件的一侧具有吸附孔,所述导热件通过所述吸附孔套设于所述吸附端,且所述吸附孔贯穿于所述导热件背离所述加热器的一侧,所述导热件朝向所述加热器的一侧与所述加热器相贴合,所述导热件背离所述加热器的一面为加热面,所述加热面用于对芯片进行加热。

15、为了实现同样的目的,本申请还提供了一种固晶机,包括如前所述的贴装机构。

16、本专利技术实施例一种贴装机构及固晶机与现有技术相比,其有益效果在于:本申请通过设置第一导电件和第一通电件,使加热器能够以接触导电的方式实现电连接,具体的,在吸嘴组件安装到主体组件后,第一导电件的第一导电端能够与第一通电件的第一通电端相接触,第一通电件将电流经第一导电件输送到加热器,以实现对加热器的通电,在此基础上,本申请通过将加热器集成在吸嘴组件的基体上,使得本申请在通过连接组件进行吸嘴组件和主体组件的拆装时,加热器和基体能够被一同拆装,并且加热器的设置还不会影响到基体的拆装,从而使得本申请在实现对吸嘴组件加热的基础上,还能够便捷的完成对吸嘴组件的更换,进而提高了工作效率,除此之外,由于本申请是将加热器设置在吸嘴背离的安装面的一侧,且与吸附件的吸附端接触,使得能够更加直接的对吸附端进行加热,提高共晶效果的同时,而且还不会将热量直接传递至主体组件,期间还会由吸嘴组件的基体来缓冲散热,减少对主体本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种贴装机构,其特征在于,包括:主体组件、 吸嘴组件和连接组件;

2.根据权利要求1所述的贴装机构,其特征在于,所述安装面具有第一安装孔,所述基体朝向所述安装面的一侧具有凸起,所述凸起与所述第一安装孔对应设置,且所述凸起与所述第一安装孔相适配,随着所述基体安装于所述安装面,所述凸起能够插入至所述第一安装孔。

3.根据权利要求2所述的贴装机构,其特征在于,所述主体组件还包括抽吸件,所述抽吸件设于所述第一安装孔,所述凸起朝向所述安装面的一侧具有第二安装孔,且所述第二安装孔贯穿于所述安装座,所述吸附件设于所述第二安装孔,随着所述基体安装于所述安装面,所述凸起能够插入至所述第一安装孔,以使所述吸附件与所述抽吸件相连通。

4.根据权利要求3所述的贴装机构,其特征在于,所述吸嘴组件还包括弹性件,所述第二安装孔的内周侧壁具有向内延伸的凸沿,所述吸附件的外周侧壁具有凸缘,所述弹性件设于所述凸沿朝向所述安装面的一侧,所述吸附件的所述凸缘搭接于所述弹性件朝向所述安装面的一侧,随着所述基体安装于所述安装面,所述吸附件能够与所述抽吸件相接触,并压缩所述弹性件。p>

5.根据权利要求1所述的贴装机构,其特征在于,所述安装面设有限位部,所述限位部沿所述安装座的外周侧壁向背离所述安装面的方向延伸,所述限位部和所述安装面围合形成限位槽,所述限位部的内周侧面具有卡槽,所述基体的外周侧面还设有卡条,所述卡条和所述卡槽的形状相适配,随着所述卡条与所述卡槽对接,所述基体能沿所述限位槽滑动至与所述安装面贴合。

6.根据权利要求1所述的贴装机构,其特征在于,所述基体的内部中空,所述基体背离所述安装面的一侧敞开,所述加热器安装于所述基体背离所述安装面的一侧,且与所述基体共同围合形成腔体,所述基体的外周侧面具有多个镂空孔,所述第一导电件设于所述基体朝向所述安装面的一侧,且经过所述腔体向所述加热器延伸至与所述加热器电连接,所述吸附件设于所述基体朝向所述安装面的一侧,且经过所述腔体向所述加热器延伸至穿过于所述加热器。

7.根据权利要求1所述的贴装机构,其特征在于,所述连接组件包括磁吸件和磁性件,所述磁吸件设于所述安装面,所述磁性件设于所述基体朝向所述安装面的一侧。

8.根据权利要求7所述的贴装机构,其特征在于,所述连接组件包括多个所述磁吸件,多个所述磁吸件沿所述安装面的周向间隔设置,所述磁性件呈环状且与多个所述磁吸件相对应,所述基体朝向所述安装面的一侧具有安装槽,所述磁性件设于所述安装槽中,且所述磁性件朝向所述安装面的一侧具有第三安装孔,所述基体上与所述第三安装孔相对应的位置上具有第四安装孔,所述第一导电件依次经过所述第三安装孔. 所述第四安装孔至所述基体的内部,并从所述基体的内部穿出与所述加热器连接,所述第三安装孔与所述第一导电端之间留有间隙。

9.根据权利要求1所述的贴装机构,其特征在于,所述主体组件包括多个所述第一通电件,多个所述第一通电端沿所述安装面的周向间隔设置,所述吸嘴组件包括多个所述第一导电件,且多个所述第一导电端分别与多个所述第一通电端一一对应设置。

10.根据权利要求1所述的贴装机构,其特征在于,所述吸嘴组件还包括传感器和第二导电件,所述传感器设于所述加热器中,所述主体组件还包括第二通电件,所述第二通电件具有第二通电端,所述第二通电件设于所述安装座,且所述第二通电端位于所述安装面,并与所述第一通电端间隔设置,所述第二导电件设于所述基体,且与所述传感器电连接,所述第二导电件具有第二导电端,所述第二导电端设于所述基体朝向所述安装面的一侧,随着所述基体安装于所述安装面,所述第二导电端能够与所述第二通电端电连接。

11.根据权利要求1所述的贴装机构,其特征在于,所述第一导电件包括传导触头和导线,所述传导触头设于所述基体朝向所述安装座的一侧,且所述传导触头朝向所述安装面的一端为所述第一导电端,所述导线设于所述基体的内部,且一端与所述传导触头电连接,另一端与所述加热器电连接。

12.根据权利要求1-11中任一项所述的贴装机构,其特征在于,所述吸嘴组件还包括导热件,所述导热件的一侧具有吸附孔,所述导热件通过所述吸附孔套设于所述吸附端,且所述吸附孔贯穿于所述导热件背离所述加热器的一侧,所述导热件朝向所述加热器的一侧与所述加热器相贴合,所述导热件背离所述加热器的一面为加热面,所述加热面用于对芯片进行加热。

13.一种固晶机,其特征在于,包括如权利要求1-12中任一项所述的贴装机构。

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【技术特征摘要】

1.一种贴装机构,其特征在于,包括:主体组件、 吸嘴组件和连接组件;

2.根据权利要求1所述的贴装机构,其特征在于,所述安装面具有第一安装孔,所述基体朝向所述安装面的一侧具有凸起,所述凸起与所述第一安装孔对应设置,且所述凸起与所述第一安装孔相适配,随着所述基体安装于所述安装面,所述凸起能够插入至所述第一安装孔。

3.根据权利要求2所述的贴装机构,其特征在于,所述主体组件还包括抽吸件,所述抽吸件设于所述第一安装孔,所述凸起朝向所述安装面的一侧具有第二安装孔,且所述第二安装孔贯穿于所述安装座,所述吸附件设于所述第二安装孔,随着所述基体安装于所述安装面,所述凸起能够插入至所述第一安装孔,以使所述吸附件与所述抽吸件相连通。

4.根据权利要求3所述的贴装机构,其特征在于,所述吸嘴组件还包括弹性件,所述第二安装孔的内周侧壁具有向内延伸的凸沿,所述吸附件的外周侧壁具有凸缘,所述弹性件设于所述凸沿朝向所述安装面的一侧,所述吸附件的所述凸缘搭接于所述弹性件朝向所述安装面的一侧,随着所述基体安装于所述安装面,所述吸附件能够与所述抽吸件相接触,并压缩所述弹性件。

5.根据权利要求1所述的贴装机构,其特征在于,所述安装面设有限位部,所述限位部沿所述安装座的外周侧壁向背离所述安装面的方向延伸,所述限位部和所述安装面围合形成限位槽,所述限位部的内周侧面具有卡槽,所述基体的外周侧面还设有卡条,所述卡条和所述卡槽的形状相适配,随着所述卡条与所述卡槽对接,所述基体能沿所述限位槽滑动至与所述安装面贴合。

6.根据权利要求1所述的贴装机构,其特征在于,所述基体的内部中空,所述基体背离所述安装面的一侧敞开,所述加热器安装于所述基体背离所述安装面的一侧,且与所述基体共同围合形成腔体,所述基体的外周侧面具有多个镂空孔,所述第一导电件设于所述基体朝向所述安装面的一侧,且经过所述腔体向所述加热器延伸至与所述加热器电连接,所述吸附件设于所述基体朝向所述安装面的一侧,且经过所述腔体向所述加热器延伸至穿过于所述加热器。

7.根据权利要求1所述的贴装机构,其特征在于,所述连接组件包括磁吸件和磁性件,所述磁吸件设于所述安装面,所述磁性件设于所述基体朝向所述安装面的一侧。

【专利技术属性】
技术研发人员:邹巍曾胜林杨子修唐香
申请(专利权)人:广州诺顶智能科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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