一种掩膜板对位靶点自动对准系统技术方案

本技术涉及一种掩膜板对位靶点自动对准系统，包括平台座，平台座上设有CCD相机移动组件；CCD相机移动组件包括X轴驱动模组，X轴驱动模组由X轴驱动装置带动，X轴驱动模组上安装Y轴驱动模组，Y轴驱动模组由Y轴驱动装置带动，Y轴驱动模组上安装CCD相机组件；CCD相机组件包括相机安装板，相机安装板与Y轴导轨中的滑块、Y轴丝杆副中的螺母连接；相机安装板上安装CCD相机。本技术可自动调整X、Y方向位置，不需人工干预操作，寻找靶点位置操作简单，提前设定好靶点位置，CCD自动移动到靶点中心，缩短寻找靶点的时间，提高生产效率；减少人员进入机器的操作频次，降低身体进入机器后产生灰尘导致产品良率低。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于掩膜板生产，涉及掩膜板对位靶点自动对准系统。

技术介绍

1、在电子产品的玻璃盖板、触摸盖板等的制作过程中，由于其边部位置需要通过曝光显影工艺形成图案，因此掩膜板是不可或缺的工件。

2、曝光显影工艺中，需要将两块掩膜板进行对准，现有设备对准找靶点通过手动旋钮，来前后左右移动ccd位置，实现ccd找到靶点的中心位置，寻找靶点时间太长，靠机器内侧不方便操作。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种掩膜板对位靶点自动对准系统，能解决上述的问题。

2、按照本技术提供的技术方案：一种掩膜板对位靶点自动对准系统，包括平台座，平台座上设有ccd相机移动组件；ccd相机移动组件包括x轴驱动模组，x轴驱动模组由x轴驱动装置带动，x轴驱动模组上安装y轴驱动模组，y轴驱动模组由y轴驱动装置带动，y轴驱动模组上安装ccd相机组件；ccd相机组件包括相机安装板，相机安装板与y轴导轨中的滑块、y轴丝杆副中的螺母连接；相机安装板上安装ccd相机，ccd相机上设有ccd镜头；平台座中间开有避让孔，ccd镜头位于避让孔中。

3、作为本技术的进一步改进，x轴驱动模组包括x轴丝杆副，x轴丝杆副两侧设有x轴导轨。

4、作为本技术的进一步改进，x轴驱动装置为x轴驱动电机，x轴驱动电机安装在平台座上。

5、作为本技术的进一步改进，y轴驱动模组包括y轴底座，y轴底座上安装y轴丝杆副，y轴丝杆副两侧设有y轴导轨；y轴底座底部与x轴导轨中的滑块、x轴丝杆副中的螺母连接。

6、作为本技术的进一步改进，y轴驱动装置为y轴驱动电机，y轴驱动电机安装在y轴底座上，y轴驱动电机输出轴通过联轴器连接y轴丝杆副中的丝杆。

7、作为本技术的进一步改进，x轴丝杆副与y轴丝杆副相垂直。

8、作为本技术的进一步改进，避让孔两侧为移动组件安装区域，平台座上安装四组ccd相机移动组件，分别为第一ccd相机移动组件、第二ccd相机移动组件、第三ccd相机移动组件、第四ccd相机移动组件，第一ccd相机移动组件、第二ccd相机移动组件位于一侧移动组件安装区域，第三ccd相机移动组件、第四ccd相机移动组件位于另一侧移动组件安装区域。

9、作为本技术的进一步改进，第一ccd相机移动组件、第三ccd相机移动组件位于平台座顶面，第二ccd相机移动组件、第四ccd相机移动组件位于平台座底面。

10、本申请的积极进步效果在于：

11、本技术可自动调整x、y方向位置，不需人工干预操作，寻找靶点位置操作简单，提前设定好靶点位置，ccd自动移动到靶点中心，缩短寻找靶点的时间，提高生产效率；减少人员进入机器的操作频次，降低身体进入机器后产生灰尘导致产品良率低。

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【技术保护点】

1.一种掩膜板对位靶点自动对准系统，包括平台座（1），其特征在于，平台座（1）上设有CCD相机移动组件；CCD相机移动组件包括X轴驱动模组（2），X轴驱动模组（2）由X轴驱动装置（3）带动，X轴驱动模组（2）上安装Y轴驱动模组（4），Y轴驱动模组（4）由Y轴驱动装置（5）带动，Y轴驱动模组（4）上安装CCD相机组件；CCD相机组件包括相机安装板（6），相机安装板（6）与Y轴导轨中的滑块、Y轴丝杆副中的螺母连接；相机安装板（6）上安装CCD相机（7），CCD相机（7）上设有CCD镜头（8）；平台座（1）中间开有避让孔，CCD镜头（8）位于避让孔中。

2.如权利要求1所述的掩膜板对位靶点自动对准系统，其特征在于，X轴驱动模组（2）包括X轴丝杆副，X轴丝杆副两侧设有X轴导轨。

3.如权利要求2所述的掩膜板对位靶点自动对准系统，其特征在于，X轴驱动装置（3）为X轴驱动电机，X轴驱动电机安装在平台座（1）上。

4.如权利要求2所述的掩膜板对位靶点自动对准系统，其特征在于，Y轴驱动模组（4）包括Y轴底座，Y轴底座上安装Y轴丝杆副，Y轴丝杆副两侧设有Y轴导轨；Y轴底座底部与X轴导轨中的滑块、X轴丝杆副中的螺母连接。

5.如权利要求4所述的掩膜板对位靶点自动对准系统，其特征在于，Y轴驱动装置（5）为Y轴驱动电机，Y轴驱动电机安装在Y轴底座上，Y轴驱动电机输出轴通过联轴器连接Y轴丝杆副中的丝杆。

6.如权利要求1所述的掩膜板对位靶点自动对准系统，其特征在于，X轴丝杆副与Y轴丝杆副相垂直。

7.如权利要求1所述的掩膜板对位靶点自动对准系统，其特征在于，避让孔两侧为移动组件安装区域，平台座（1）上安装四组CCD相机移动组件，分别为第一CCD相机移动组件、第二CCD相机移动组件、第三CCD相机移动组件、第四CCD相机移动组件，第一CCD相机移动组件、第二CCD相机移动组件位于一侧移动组件安装区域，第三CCD相机移动组件、第四CCD相机移动组件位于另一侧移动组件安装区域。

8.如权利要求7所述的掩膜板对位靶点自动对准系统，其特征在于，第一CCD相机移动组件、第三CCD相机移动组件位于平台座（1）顶面，第二CCD相机移动组件、第四CCD相机移动组件位于平台座（1）底面。

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【技术特征摘要】

1.一种掩膜板对位靶点自动对准系统，包括平台座（1），其特征在于，平台座（1）上设有ccd相机移动组件；ccd相机移动组件包括x轴驱动模组（2），x轴驱动模组（2）由x轴驱动装置（3）带动，x轴驱动模组（2）上安装y轴驱动模组（4），y轴驱动模组（4）由y轴驱动装置（5）带动，y轴驱动模组（4）上安装ccd相机组件；ccd相机组件包括相机安装板（6），相机安装板（6）与y轴导轨中的滑块、y轴丝杆副中的螺母连接；相机安装板（6）上安装ccd相机（7），ccd相机（7）上设有ccd镜头（8）；平台座（1）中间开有避让孔，ccd镜头（8）位于避让孔中。

2.如权利要求1所述的掩膜板对位靶点自动对准系统，其特征在于，x轴驱动模组（2）包括x轴丝杆副，x轴丝杆副两侧设有x轴导轨。

3.如权利要求2所述的掩膜板对位靶点自动对准系统，其特征在于，x轴驱动装置（3）为x轴驱动电机，x轴驱动电机安装在平台座（1）上。

4.如权利要求2所述的掩膜板对位靶点自动对准系统，其特征在于，y轴驱动模组（4）包括y轴底座，y轴底座上安装y轴丝杆副，y轴丝杆副两...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘凌益，
申请(专利权)人：无锡旭电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：