【技术实现步骤摘要】
本公开涉及水处理，尤其涉及一种可移动式半导体超纯水制备装置。
技术介绍
1、超纯水就是基本不含任何杂质的水，尽可能去除水中的离子、do(溶解氧)、toc(总有机碳)等杂质，应用于对水质要求极高的场合。如半导体产品的生产过程中，需要利用超纯水清洗半导体制作中的各种产品，因为水质对产品的质量、性能会产生重大影响，因此稳定的超纯水是半导体生产线不可或缺的重要部分。超纯水在制备过程中要求尽可能地去除水中的离子、溶解氧、总有机碳等杂质，使其成分无限接近于100％的水分子，25℃时电阻率可达18.2mωcm以上，以满足需求。
2、但是随着市场对超纯水的用水量和水质需求不断调整，一级环境问题和水资源的相对短缺等问题，对于超纯水处理的技术和要求也不断调整，现有的超纯水处理设备不能很好地适应需求变化，设备结构固定，处理的效果也单一，不能更好地满足市场需求。
技术实现思路
1、为此，本公开提出一种可移动式半导体超纯水制备装置，用以解决上述问题。
2、本公开提供的一种可移动式半导体超纯水制备装置，包括：水箱部、预处理部、一级处理部、二级处理部、功能处理部、终端处理部和加药部；
3、所述水箱部包括原水箱、过滤水箱、反渗透水箱、纯水箱和超纯水箱，所述原水箱设置于装置最上游，所述超纯水箱设置于装置最下游，所述过滤水箱、所述反渗透水箱和所述纯水箱对应其他部分功能设置于所述装置中；
4、所述预处理部和所述终端处理部均与所述反渗透水箱连接；所述一级处理部、所述二级处理
5、所述功能处理部分别连接于所述反渗透水箱和所述纯水箱；
6、所述加药部分别连接于所述原水箱、所述预处理部、所述一级处理部和所述二级处理部；
7、所述终端处理部连接于所述超纯水箱；
8、所述水箱部、所述预处理部、所述一级处理部、所述二级处理部、所述功能处理部、所述反渗透水箱、所述纯水箱、所述终端处理部、所述超纯水箱顺次连接，所述加药部、所述一级处理部、所述二级处理部、所述功能处理部穿插设置于所述装置中。
9、优选地，所述水箱部、所述预处理部、所述一级处理部、所述二级处理部、所述功能处理部和所述终端处理部均分别设置有动力泵，分别为：原水供水水泵、预处理超滤反洗水泵、反渗透供水水泵、一级反渗透高压水泵、二级反渗透高压水泵、edi供水水泵、终端供水泵。
10、优选地，还设置有前处理热交换器和终端热交换器，所述前处理热交换器设置于所述预处理部，所述终端热交换器设置于所述终端处理部。
11、优选地，所述原水箱还设置有原水供水水泵，所述原水供水水泵连接于所述预处理部；
12、所述预处理部包括：预处理过滤器、预处理超滤膜、预处理超滤反洗水泵和反渗透保安过滤器，所述预处理过滤器、所述预处理超滤膜、所述预处理超滤反洗水泵和所述反渗透保安过滤器顺次连接；所述预处理过滤器还连接于所述原水供水水泵，所述预处理超滤膜和所述预处理超滤反洗水泵中间还连接于过滤水箱，所述预处理超滤反洗水泵和所述反渗透保安过滤器之间还连接于所述前处理热交换器；
13、所述终端处理部包括：终端供水泵、终端热交换器、终端过滤器和终端超滤膜，所述终端供水泵、所述终端热交换器、所述终端过滤器和所述终端超滤膜顺次连接；所述终端供水泵和所述终端热交换器相连，共同设置于所述一级处理部与所述二级处理部之间；所述终端过滤器和所述终端超滤膜顺次连接于所述超纯水箱。
14、优选地，所述功能处理部包括：抛光混床、总edi设备，所述抛光混床连接于所述二级处理部，所述总edi设备设置于所述一级处理部上游；
15、所述总edi设备包括edi供水水泵和edi保安过滤器，所述edi供水水泵连接于所述edi保安过滤器，所述edi供水水泵和所述edi保安过滤器设置于所述一级处理部和所述二级处理部之间；
16、所述抛光混床设置于所述二级处理部中。
17、优选地，所述一级处理部与所述二级处理部中的设备一致，包括：反渗透高压水泵、反渗透结构、紫外线除toc设备、edi设备和脱气膜，所述反渗透高压水泵、所述反渗透结构、所述紫外线除toc设备、所述edi设备和所述脱气膜顺次连接；
18、分别为一级反渗透结构、一级反渗透高压水泵、一级紫外线除toc装置、一级edi设备和一级脱气膜；二级反渗透结构、二级反渗透高压水泵、二级紫外线除toc装置、二级edi设备和二级脱气膜；
19、所述一级反渗透高压水泵连接于所述一级反渗透结构，所述一级反渗透高压水泵还连接于所述反渗透保安过滤器，所述一级反渗透结构下游连接二级反渗透高压水泵和所述二级反渗透结构，所述二级反渗透结构连接于所述反渗透水箱，所述反渗透水箱连接总edi设备后，连接所述一级紫外线除toc装置和所述一级edi设备与所述一级脱气膜之间设置有二级edi设备，所述一级脱气膜连接于所述纯水箱，所述纯水箱连接于所述终端供水泵和所述终端热交换器，所述终端热交换器连接于所述二级紫外线除toc装置，所述二级紫外线除toc装置通过所述抛光混床连接于所述二级脱气膜，所述二级脱气膜连接于所述终端过滤器。
20、优选地，还设置检测设备组，所述检测设备组包括：do表、硅表、硼表、颗粒仪表一级电导阻率表，所述do表、所述硅表、所述硼表、所述颗粒仪表一级所述电导阻率表均为在线检测装置。
21、优选地，还设置有空气压缩机，所述空气压缩机连接于所述终端超滤膜。
22、本公开提供的一种可移动式半导体超纯水制备装置与现有技术相比有益效果为：提供了一种可以将多种清洁净化功能集合的超纯水制备装置，包含了控制超纯水水质指标的所有工艺设备，严格确保看产水水质达标，且设计了在线检测设备，充分保证超纯水的水质。整个装置便于移动，可以快速运送至制备超纯水的工厂进行制水，满足生产工艺和水质要求的同时，还降低了建设和运维的成本。装置内的各个功能部分进行重组和拆装，适应市场变化需求，采用合理化、集成化的装置降低设备成本，提高制备超纯水的质量和效率。可实现将整套系统运输至超纯水用水工厂快速制取超纯水，在保证产水水质和环保要求的同时降低整体系统建设和运维成本。
23、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，而非限制本公开。
24、根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本公开的其它特征及方面将变得清楚。
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1.一种可移动式半导体超纯水制备装置，其特征在于，包括：水箱部(1)、预处理部(2)、一级处理部(3)、二级处理部(4)、功能处理部(5)、终端处理部(6)和加药部(7)；
2.根据权利要求1所述的可移动式半导体超纯水制备装置，其特征在于，所述水箱部(1)、所述预处理部(2)、所述一级处理部(3)、所述二级处理部(4)、所述功能处理部(5)和所述终端处理部(6)均分别设置有动力泵，分别为：原水供水水泵(81)、预处理超滤反洗水泵(82)、反渗透供水水泵(83)、一级反渗透高压水泵(84)、二级反渗透高压水泵(85)、EDI供水水泵(86)、终端供水泵(87)。
3.根据权利要求2所述的可移动式半导体超纯水制备装置，其特征在于，还设置有前处理热交换器(91)和终端热交换器(92)，所述前处理热交换器(91)设置于所述预处理部(2)，所述终端热交换器(92)设置于所述终端处理部(6)。
4.根据权利要求3所述的可移动式半导体超纯水制备装置，其特征在于，所述原水箱(11)连接于原水供水水泵(81)，所述原水供水水泵(81)连接于所述预处理部(2)；<...
【技术特征摘要】
1.一种可移动式半导体超纯水制备装置，其特征在于，包括：水箱部(1)、预处理部(2)、一级处理部(3)、二级处理部(4)、功能处理部(5)、终端处理部(6)和加药部(7)；
2.根据权利要求1所述的可移动式半导体超纯水制备装置，其特征在于，所述水箱部(1)、所述预处理部(2)、所述一级处理部(3)、所述二级处理部(4)、所述功能处理部(5)和所述终端处理部(6)均分别设置有动力泵，分别为：原水供水水泵(81)、预处理超滤反洗水泵(82)、反渗透供水水泵(83)、一级反渗透高压水泵(84)、二级反渗透高压水泵(85)、edi供水水泵(86)、终端供水泵(87)。
3.根据权利要求2所述的可移动式半导体超纯水制备装置，其特征在于，还设置有前处理热交换器(91)和终端热交换器(92)，所述前处理热交换器(91)设置于所述预处理部(2)，所述终端热交换器(92)设置于所述终端处理部(6)。
4.根据权利要求3所述的可移动式半导体超纯水制备装置，其特征在于，所述原水箱(11)连接于原水供水水泵(81)，所述原水供水水泵(81)连接于所述预处理...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘鑫，孙佳君，谢海，张永健，徐亘，
申请(专利权)人：高频北京科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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