【技术实现步骤摘要】
本技术涉及加热件，尤其涉及一种加热组件。
技术介绍
1、在半导体、光伏太阳能、显示面板、测试设备仪器、微化工等行业能够使用到流体加热设备，例如半导体制程中的湿法清洗设备，多个环节能够应用到流体加热设备，比如刻蚀去胶、超纯水清洗等，这些都需要对酸碱液、化学药液、纯水或者超纯水进行加热，通过提升清洗液体的温度来提升清洗效果、加快清洗速度。
2、现有技术中应用到上述领域的加热设备需要通过外壳保护其内部的电热管等元器件，传统外壳采用基材拉伸等方式制备成型，由于加热设备体积比较大，导致外壳的制备比较困难，并且制造成本也比较高。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决
技术介绍
中指出的问题，而提出的一种加热组件。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种加热组件，用于泛半导体设备，包括具有加热通道的电热管组件、位于电热管组件两端的接头件、安装在两个接头件之间的外壳，所述接头件具有与加热通道连通的流体通道，所述外壳包括若干个外板体，若干个所述外板体围接设置，所述外板体两端分别与两个所述接头件固定。
4、所述电热管组件包括第一电热管体，所述第一电热管体与所述流体通道连通，所述接头件靠近第一电热管体的一侧具有第一安装槽，所述第一电热管体两端分别密封安装在两个所述接头件的第一安装槽内。
5、位于所述第一电热管体内设有内管体，所述内管体外壁与所述第一电热管体内壁之间留设有流体间隙，所述内管体两端分别密封安装有支撑头，所述接头件
6、所述支撑头包括底座，所述底座一端设有插槽部，所述内管体端部密封安装在所述插槽部内，所述底座另一端具有若干个环形分布且沿内管体轴线方向设置的筋板，相邻所述筋板之间形成所述连通缝，所述筋板具有第一台阶部、第二台阶部，所述第一台阶部端部抵靠所述阶梯部，所述第二台阶部的外侧面抵靠流体通道的壁部。
7、位于所述第一电热管体外周侧与外板体内周侧之间设有内壳体，所述内壳体包括若干个内板体，若干个所述内板体围接设置，所述接头件靠近内壳体的一侧具有若干个凸出的第二平面部，若干个所述第二平面部形成的形状与所述内壳体形状相匹配，所述内板体端部与所述第二平面部固定。
8、所述接头件具有第一安装环筋与第二安装环筋，所述第一安装环筋与所述第二安装环筋均位所述第二平面部所围接的范围内，所述第二安装环筋位于所述第一安装环筋所围接的范围内，所述第一安装槽位于所述第一安装环筋与所述第二安装环筋之间，所述支撑头的至少部分位于所述第二安装环筋所围接的范围内。
9、若干个所述外板体围接呈第一多边形筒体结构；或者若干个所述外板体围接呈第一圆筒形结构；
10、和/或若干个所述内板体围接呈第二多边形筒体结构；或者若干个所述内板体围接呈第二圆筒形结构；
11、所述电热管组件包括若干个并排设置的第二电热管体，所述第二电热管体两端与所述接头件固定，每个所述第二电热管体均与所述流体通道连通，所述接头件靠近第二电热管体的一侧开设有若干个与流体通道连通的通孔，所述接头件位于通孔靠近第二电热管体的一侧设有第二安装槽，所述第二电热管体两端分别密封安装在所述接头件的第二安装槽内。
12、所述接头件包括第一部件、第二部件，所述第一部件设有第三安装槽，所述第二部件设有环形凸出部，所述环形凸出部密封安装在所述第三安装槽内，所述第一部件设置所述流体通道，所述第二部件设置所述第二安装槽、通孔，所述第二安装槽、通孔位于所述环形凸出部内侧。
13、所述接头件靠近电热管组件的一端外圆周具有若干个呈环形分布的第一平面部，若干个所述第一平面部形成的形状与所述外壳形状相匹配，所述外板体端部与所述第一平面部固定。
14、所述接头件位于第一平面部外侧开设有若干个第二贯穿孔，所述第二贯穿孔轴线沿电热管组件长度方向设置，两个所述接头件的第二贯穿孔之间连接有杆体组件，所述杆体组件能够使两个所述接头件向中间夹紧所述电热管组件。
15、所述电热管组件包括管基体、涂覆或喷涂在管基体外表的纳米电热膜、与纳米电热膜电连接的电极组件；
16、或者位于所述外壳上安装有安装支架；
17、或者所述接头件上一体成型有螺纹连接部或卡接连接部或者法兰连接部；
18、所述外板体为绝缘板；
19、所述外板体两端分别与两个所述接头件焊接固定或者通过螺钉固定。
20、本技术提出的一种加热组件，有益效果在于：本装置的外壳由多个平板状独立设置的外板体围设而成，外壳整体呈多边形结构，外板体两端分别与接头件固定安装，由于外壳的成型方式是通过多个平板状的外板体组成，而外板体不需要采用拉伸成型，因此降低了大体积加热组件中外壳的制造难度及制造成本以及安装难度。
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1.一种加热组件，用于泛半导体设备，其特征在于，包括具有加热通道的电热管组件（10）、位于电热管组件（10）两端的接头件（1）、安装在两个接头件（1）之间的外壳（4），所述接头件（1）具有与加热通道连通的流体通道（2），所述外壳（4）包括若干个外板体（7），若干个所述外板体（7）围接设置，所述外板体（7）两端分别与两个所述接头件（1）固定。
2.根据权利要求1所述的一种加热组件，其特征在于，所述电热管组件（10）包括第一电热管体（101），所述第一电热管体（101）与所述流体通道（2）连通，所述接头件（1）靠近第一电热管体（101）的一侧具有第一安装槽（15），所述第一电热管体（101）两端分别密封安装在两个所述接头件（1）的第一安装槽（15）内。
3.根据权利要求2所述的一种加热组件，其特征在于，位于所述第一电热管体（101）内设有内管体（13），所述内管体（13）外壁与所述第一电热管体（101）内壁之间留设有流体间隙（12），所述内管体（13）两端分别密封安装有支撑头（16），所述接头件（1）位于第一安装槽（15）内圆周设有阶梯部（201），所述支撑头
4.根据权利要求3所述的一种加热组件，其特征在于，所述支撑头（16）包括底座（164），所述底座（164）一端设有插槽部（165），所述内管体（13）端部密封安装在所述插槽部（165）内，所述底座（164）另一端具有若干个环形分布且沿内管体（13）轴线方向设置的筋板（166），相邻所述筋板（166）之间形成所述连通缝（161），所述筋板（166）具有第一台阶部（162）、第二台阶部（163），所述第一台阶部（162）端部抵靠所述阶梯部（201），所述第二台阶部（163）的外侧面（1631）抵靠流体通道（2）的壁部。
5.根据权利要求3或4所述的一种加热组件，其特征在于，位于所述第一电热管体（101）外周侧与外板体（7）内周侧之间设有内壳体（8），所述内壳体（8）包括若干个内板体（9），若干个所述内板体（9）围接设置，所述接头件（1）靠近内壳体（8）的一侧具有若干个凸出的第二平面部（14），若干个所述第二平面部（14）形成的形状与所述内壳体（8）形状相匹配，所述内板体（9）端部与所述第二平面部（14）固定。
6.根据权利要求5所述的一种加热组件，其特征在于，所述接头件具有第一安装环筋（151）与第二安装环筋（152），所述第一安装环筋（151）与所述第二安装环筋（152）均位所述第二平面部（14）所围接的范围内，所述第二安装环筋（152）位于所述第一安装环筋（151）所围接的范围内，所述第一安装槽（15）位于所述第一安装环筋（151）与所述第二安装环筋（152）之间，所述支撑头（16）的至少部分位于所述第二安装环筋（152）所围接的范围内。
7.根据权利要求5所述的一种加热组件，其特征在于，若干个所述外板体（7）围接呈第一多边形筒体结构；或者若干个所述外板体（7）围接呈第一圆筒形结构；
8.根据权利要求1所述的一种加热组件，其特征在于，所述电热管组件（10）包括若干个并排设置的第二电热管体（102），所述第二电热管体（102）两端与所述接头件（1）固定，每个所述第二电热管体（102）均与所述流体通道（2）连通，所述接头件（1）靠近第二电热管体（102）的一侧开设有若干个与流体通道（2）连通的通孔（22），所述接头件（1）位于通孔（22）靠近第二电热管体（102）的一侧设有第二安装槽（21），所述第二电热管体（102）两端分别密封安装在所述接头件（1）的第二安装槽（21）内。
9.根据权利要求8所述的一种加热组件，其特征在于，所述接头件（1）包括第一部件（19）、第二部件（20），所述第一部件（19）设有第三安装槽（24），所述第二部件（20）设有环形凸出部（23），所述环形凸出部（23）密封安装在所述第三安装槽（24）内，所述第一部件（19）设置所述流体通道（2），所述第二部件（20）设置所述第二安装槽（21）、通孔（22），所述第二安装槽（21）、通孔（22）位于所述环形凸出部（23）内侧。
10.根据权利要求1或2或3或4或6或7或8或9所述的一种加热组件，其特征在于，所述接头件（1）靠近电热管组件（10）的一端外圆周具有若干个呈环形分布的第一平面部（5），若干个所述第一平面部（5）形成的形状与所述外壳（4）形状相匹配，所述外板体（7）端部与所述第一平面部（5）固定。
11.根据权利要求10所述的一种加...
【技术特征摘要】
1.一种加热组件，用于泛半导体设备，其特征在于，包括具有加热通道的电热管组件（10）、位于电热管组件（10）两端的接头件（1）、安装在两个接头件（1）之间的外壳（4），所述接头件（1）具有与加热通道连通的流体通道（2），所述外壳（4）包括若干个外板体（7），若干个所述外板体（7）围接设置，所述外板体（7）两端分别与两个所述接头件（1）固定。
2.根据权利要求1所述的一种加热组件，其特征在于，所述电热管组件（10）包括第一电热管体（101），所述第一电热管体（101）与所述流体通道（2）连通，所述接头件（1）靠近第一电热管体（101）的一侧具有第一安装槽（15），所述第一电热管体（101）两端分别密封安装在两个所述接头件（1）的第一安装槽（15）内。
3.根据权利要求2所述的一种加热组件，其特征在于，位于所述第一电热管体（101）内设有内管体（13），所述内管体（13）外壁与所述第一电热管体（101）内壁之间留设有流体间隙（12），所述内管体（13）两端分别密封安装有支撑头（16），所述接头件（1）位于第一安装槽（15）内圆周设有阶梯部（201），所述支撑头（16）部分抵靠所述阶梯部（201），所述支撑头（16）设有连通缝（161），所述流体通道（2）通过所述连通缝（161）与所述流体间隙（12）连通。
4.根据权利要求3所述的一种加热组件，其特征在于，所述支撑头（16）包括底座（164），所述底座（164）一端设有插槽部（165），所述内管体（13）端部密封安装在所述插槽部（165）内，所述底座（164）另一端具有若干个环形分布且沿内管体（13）轴线方向设置的筋板（166），相邻所述筋板（166）之间形成所述连通缝（161），所述筋板（166）具有第一台阶部（162）、第二台阶部（163），所述第一台阶部（162）端部抵靠所述阶梯部（201），所述第二台阶部（163）的外侧面（1631）抵靠流体通道（2）的壁部。
5.根据权利要求3或4所述的一种加热组件，其特征在于，位于所述第一电热管体（101）外周侧与外板体（7）内周侧之间设有内壳体（8），所述内壳体（8）包括若干个内板体（9），若干个所述内板体（9）围接设置，所述接头件（1）靠近内壳体（8）的一侧具有若干个凸出的第二平面部（14），若干个所述第二平面部（14）形成的形状与所述内壳体（8）形状相匹配，所述内板体（9）端部与所述第二平面部（14）固定。
6.根据权利要求5所述的一种加热组件，其特征在于，所述接头件具有第一安装环筋（151）与第二安装环筋（152），所述第一安装环筋（151）与所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：范海军，胡如国，郭志英，
申请(专利权)人：芜湖艾尔达科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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