【技术实现步骤摘要】
本公开涉及一种臭氧浓缩器、基板处理装置以及臭氧供给方法。
技术介绍
1、已知一种使通过臭氧发生器产生的臭氧气体吸附于吸附剂、并在脱离时在安装于气体导出路的真空泵的作用下真空脱离的臭氧气体浓缩装置(例如参照专利文献1)。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特许第5427412号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、本公开提供一种能够在供给臭氧气体时执行稳定的流量控制的技术。
3、用于解决问题的方案
4、本公开的一个方式的臭氧浓缩器具有：泵，其设置于供臭氧气体流通的供给流路；流量控制器，其设置于所述泵的下游的所述供给流路；以及压力控制器，其将所述泵与所述流量控制器之间的所述供给流路的压力控制为设定压力。
5、专利技术的效果
6、根据本公开，能够在供给臭氧气体时执行稳定的流量控制。
【技术保护点】
1.一种臭氧浓缩器，具有：
2.根据权利要求1所述的臭氧浓缩器，其中，
3.根据权利要求1或2所述的臭氧浓缩器，其中，
4.根据权利要求1或2所述的臭氧浓缩器，其中，
5.根据权利要求4所述的臭氧浓缩器，其中，
6.一种基板处理装置，具备：
7.一种臭氧供给方法，利用臭氧浓缩器来供给臭氧气体，所述臭氧浓缩器具有：
【技术特征摘要】
1.一种臭氧浓缩器，具有：
2.根据权利要求1所述的臭氧浓缩器，其中，
3.根据权利要求1或2所述的臭氧浓缩器，其中，
4.根据权利要求1或2所述的臭氧浓缩器...
【专利技术属性】
技术研发人员：千田祐辉，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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