【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆处理设备的，特别涉及一种晶圆预对准装置。
技术介绍
1、由于光刻机视野很小，因此在将晶圆传送到光刻机进行曝光之前，必须将晶圆进行预对准处理，使得传送到曝光台上的晶圆的标记在光刻机的视野之内。晶圆预对准装置用于对晶圆进行预对准处理，预对准处理一般是使得晶圆的圆心(圆心)在一定的范围之内，同时晶圆的缺口停留在指定的角度，即包含圆心定位和缺口定向两个主要过程。目前，晶圆预对准装置上仅通过一组传感组件实现晶圆的圆心定位和缺口定向，存在预对准精度低、预对准效率低的缺点。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种晶圆预对准装置,能够利用多组传感组件实现晶圆的圆心定位和缺口定向，具有预对准精度高、预对准效率高的优点。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种晶圆预对准装置，包括：
4、机架；
5、第一支撑件，设于所述机架上，所述第一支撑件与所述机架之间滑移连接，且滑移方向为第一方向；
6、第一驱动组件，用于驱动所述第一支撑件沿所述第一方向移动；
7、第二支撑件，设于所述第一支撑件上，所述第二支撑件与所述第一支撑件之间滑移连接，且所述第二支撑件的滑移方向为第二方向；
8、第二驱动组件，用于驱动所述第二支撑件沿所述第二方向移动；
9、吸附机构，包括吸附盘、支撑座，所述支撑座设在所述第二支撑件上，所述支撑座内设有负压腔，所述吸附盘转动连接在所述支撑座上，所述吸附盘上设有与所述负压
10、第三驱动组件，用于驱动所述吸附盘在所述支撑座上转动；
11、传感系统，包括第一传感组件、第二传感组件、第三传感组件，所述第一传感组件设于所述支撑座上，所述机架上设有适配于所述第一传感组件的第一受光件，所述第一传感组件用于检测与所述第一受光件之间的距离，所述第一传感组件与所述第一受光件之间的连线与所述第一方向平行，所述第二传感组件设于所述支撑座上，所述机架上设有适配于所述第二传感组件的第二受光件，所述第二传感组件与所述第二受光件之间的连线与所述第二方向平行，所述第二传感组件用于检测与所述第二受光件之间的距离，所述第三传感组件设于所述机架上，且位于所述吸附机构的一侧，用于检测晶圆的边缘信息；
12、控制器，被配置基于所述第一传感组件、所述第二传感组件、所述第三传感组件所采集的数据信息，控制所述第一驱动组件、所述第二驱动组件、所述第三驱动组件调整晶圆的位置和朝向。
13、优选地，所述第一方向与所述第二方向互相垂直。
14、优选地，所述第一传感组件与所述支撑座的圆心之间的连线和所述第二传感组件与所述支撑座的圆心之间的连线形成夹角，所述夹角为90°。
15、优选地，所述第一传感组件包括第一发射单元、第一接收单元，所述第一接收单元用于接收所述第一发射单元发射到所述第一受光件后反射的光束。
16、优选地，所述第二传感组件包括第二发射单元、第二接收单元，所述第二接收单元用于接收所述第二发射单元发射到所述第二受光件后反射的光束。
17、优选地，所述第一发射单元为tof传感器。
18、优选地，所述第二发射单元为tof传感器。
19、优选地，所述吸附盘和所述支撑座之间设有密封件。
20、优选地，所述第三驱动组件包括齿轮圈、主动齿轮、第三驱动电机，所述齿轮圈同轴设于所述吸附盘外，所述主动齿轮连接于所述第三驱动电机的输出轴，所述主动齿轮啮合于所述齿轮圈。
21、与现有技术相比，上述技术方案具有以下益技术效果：第三传感组件从整体上检测晶圆的深度信息和/或图像信息，并将识别的信息发送至控制器，控制器计算晶圆在第一方向上需要移动的距离、在第二方向上需要移动的距离，从而利用第一驱动组件和第二驱动组件调整晶圆的圆心位置，以及控制器计算晶圆的缺口需要旋转的角度，从而利用第三驱动组件调整晶圆的缺口的朝向。在计算完成后，控制器控制第一驱动组件、第二驱动组件、第三驱动组件同时工作或分别工作，以实现晶圆的圆心定位和缺口定向。其中，在进行圆心定位的过程中，第一驱动组件和/或第二驱动组件分别控制晶圆在第一方向和/或第二方向上移动，在移动过程中，第一传感组件和/或第二传感组件实时检测调整的距离量，以此提高了预对准的精度和效率。在调整过程中，第三传感组件同步实时检测，以确定晶圆是否按照预设的调整方式进行调整，并且在调整工作完成后，第三传感组件还能对晶圆的圆心位置和缺口朝向进行检测，以确定晶圆的圆心位置和缺口朝向是否达到工艺要求。综上，通过第一传感组件、第二传感组件和第三传感组件的配合，实现晶圆的圆心定位和缺口定向，具有预对准精度高、效率高的优点。
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1.一种晶圆预对准装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向互相垂直。
3.根据权利要求2所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述第一传感组件(801)与所述支撑座(602)的圆心之间的连线和所述第二传感组件(802)与所述支撑座(602)的圆心之间的连线具有夹角A，所述夹角A为90°。
4.根据权利要求1所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述第一传感组件(801)包括第一发射单元、第一接收单元，所述第一接收单元用于接收所述第一发射单元发射到所述第一受光件(104)后反射的光束。
5.根据权利要求1所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述第二传感组件(802)包括第二发射单元、第二接收单元，所述第二接收单元用于接收所述第二发射单元发射到所述第二受光件(105)后反射的光束。
6.根据权利要求4所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述第一发射单元为ToF传感器。
7.根据权利要求5所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述第二发射单元为ToF传感器。
<...【技术特征摘要】
1.一种晶圆预对准装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向互相垂直。
3.根据权利要求2所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述第一传感组件(801)与所述支撑座(602)的圆心之间的连线和所述第二传感组件(802)与所述支撑座(602)的圆心之间的连线具有夹角a，所述夹角a为90°。
4.根据权利要求1所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述第一传感组件(801)包括第一发射单元、第一接收单元，所述第一接收单元用于接收所述第一发射单元发射到所述第一受光件(104)后反射的光束。
5.根据权利要求1所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述第二传感组件(802)包括第二发射单元、第二接收单元，所述第二接收...
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