【技术实现步骤摘要】
本公开实施例涉及废水处理，尤其涉及一种用于废水处理系统的监测装置。
技术介绍
1、研磨废水的处理是半导体生产制造过程中的重要环节。
2、然而，现有废水处理系统在维护过程中容易出现溢流，不仅会污染环境还会造成系统损坏。
3、因此，如何降低废水处理系统在维护过程中出现溢流的概率，成为一个挑战。
技术实现思路
1、本公开实施例提供一种用于废水处理系统的监测装置，可以降低废水处理系统在维护过程中出现溢流的概率。
2、本公开实施例提供一种用于废水处理系统的监测装置，包括第一装置、第二装置和控制装置，其中：
3、所述第一装置，设置于所述废水处理系统的第一位置，配置为发射第一信号，接收由所述第一装置的投射区域内的物体反射回的第二信号，并基于所述第二信号输出第一监测信号；
4、所述第二装置，设置于所述废水处理系统的第二位置，配置为发射第三信号，接收由所述第二装置的投射区域内的物体反射回的第四信号，并基于所述第四信号输出第二监测信号；所述第一装置和所述第二装置在第一方向保持预设距离，且所述第二装置位于所述第一装置下方；
5、所述控制装置，分别与所述第一装置和所述第二装置通信性耦接，配置为响应于所述第一监测信号和/或所述第二监测信号，输出第一控制信号，所述第一控制信号配置为控制是否向所述废水处理系统供应用于废水处理的调节剂。
6、可选地，所述第一位置包括至少一个第一点位，所述第一装置包括至少一个第一传感装置，所述第一传
7、可选地，所述第一位置包括多个第一点位，所述第一装置包括多个第一传感装置；所述多个第一传感装置，分别设置于对应的第一点位，分别配置为发射第一信号，接收由所述第一传感装置的投射区域内的物体反射回的第二信号，并基于所述第二信号输出第一监测信号。
8、可选地，所述多个第一点位位于不同平面；或者，所述多个第一点位位于同一平面。
9、可选地，所述第二位置包括至少一个第二点位，所述第二装置包括至少一个第二传感装置，所述第二传感装置设置于对应的第二点位。
10、可选地，所述第二位置包括多个第二点位，所述第二装置包括多个第二传感装置；所述多个第二传感装置，分别设置于对应的第二点位，分别配置为发射第三信号，接收由所述第二传感装置的投射区域内的物体反射回的第四信号，并基于所述第四信号输出第二监测信号。
11、可选地，所述多个第二点位位于不同平面；或者，所述多个第二点位位于同一平面。
12、可选地，所述监测装置还包括：第三装置，设置于所述废水处理系统的第三位置，所述第三位置包括多个第三点位；所述第三装置包括多个第三传感装置和处理装置；其中：
13、所述多个第三点位位于同一平面；
14、所述多个第三传感装置，分别设置于对应的第三点位，所述多个第三传感装置配置为两两互相通信性耦接，且各所述第三传感装置配置为发射第五信号，以及接收互相通信性耦接的第三传感装置发射的第五信号；
15、所述处理装置，配置为获取各第三传感装置接收到的第五信号，并基于所述各第三传感装置接收到的第五信号以及参考信号，输出第三监测信号。
16、可选地，在所述废水处理系统未进行废水处理任务时，各所述第三传感装置配置为发射第六信号，以及接收互相通信性耦接的第三传感装置发射的第六信号；
17、所述处理装置，配置为获取各第二传感装置接收到的第六信号，以生成所述参考信号。
18、可选地，所述控制装置还配置为响应于所述第三监测信号，输出第二控制信号，所述第二控制信号配置为确定向所述废水处理系统供应所述调节剂的供应模式。
19、可选地，所述监测装置还包括供液装置，与所述控制装置通信性耦接，所述供液装置包括：
20、液体存储装置；
21、液体传输管路，设置于所述液体存储装置与所述废水处理系统之间；
22、阀门，与所述液体传输管路耦接，配置为响应于所述第一控制信号开启或关闭，以及响应于所述第二控制信号调节阀门开度；
23、泵，与所述液体传输管路耦接，配置为响应于所述第一控制信号开启或关闭，以及响应于所述第二控制信号调节转速。
24、可选地，所述供液装置还包括：
25、喷淋装置，与所述液体传输管路耦接，配置为响应于所述第一控制信号开启或关闭，以及响应于所述第二控制信号调节喷淋密度。
26、采用本公开实施例提供的用于废水处理系统的监测装置，包括第一装置、第二装置和控制装置。第一装置设置于废水处理系统的第一位置，可以发射第一信号，接收由第一装置的投射区域内的物体反射回的第二信号，并基于第二信号输出第一监测信号。第二装置设置于废水处理系统的第二位置，可以发射第三信号，接收由第二装置的投射区域内的物体反射回的第四信号，并基于第四信号输出第二监测信号。控制装置分别与第一装置和第二装置通信性耦接，可以响应于第一监测信号和/或第二监测信号，输出第一控制信号。根据第一装置在第一位置输出的第一监测信号和第二装置在第二位置输出的第二监测信号决定是否向所述废水处理系统供应用于废水处理的调节剂，可以有效降低废水处理系统在处理过程中出现溢流的概率。
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1.一种用于废水处理系统的监测装置，其特征在于，所述监测装置包括第一装置、第二装置和控制装置，其中：
2.根据权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述第一位置包括至少一个第一点位，所述第一装置包括至少一个第一传感装置，所述第一传感装置设置于对应的第一点位。
3.根据权利要求2所述的监测装置，其特征在于，所述第一位置包括多个第一点位，所述第一装置包括多个第一传感装置；所述多个第一传感装置，分别设置于对应的第一点位，分别配置为发射第一信号，接收由所述第一传感装置的投射区域内的物体反射回的第二信号，并基于所述第二信号输出第一监测信号。
4.根据权利要求3所述的监测装置，其特征在于，所述多个第一点位位于不同平面；或者，所述多个第一点位位于同一平面。
5.根据权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述第二位置包括至少一个第二点位，所述第二装置包括至少一个第二传感装置，所述第二传感装置设置于对应的第二点位。
6.根据权利要求5所述的监测装置，其特征在于，所述第二位置包括多个第二点位，所述第二装置包括多个第二传感装置；所述多个第二传
7.根据权利要求6所述的监测装置，其特征在于，所述多个第二点位位于不同平面；或者，所述多个第二点位位于同一平面。
8.根据权利要求1所述的监测装置，其特征在于，还包括：第三装置，设置于所述废水处理系统的第三位置，所述第三位置包括多个第三点位；所述第三装置包括多个第三传感装置和处理装置；其中：
9.根据权利要求8所述的监测装置，其特征在于，在所述废水处理系统未进行废水处理任务时，各所述第三传感装置配置为发射第六信号，以及接收互相通信性耦接的第三传感装置发射的第六信号；
10.根据权利要求9所述的监测装置，其特征在于，所述控制装置还配置为响应于所述第三监测信号，输出第二控制信号，所述第二控制信号配置为确定向所述废水处理系统供应所述调节剂的供应模式。
11.根据权利要求10所述的监测装置，其特征在于，还包括供液装置，与所述控制装置通信性耦接，所述供液装置包括：
12.根据权利要求11所述的监测装置，其特征在于，所述供液装置还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种用于废水处理系统的监测装置，其特征在于，所述监测装置包括第一装置、第二装置和控制装置，其中：
2.根据权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述第一位置包括至少一个第一点位，所述第一装置包括至少一个第一传感装置，所述第一传感装置设置于对应的第一点位。
3.根据权利要求2所述的监测装置，其特征在于，所述第一位置包括多个第一点位，所述第一装置包括多个第一传感装置；所述多个第一传感装置，分别设置于对应的第一点位，分别配置为发射第一信号，接收由所述第一传感装置的投射区域内的物体反射回的第二信号，并基于所述第二信号输出第一监测信号。
4.根据权利要求3所述的监测装置，其特征在于，所述多个第一点位位于不同平面；或者，所述多个第一点位位于同一平面。
5.根据权利要求1所述的监测装置，其特征在于，所述第二位置包括至少一个第二点位，所述第二装置包括至少一个第二传感装置，所述第二传感装置设置于对应的第二点位。
6.根据权利要求5所述的监测装置，其特征在于，所述第二位置包括多个第二点位，所述第二装置包括多个第二传感装置；所述多个第二传感装置，分别设置于对应的第二点位，...
【专利技术属性】
技术研发人员：李世龙，龙飞飞，王志瑜，苏立安，
申请(专利权)人：浙江创芯集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：
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