【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空泵制造，具体而言，涉及吹扫模块、真空系统及加工设备。
技术介绍
1、真空泵广泛应用于半导体、微电子、太阳能电池等高科技行业，为行业目前使用的薄膜沉积、掺杂、钝化等加工设备来获取反应所要求的真空度，以获得更高质量和更高纯度的产品。随着产能要求的提高，那么真空反应腔室的容积也越来越大，所消耗的原料就越多，而此类加工设备在完成工艺的同时，所产生的反应物和尾气也越来越多，这些反应物和尾气不能及时处理，轻则导致真空泵卡死，重则腐蚀真空泵，致使真空泵永久性损坏。
2、因此，现有的真空泵的附加价值有待提高。
技术实现思路
1、本申请第一方面提供一种吹扫模块。该吹扫模块包括主管路以及第一支管路。主管路用于与吹扫气源连通。第一支管路包括特气稀释管路和断电保护管路。特气稀释管路和断电保护管路用于并联在主管路与真空泵的尾排管道之间。特气稀释管路在真空泵抽特气时连通主管路与真空泵的尾排管道。断电保护管路在真空泵断电时连通主管路与真空泵的尾排管道。
2、上述的吹扫模块中，当真空泵抽取特殊气体（如具有腐蚀性、毒性或易燃性的气体）时，特气稀释管路连通主管路与真空泵的尾排管道，使吹扫气源的吹扫气体进入尾排管道，稀释排出的特气，降低其浓度，减少危险性的同时，避免真空泵卡死或特气腐蚀真空泵，致使真空泵永久性损坏。
3、此外，在真空泵断电的情况下，断电保护管路连通主管路与真空泵的尾排管道，吹扫气源的吹扫气体进入尾排管道，稀释从真空泵排出的混合气体，防止尾排管道内的气体倒
4、由此，通过并联在主管路与真空泵的尾排管道之间的特气稀释管路和断电保护管路，吹扫模块在不同工作状态下切换对应的吹扫路径，有利于确保真空泵在运行和故障情况下的安全性。
5、一些实施例中，特气稀释管路包括第一流量控制器及第一控制阀，第一流量控制器连接在主管路和第一控制阀之间。
6、一些实施例中，断电保护管路包括第二控制阀，第二控制阀在真空泵断电时打开，以连通主管路与尾排管道，第二控制阀在真空泵通电时关闭，以关断主管路与尾排管道。
7、一些实施例中，第一支管路还包括调速阀，调速阀设置在主管路与特气稀释管路和断电保护管路的连接位置之间。
8、一些实施例中，主管路包括调压阀和压力表，调压阀用于连接在吹扫气源和压力表之间。
9、一些实施例中，吹扫模块还包括第二支管路，第二支管路用于将主管路和真空泵的至少一个部件连接，以对真空泵的至少一个部件进行吹扫，真空泵的至少一个部件包括真空泵的进气口、真空泵的前级泵的轴封腔、真空泵的前级泵的腔室、真空泵的后级泵的轴封腔和真空泵的后级泵的腔室至少其中之一。
10、一些实施例中，第二支管路包括五个子管路，五个子管路分别将主管路与真空泵的进气口、真空泵的前级泵的轴封腔、真空泵的前级泵的腔室、真空泵的后级泵的轴封腔、真空泵的后级泵的腔室连接。
11、一些实施例中，第二支管路还包括多个第三控制阀，每个第三控制阀设置在一个对应的子管路上。
12、一些实施例中，第二支管路还包括第二流量控制器，第二流量控制器设置在主管路与多个第三控制阀之间。
13、本申请第二方面提供一种真空系统。该真空系统包括真空泵以及本申请第一方面提供的吹扫模块。特气稀释管路和断电保护管路并联在主管路与真空泵的尾排管道之间。
14、本申请第三方面提供一种加工设备。该加工设备包括反应腔室以及与反应腔室连接的真空系统，真空系统为本申请第二方面提供的真空系统。
15、上述的真空系统、加工设备至少具有与本申请第一方面的吹扫模块相同的优点，不再赘述。
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1.一种吹扫模块，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的吹扫模块，其特征在于，所述特气稀释管路包括第一流量控制器及第一控制阀，所述第一流量控制器连接在所述主管路和所述第一控制阀之间。
3.如权利要求1所述的吹扫模块，其特征在于，所述断电保护管路包括第二控制阀，所述第二控制阀在所述真空泵断电时打开，以连通所述主管路与所述尾排管道，所述第二控制阀在所述真空泵通电时关闭，以关断所述主管路与所述尾排管道。
4.如权利要求1所述的吹扫模块，其特征在于，所述第一支管路还包括调速阀，所述调速阀设置在所述主管路与所述特气稀释管路和所述断电保护管路的连接位置之间。
5.如权利要求1所述的吹扫模块，其特征在于，所述主管路包括调压阀和压力表，所述调压阀用于连接在所述吹扫气源和所述压力表之间。
6.如权利要求1至5中任意一项所述的吹扫模块，其特征在于，所述吹扫模块还包括第二支管路，所述第二支管路用于将所述主管路和所述真空泵的至少一个部件连接，以对所述真空泵的所述至少一个部件进行吹扫，所述真空泵的所述至少一个部件包括所述真空泵的进气口、所述真
7.如权利要求6所述的吹扫模块，其特征在于，所述第二支管路包括五个子管路，所述五个子管路分别将所述主管路与所述真空泵的进气口、所述真空泵的前级泵的轴封腔、所述真空泵的前级泵的腔室、所述真空泵的后级泵的轴封腔、所述真空泵的后级泵的腔室连接。
8.如权利要求7所述的吹扫模块，其特征在于，所述第二支管路还包括多个第三控制阀，每个所述第三控制阀设置在一个对应的所述子管路上。
9.如权利要求8所述的吹扫模块，其特征在于，所述第二支管路还包括第二流量控制器，所述第二流量控制器设置在所述主管路与所述多个第三控制阀之间。
10.一种真空系统，其特征在于，包括真空泵以及如权利要求1至9中任意一项所述的吹扫模块，所述特气稀释管路和所述断电保护管路并联在所述主管路与所述真空泵的尾排管道之间。
11.一种加工设备，其特征在于，包括反应腔室以及与所述反应腔室连接的真空系统，所述真空系统为如权利要求10所述的真空系统。
...【技术特征摘要】
1.一种吹扫模块，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的吹扫模块，其特征在于，所述特气稀释管路包括第一流量控制器及第一控制阀，所述第一流量控制器连接在所述主管路和所述第一控制阀之间。
3.如权利要求1所述的吹扫模块，其特征在于，所述断电保护管路包括第二控制阀，所述第二控制阀在所述真空泵断电时打开，以连通所述主管路与所述尾排管道，所述第二控制阀在所述真空泵通电时关闭，以关断所述主管路与所述尾排管道。
4.如权利要求1所述的吹扫模块，其特征在于，所述第一支管路还包括调速阀，所述调速阀设置在所述主管路与所述特气稀释管路和所述断电保护管路的连接位置之间。
5.如权利要求1所述的吹扫模块，其特征在于，所述主管路包括调压阀和压力表，所述调压阀用于连接在所述吹扫气源和所述压力表之间。
6.如权利要求1至5中任意一项所述的吹扫模块，其特征在于，所述吹扫模块还包括第二支管路，所述第二支管路用于将所述主管路和所述真空泵的至少一个部件连接，以对所述真空泵的所述至少一个部件进行吹扫，所述真空泵的所述至少一个部件包括所述真空泵的进气口...
【专利技术属性】
技术研发人员：裴志伟，万大明，徐少洪，常文平，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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