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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏,特别是涉及一种太阳能电池及其制作方法、光伏组件。
技术介绍
1、太阳能作为一种清洁、安全、便利的可再生能源,已被广泛利用,如今,perc电池的效率已接近瓶颈,topcon电池技术由于可沿用部分perc产线,设备投资额少,是目前拥有的产能较高的电池新技术。然而,相关技术的topcon电池中仍然存在发射区的复合速率较高的问题,这也影响着topcon电池的效率。
技术实现思路
1、基于此,有必要提供一种效率较高的太阳能电池及其制作方法、光伏组件。
2、本申请实施例第一方面提供一种太阳能电池,包括:
3、衬底,包括沿衬底的厚度方向相对设置的第一表面和第二表面;
4、发射极,设置于第一表面的局部;
5、隧穿氧化层和多晶硅掺杂导电层,层叠设于第二表面;以及
6、第一电极和第二电极,第一电极设于衬底的第一表面一侧,且与发射极对应电连接,第二电极设于衬底的第二表面一侧,且与多晶硅掺杂导电层对应电连接。
7、在其中一个实施例中,第一电极在第一表面上的正投影位于发射极的设置区域内。
8、在其中一个实施例中,第一电极在第一表面上的正投影的外轮廓与发射极的设置区域的外轮廓相匹配;
9、第一电极包括主栅以及连接于主栅上的条状的细栅,细栅的宽度与对应发射极的宽度比为1:25-1:50。
10、在其中一个实施例中,第一表面为受光面;发射极在第一表面上的设置区域的面积与第一表面的面积的比
11、第一表面为背光面;发射极在第一表面上的设置区域的面积与第一表面的面积的比值为:1:3-1:1。
12、在其中一个实施例中,第一表面包括第一区域和第二区域,发射极设于第一区域;
13、第一表面为受光面;沿衬底的厚度方向,第一区域的设置高度相较于第二区域的设置高度至少高1μm;或者
14、第一表面为背光面;沿衬底的厚度方向,第一区域的设置高度相较于第二区域的设置高度至少高2μm。
15、在其中一个实施例中,第一表面包括第一区域和第二区域,发射极设于第一区域;
16、第一表面为受光面,第一区域的表面反射率相较于第二区域的表面反射率至少高1%。
17、在其中一个实施例中,第一表面包括第一区域和第二区域,发射极设于第一区域;
18、第一表面为背光面;第一区域构造为绒面,第二区域构造为抛光面。
19、在其中一个实施例中,第一区域的表面反射率相较于第二区域的表面反射率至少低30%。
20、在其中一个实施例中,第一表面为受光面;发射极满足以下条件中的至少一者:
21、(1)发射极中,表面掺杂浓度为0.1e18cm-3-5e18cm-3;
22、(2)发射极的结深为0.6μm-1.2μm;
23、(3)发射极的方阻大于300ohm/sq。
24、在其中一个实施例中,第二表面包括第三区域和第四区域,第二电极对应第三区域设置;
25、隧穿氧化层和多晶硅掺杂导电层覆盖第三区域。
26、在其中一个实施例中,第一表面为受光面;
27、沿衬底的厚度方向,第三区域的设置高度相较于第四区域的设置高度至少高2μm;或者
28、沿衬底的厚度方向,第三区域的设置高度相较于第四区域的设置高度至多高1μm。
29、在其中一个实施例中,第一表面为受光面;第四区域表面的反射率相较于第三区域表面的反射率至少高3%;或者第四区域表面的反射率相较于第三区域表面的反射率的差值在±3%以内。
30、在其中一个实施例中,隧穿氧化层和多晶硅掺杂导电层整层覆盖第二表面。
31、在其中一个实施例中,第一表面为受光面,且第一表面构造为绒面,第一表面包括第一区域和第二区域,发射极设于第一区域;
32、第一区域的表面反射率大于第二区域的表面反射率。
33、在其中一个实施例中,第一区域的单位面积上的绒面结构的表面积小于第二区域的单位面积上的绒面结构的表面积。
34、在其中一个实施例中,第一表面构造有金字塔状的绒面结构;
35、第一区域上的金字塔状的绒面结构的底角,小于第二区域上的金字塔状的绒面结构的底角;
36、金字塔状的绒面结构的底角为绒面结构的侧棱与底面上的对应边长的夹角。
37、在其中一个实施例中,第一表面为背光面,第二表面构造为绒面,第二表面包括第三区域和第四区域,第二电极对应第三区域设置;
38、第三区域的表面反射率大于第四区域的表面反射率。
39、在其中一个实施例中,第三区域的单位面积上的绒面结构的表面积小于第四区域的单位面积上的绒面结构的表面积。
40、在其中一个实施例中,第二表面构造有金字塔状的绒面结构;
41、第三区域上的金字塔状的绒面结构的底角,小于第四区域上的金字塔状的绒面结构的底角;
42、金字塔状的绒面结构的底角为绒面结构的侧棱与底面上的对应边长的夹角。
43、本申请实施例第二方面提供一种太阳能电池的制作方法,包括:
44、在衬底的第一表面的局部区域形成发射极;
45、在衬底的第二表面依次层叠形成隧穿氧化层和多晶硅掺杂导电层;其中,第二表面与第一表面相对设置;
46、在衬底的第一表面一侧形成第一电极,在衬底的第二表面一侧形成第二电极;其中,第一电极与发射极对应电连接,第二电极与多晶硅掺杂导电层对应电连接。
47、在其中一个实施例中,在衬底的第一表面的局部区域形成发射极的步骤具体包括:
48、至少在衬底的第一表面依次层叠形成掺杂导电材料层和第一掩膜材料层;
49、对第一掩膜材料层进行图案化处理,将第一掩膜材料层对应于第一区域的部分保留,第一区域是第一表面上对应于第一电极的区域;
50、以第一掩膜材料层的保留部分作为掩膜,对掺杂导电材料层进行刻蚀,以将掺杂导电材料层形成发射极。
51、在其中一个实施例中,第一掩膜材料层为第一氧化材料层;在将掺杂导电材料层形成发射极的步骤之后还包括:
52、进行氧化处理,对发射极进行推结,以降低发射极表面的掺杂元素浓度。
53、在其中一个实施例中,进行氧化处理,对发射极进行推结的步骤中:
54、在衬底的侧面、第二表面、以及第二区域形成第一氧化层,在发射极的背离衬底的表面形成第二氧化材料层;
55、其中,侧面邻接于第一表面和第二表面之间,第二区域是第一表面除了第一区域的部分,第二氧化材料层与第一氧化材料层中所含掺杂元素相同。
56、在其中一个实施例中,在衬底的第二表面依次层叠形成隧穿氧化层和多晶硅掺杂导电层的步骤具体包括:
57、去除侧面以及第二表面的第一氧化层;
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1.一种太阳能电池,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一电极在所述第一表面上的正投影位于所述发射极的设置区域内。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一电极在所述第一表面上的正投影的外轮廓与所述发射极的设置区域的外轮廓相匹配;
4.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一表面为受光面;所述发射极在所述第一表面上的设置区域的面积与所述第一表面的面积的比值为:1:3-3:4;或者
5.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一表面包括第一区域和第二区域,所述发射极设于所述第一区域;
6.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一表面包括第一区域和第二区域,所述发射极设于所述第一区域;
7.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一表面包括第一区域和第二区域,所述发射极设于所述第一区域;
8.根据权利要求7所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一区域的表面反射率相较于所述第二区域的表面反射率至少低30%。<
...【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一电极在所述第一表面上的正投影位于所述发射极的设置区域内。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一电极在所述第一表面上的正投影的外轮廓与所述发射极的设置区域的外轮廓相匹配;
4.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一表面为受光面;所述发射极在所述第一表面上的设置区域的面积与所述第一表面的面积的比值为:1:3-3:4;或者
5.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一表面包括第一区域和第二区域,所述发射极设于所述第一区域;
6.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一表面包括第一区域和第二区域,所述发射极设于所述第一区域;
7.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一表面包括第一区域和第二区域,所述发射极设于所述第一区域;
8.根据权利要求7所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一区域的表面反射率相较于所述第二区域的表面反射率至少低30%。
9.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一表面为受光面;所述发射极满足以下条件中的至少一者:
10.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第二表面包括第三区域和第四区域,所述第二电极对应所述第三区域设置;
11.根据权利要求10所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一表面为受光面;
12.根据权利要求10所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一表面为受光面;所述第四区域表面的反射率相较于所述第三区域表面的反射率至少高3%;或者所述第四区域表面的反射率相较于所述第三区域表面的反射率的差值在±3%以内。
13.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述隧穿氧化层和所述多晶硅掺杂导电层整层覆盖所述第二表面。
14.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一表面为受光面,且所述第一表面构造为绒面,所述第一表面包括第一区域和第二区域,所述发射极设于所述第一区域;
15.根据权利要求14所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一区域的单位面积上的绒面结构的表面积小于所述第二区域的单位面积上的绒面结构的表面积。
16.根据权利要求14所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一表面构造有金字塔状的绒面结构;
17.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第一表面为背光面,所述第二表面构造为绒面,所述第二表面包括第三区域和第四区域,所述第二电极对应所述第三区域设置;
18.根据权利要求17所述的太阳能电池,其特征在于,所述第三区域的单位面积上的绒面结构的表面积小于所述第四区域的单位面积上的绒面结构的表面积。
19.根据权利要求17所述的太阳能电池,其特征在于,所述第二表面构造有金字塔状的绒面结构;
20.一种太阳能电池的制作方法,其特征在于,包括:
21.根据权利要求20所述的太阳能电池的制作方法,其特征在于,所述在衬底的第一表面的局部区域形成发射极的步骤具体包括:
22.根据权利要求21所述的太阳能电池的制作方法,其特征在于,所述第一掩膜材料层为第一氧化材料层;在将所述掺杂导电材料层形成所述发射极的步骤之后还包括:
23.根据权利要求22所述的太阳能电池的制作...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈奕峰,王子港,陈达明,
申请(专利权)人:天合光能股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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