【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及阴极膜层制备，尤其涉及一种阴极装置的辅气分段调整装置、系统及方法。
技术介绍
1、目前，磁控溅射技术已经应用在越来越多的领域，阴极是磁控溅射制备膜层的核心设备，而膜层的均匀性是评价膜层质量好坏的一个重要指标。膜层均匀性是多种因素影响的结果，包括泵抽气口的布置，阴极自身磁场的布置，布气系统结构的设计等。
2、阴极溅射需要通入溅射气体和反应气体，而如何将通入的工艺气体均匀的分布在阴极靶材周围，是一个难点。行业内普遍采用主气和辅气两路通道通入靶材周围，且多采用二元布气的方式，即进气口一分二，二分四，四分八……受限靶材宽度和空间限制，一般分到三十二或者六十四个出气口。工艺气体从进气口到每个出气口的管路等长，所以理论上气体是均匀分布的。通常将辅气管路作为调节膜层均匀性的重要手段之一。在磁控溅射领域内，辅气管路一般根据阴极的宽度，可以分为3-11段布气，辅气分段后，不能调整分段的数量。
3、在制备膜层时，有不均匀的地方可以通过调节该段对应的辅气通入量，从而达到调节膜层均匀性的目的。但是，均匀性在一个靶材使用周期内，是不断变化的，尤其在靶材使用中后期，膜层均匀性会变差，多数会在辅气分段的交界处出现不均匀的情况。此时，调节两侧的辅气通入量很难将均匀性调整到目标范围内，因此会导致产品在生产中后期均匀性变差，膜层均匀性调节困难，良品率变低。出现这种情况时，一般会多次破空调节磁场的方法来调节膜层均匀性，这种方法费时费力，增加生产成本。
技术实现思路
1、针对现有技术
2、阀岛装置，所述阀岛装置的进气口输入工艺气体，所述阀岛装置的各出气口通过若干条连接管路对应连接主气管路的进气口和辅气管路的进气口；
3、所述辅气管路的进气口和自身的多个出气口之间通过多级二分辅气支管连通，每个第一级的所述二分辅气支管的进气口设有第一分段阀门，每个第一级的所述二分辅气支管的每个出气口设有第二分段阀门；
4、多个第一连通管道，用于将各个第一级的所述二分辅气支管之间相邻的出气口连通，并且每个所述第一连通管道的两端均设有所述第二分段阀门；
5、多个第二连通管道，用于将每个所述连通管道和相邻的第一级的所述二分辅气支管的进气口相连，并且每个第二连通管道上设有第一分段阀门；
6、通过控制各所述第一分段阀门和所述第二分段阀门的通断，以将所述辅气管路的各个出气口进行分组，完成调整所述辅气管路的分段。
7、优选的，所述主气管路的进气口和自身的多个出气口之间通过多级二分主气支管连通，所述主气管路的出气口的数量和所述辅气管路的出气口的数量相等并且位置对应。
8、优选的，所述辅气管路的进气口到自身的各个出气口之间由多级二分辅气支管形成多条通气通道，每条所述通气通道的长度相等。
9、优选的，所述阀岛装置连通辅气管路的进气口的各条所述连接管路上设有流量计。
10、优选的，所述阴极装置包括：
11、腔体，所述腔体内放置有靶材，所述靶材的两侧均设有所述主气管路和所述辅气管路，所述腔体的顶部盖设有盖板；
12、所述阀岛装置和各所述连接管路设在所述盖板的大气侧，各所述连接管路连接所述腔体内的所述主气管路和所述辅气管路。
13、优选的，所述盖板和所述腔体的连接处设有密封圈，使得所述腔体成为密封环境。
14、优选的，所述盖板的真空侧还设有固定板，所述固定板围绕在所述靶材的两侧，所述主气管路和所述辅气管路固定在所述固定板上。
15、本专利技术还提供一种阴极装置的辅气分段调整系统，包含上述的辅气分段调整装置，包括：
16、存储模块，用于存储在制备靶材膜层的各个生产阶段中，所述辅气分段调整装置的各第一分段阀门和各第二分段阀门的预设开闭状态；
17、分段调整模块，连接各所述第一分段阀门和各所述第二分段阀门，用于在制备靶材的膜层的生产过程中，将各所述第一分段阀门和各所述第二分段阀门的实时开闭状态调整为当前的生产阶段对应的各所述第一分段阀门和各所述第二分段阀门的预设开闭状态，完成对所述辅气管路的各个出气口进行分组，以完成调整所述辅气管路的分段。
18、本专利技术还提供一种阴极装置的辅气分段调整方法，应用于上述的辅气分段调整系统，包括：
19、步骤s1，所述辅气分段调整系统在制备靶材膜层的生产过程中实时获取当前的生产阶段；
20、步骤s2，所述辅气分段调整系统将各所述第一分段阀门和各所述第二分段阀门的实时开闭状态调整为当前的生产阶段对应的各所述第一分段阀门和各所述第二分段阀门的预设开闭状态，完成对所述辅气管路的各个出气口进行分组，以完成调整所述辅气管路的分段。
21、上述技术方案具有如下优点或有益效果：通过在辅气管路中设置第一连通管道和第二连通管道以及第一分段阀门和第二分段阀门，可以灵活的改变辅气管路中的分段数量和位置，可以快速调节辅气影响区域，方便快捷调节膜层的均匀性，省时省力，提高生产效率。
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1.一种阴极装置的辅气分段调整装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的辅气分段调整装置，其特征在于，所述主气管路的进气口和自身的多个出气口之间通过多级二分主气支管连通，所述主气管路的出气口的数量和所述辅气管路的出气口的数量相等并且位置对应。
3.根据权利要求1所述的辅气分段调整装置，其特征在于，所述辅气管路的进气口到自身的各个出气口之间由多级二分辅气支管形成多条通气通道，每条所述通气通道的长度相等。
4.根据权利要求1所述的辅气分段调整装置，其特征在于，所述阀岛装置连通辅气管路的进气口的各条所述连接管路上设有流量计。
5.根据权利要求1所述的辅气分段调整装置，其特征在于，所述阴极装置包括：
6.根据权利要求5所述的辅气分段调整装置，其特征在于，所述盖板和所述腔体的连接处设有密封圈，使得所述腔体成为密封环境。
7.根据权利要求5所述的辅气分段调整装置，其特征在于，所述盖板的真空侧还设有固定板，所述固定板围绕在所述靶材的两侧，所述主气管路和所述辅气管路固定在所述固定板上。
8.一种阴极装置的
9.一种阴极装置的辅气分段调整方法，其特征在于，应用于如权利要求8中所述的辅气分段调整系统，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种阴极装置的辅气分段调整装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的辅气分段调整装置，其特征在于，所述主气管路的进气口和自身的多个出气口之间通过多级二分主气支管连通，所述主气管路的出气口的数量和所述辅气管路的出气口的数量相等并且位置对应。
3.根据权利要求1所述的辅气分段调整装置，其特征在于，所述辅气管路的进气口到自身的各个出气口之间由多级二分辅气支管形成多条通气通道，每条所述通气通道的长度相等。
4.根据权利要求1所述的辅气分段调整装置，其特征在于，所述阀岛装置连通辅气管路的进气口的各条所述连接管路上设有流量计。
5.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：井治，王贝，葛治亮，王程，张超群，张康，
申请(专利权)人：中国建材国际工程集团有限公司，
类型：发明
国别省市：
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