【技术实现步骤摘要】
本申请涉及途程设备，尤其涉及一种途程设备的管理方法、一种电子设备和一种途程设备的管理装置。
技术介绍
1、芯片制造是一个高度复杂的过程，涉及数千道工艺制程。随着技术的发展，芯片制造正面临着算力从通用向专用演化的趋势，体系结构的创新也在发生变革。随着ai和大模型的兴起，芯片算力、能效、存储和集成度等提出了新的挑战。这些挑战刺激了半导体从材料、设计、制造到封装技术本身的发展。因此，芯片制造工厂需要不断更新其生产调度方法，以适应这些新的趋势和挑战。
2、目前，现有芯片制造工厂中，仅基于机台空闲状态分配制造加工任务，也就是说，在芯片制造过程中，有多个不同的工艺步骤，包括光刻、刻蚀、化学气相沉积(cvd)、物理气相沉积(pvd)等。每个步骤都需要特定的机台来完成。工厂管理系统会实时监控这些机台的状态，识别出哪些机台当前是空闲，一旦识别出空闲机台，生产调度系统会根据机台的能力(如能够处理的芯片尺寸、工艺能力等)和即将到来的任务需求(如所需工艺步骤、紧急程度、订单大小等)来分配任务。这种分配方式可以快速响应生产需求，减少机台的空闲时间，提高整体的生产效率。
3、而此种方式仅根据空闲状态分配任务可能导致忽视机台性能的差异。高性能机台和低性能机台在处理能力、精度和稳定性上存在差异，单纯依据空闲状态分配任务可能不会充分利用高性能机台的优势，同时可能过度使用低性能机台，影响整体生产效率，并且对不同的机台采用统一时间定期的管理方式，也未能进行差异化管理，即未针对不同的机台进行针对性的管理和维护等操作。
1、本申请旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本申请的第一个目的在于提出一种途程设备的管理方法，获取虚拟量测数据、统计过程控制数据和故障检测收集数据，基于虚拟量测数据、统计过程控制数据和故障检测收集数据确定途程设备的性能，基于途程设备的性能进行等级划分，以根据划分后的结果进行途程设备的差异化管理，由此，能够提高生产效率和产品质量，且易于对途程设备进行管理。
2、本申请的第二个目的在于提出一种电子设备。
3、本申请的第三个目的在于提出一种途程设备的管理装置。
4、为达到上述目的，本申请第一方面实施例提出了一种途程设备的管理方法，所述方法包括：获取虚拟量测数据、统计过程控制数据和故障检测收集数据；基于所述虚拟量测数据、所述统计过程控制数据和所述故障检测收集数据确定所述途程设备的性能；基于所述途程设备的性能进行等级划分，以根据划分后的结果进行途程设备的差异化管理。
5、根据本申请实施例的途程设备的管理方法，获取虚拟量测数据、统计过程控制数据和故障检测收集数据，基于虚拟量测数据、统计过程控制数据和故障检测收集数据确定途程设备的性能，基于途程设备的性能进行等级划分，以根据划分后的结果进行途程设备的差异化管理。由此，该方法能够提高生产效率和产品质量，且易于对途程设备进行管理。
6、另外，根据本申请上述实施例的途程设备的管理方法还可以具有如下的附加技术特征：
7、根据本申请的一个实施例，所述基于所述虚拟量测数据、所述统计过程控制数据和所述故障检测收集数据确定所述途程设备的性能，包括：将所述所述虚拟量测数据、所述统计过程控制数据和所述故障检测收集数据输入至预设的ai模型中，以得到途程设备的关键指标，其中，所述关键指标包括良率和故障率；基于所述关键指标确定所述途程设备的性能。
8、根据本申请的一个实施例，所述方法还包括：获取历史芯片良率数据和未来芯片良率数据；基于所述历史芯片良率数据、所述未来芯片良率数据、所述虚拟量测数据、所述统计过程控制数据和所述故障检测收集数据确定所述途程设备的性能。
9、根据本申请的一个实施例，所述基于所述历史芯片良率数据、所述未来芯片良率数据、所述虚拟量测数据、所述统计过程控制数据和所述故障检测收集数据确定所述途程设备的性能，包括：将所述历史芯片良率数据、所述未来芯片良率数据、所述虚拟量测数据、所述统计过程控制数据和所述故障检测收集数据至预设的ai模型中，以得到途程设备的关键指标，其中，所述关键指标包括良率和故障率；基于所述关键指标确定所述途程设备的性能。
10、根据本申请的一个实施例，所述基于所述途程设备的性能进行等级划分，包括：确定多个途程设备中的良率大于第一预设良率且故障率小于第一预设故障率的途程设备为最高性能等级；确定多个所述途程设备中的良率大于第二预设良率且小于所述第一预设良率以及故障率低于第二预设故障率且高于所述第一预设故障率的途程设备为中间性能等级；其中，所述第一预设良率大于所述第二预设良率，所述第一预设故障率小于所述第二预设故障率；确定多个所述途程设备中的良率小于所述第二预设良率以及故障率大于所述第三预设故障率的途程设备为最低性能等级；其中，所述第三预设故障率大于所述第二预设故障率。
11、根据本申请的一个实施例，所述根据划分后的结果进行途程设备的差异化管理，包括：根据所述途程设备不同的性能等级，控制所述途程设备生产不同规格的芯片，其中，所述性能等级与所述芯片的尺寸呈正相关关系。
12、根据本申请的一个实施例，所述所述根据划分后的结果进行途程设备的差异化管理，包括：在所述途程设备为最高性能等级的情况下，延长所述途程设备的维护时间间隔；在所述途程设备为最低性能等级的情况下，缩短所述途程设备的维护时间间隔。
13、根据本申请的一个实施例，在所述途程设备为最高性能等级的情况下，所述方法还包括：控制所述途程设备生产良率低于预设良率阈值的芯片。
14、为达到上述目的，本申请第二方面实施例提出的一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的程序，所述处理器执行所述程序时，实现上述的途程设备的管理方法。
15、根据本申请实施例的电子设备，通过执行上述的途程设备的管理方法，能够提高生产效率和产品质量，且易于对途程设备进行管理。
16、为达到上述目的，本申请第三方面实施例提出了一种途程设备的管理装置，所述装置包括：获取模块，用于获取虚拟量测数据、统计过程控制数据和故障检测收集数据；确定模块，用于基于所述虚拟量测数据、所述统计过程控制数据和所述故障检测收集数据确定所述途程设备的性能；管理模块，用于基于所述途程设备的性能进行等级划分，以根据划分后的结果进行途程设备的差异化管理。
17、根据本申请实施例的途程设备的管理装置，获取模块用于获取虚拟量测数据、统计过程控制数据和故障检测收集数据，确定模块用于基于所述虚拟量测数据、所述统计过程控制数据和所述故障检测收集数据确定所述途程设备的性能，管理模块用于基于所述途程设备的性能进行等级划分，以根据划分后的结果进行途程设备的差异化管理。由此，该装置能够提高生产效率和产品质量，且易于对途程设备进行管理。
18、本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。...
【技术保护点】
1.一种途程设备的管理方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的途程设备的管理方法，其特征在于，所述基于所述虚拟量测数据、所述统计过程控制数据和所述故障检测收集数据确定所述途程设备的性能，包括：
3.根据权利要求1所述的途程设备的管理方法，其特征在于，所述方法还包括：
4.根据权利要求3所述的途程设备的管理方法，其特征在于，所述基于所述历史芯片良率数据、所述未来芯片良率数据、所述虚拟量测数据、所述统计过程控制数据和所述故障检测收集数据确定所述途程设备的性能，包括：
5.根据权利要求1所述的途程设备的管理方法，其特征在于，所述基于所述途程设备的性能进行等级划分，包括：
6.根据权利要求5所述的途程设备的管理方法，其特征在于，所述根据划分后的结果进行途程设备的差异化管理，包括：
7.根据权利要求6所述的途程设备的管理方法，其特征在于，所述所述根据划分后的结果进行途程设备的差异化管理，包括：
8.根据权利要求7所述的途程设备的管理方法，其特征在于，在所述途程设备为最高性能等级的情况下，所
9.一种电子设备，其特征在于，包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的程序，所述处理器执行所述程序时，实现根据权利要求1-8任一项所述的途程设备的管理方法。
10.一种途程设备的管理装置，其特征在于，所述装置包括：
...【技术特征摘要】
1.一种途程设备的管理方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的途程设备的管理方法，其特征在于，所述基于所述虚拟量测数据、所述统计过程控制数据和所述故障检测收集数据确定所述途程设备的性能，包括：
3.根据权利要求1所述的途程设备的管理方法，其特征在于，所述方法还包括：
4.根据权利要求3所述的途程设备的管理方法，其特征在于，所述基于所述历史芯片良率数据、所述未来芯片良率数据、所述虚拟量测数据、所述统计过程控制数据和所述故障检测收集数据确定所述途程设备的性能，包括：
5.根据权利要求1所述的途程设备的管理方法，其特征在于，所述基于所述途程设备的性能进行等级划分，包括：...
【专利技术属性】
技术研发人员：周友华，张顺德，吴华强，
申请(专利权)人：上海清华国际创新中心，
类型：发明
国别省市：
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