【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，特别涉及一种包装袋检测装置及检测方法。
技术介绍
1、包装袋是半导体领域中常用的包装件。对于一些包装场景，例如对于晶圆盒的包装袋，其内部的洁净度有较高要求，例如对颗粒度以及阴阳离子的含量具有较高要求。若包装袋内部的洁净度不符合要求，则容易污染晶圆盒。因此通常需要对包装袋进行洁净度检测，例如对颗粒度检测或离子检测。
2、现有的包装袋颗粒测量流程通常是通过操作人员将去离子水手动倒入包装袋；然后操作人员手动对包装袋进行封口，且操作人员手动对包装袋进行摇晃使得颗粒/阴阳离子能够和去离子水形成悬浊液，匀化后操作人员拆开包装袋将悬浊液手动倒入取样瓶中，最后操作人员使用液体颗粒检测仪或icp-ms对取样瓶中的悬浊液进行检测。
3、上述测试流程中，在测试过程中全手动操作可能会对包装袋造成二次污染，此外该测试流程中还可能用到包装机，为包装袋的污染带来的额外因素，导致测量结果准确性不佳。
4、基于此，需要一种包装袋检测装置及检测方法，以改善上述技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种包装袋检测装置及检测方法，该检测装置设置可实现对包装袋洁净度的自动检测的功能以及无污染的提取包装袋检测液体的功能，以保证较高的检测准确度。
2、所述包装袋检测装置包括：抓取单元、注液单元、取样单元以及检测单元；
3、所述抓取单元用于抓取包装袋，并打开或闭合所述包装袋的袋口；
4、所述注液单元用于在所述包装袋袋口被打开时，
5、所述取样单元用于提取所述包装袋内的检测液体并将检测液体输送至所述检测单元；
6、所述检测单元用于检测接收到的所述检测液体。
7、可选地，所述包装袋检测装置还包括振荡单元；
8、所述振荡单元用于对注入检测液体的包装袋进行振荡。
9、可选地，包括容积调整单元；
10、所述容积调整单元用于对所述包装袋的至少一侧施加压力，以调整所述包装袋的容积。
11、可选地，所述包装袋检测装置还包括吸附单元；
12、所述吸附单元用于吸附所述包装袋，并使得所述包装袋的开口端呈自由非接触态，以供所述抓取单元抓取所述包装袋的开口端。
13、可选地，所述抓取单元包括第一抓取件和第二抓取件；
14、所述第一抓取件具有第一夹持端，所述第二抓取件具有第二夹持端，所述第一抓取件和所述第二抓取件中至少一者可运动的设置，以使得所述第一夹持端和所述第二夹持端相互靠近或相互远离，所述第一夹持端和所述第二夹持端上设置有吸附结构以吸附所述包装袋外表面。
15、可选地，所述包装袋检测装置还包括排空单元；
16、所述排空单元用于吸出所述包装袋内的所述检测液体使包装袋排空。
17、可选地，所述包装袋检测装置还包括壳体，所述壳体具有内腔，所述内腔包括进料区域、出料区域以及检测区域，所述注液单元和所述取样单元设置于所述检测区域；
18、所述抓取单元运动的设置于所述壳体的内腔，且所述抓取单元运动时可经过所述进料区域、所述出料区域以及所述检测区域。
19、可选地，所述进料区域、出料区域以及检测区域中，相邻区域之间设置有隔离件；
20、和/或，所述进料区域、所述出料区域以及所述检测区域沿第一方向排列设置；所述检测区域位于所述进料区域和所述出料区域之间；
21、和/或，所述包装袋检测装置包括吸附单元时；
22、所述吸附单元包括第一吸附件和第二吸附件，所述第一吸附件设置于所述进料区域，所述第二吸附件设置于所述出料区域。
23、本专利技术还提供了一种检测方法，包括以下步骤：
24、s1：在一工作环境内通过抓取单元抓取包装袋，并打开包装袋的开口；
25、s2：向所述包装袋内注入检测液体；
26、s3：对所述包装袋内的检测液体取样并将检测液体输送至所述检测单元，通过所述检测单元检测接收到的所述检测液体。
27、可选地，所述步骤s1之前还包括以下步骤：
28、s0：通过吸附单元吸附包装袋，并使得包装袋的开口侧呈自由状态以供抓取单元抓取；
29、和/或，所述步骤s2和步骤s3之间还包括以下步骤：
30、s2-1：通过抓取单元闭合所述包装袋的袋口，并对包装袋进行振荡后通过抓取单元打开所述包装袋的袋口；
31、和/或，所述步骤s3之后还包括以下步骤：
32、s3-1：吸出所述包装袋的检测液体使包装袋排空，将包装袋转移至工作环境外。
33、本专利技术中的包装袋检测装置，通过抓取单元可实现包装袋的自动抓取，并实现包装袋的袋口的打开或者闭合，在整个检测过程中，无需人工辅助转移、打开或闭合包装袋，有助于减少由于人工参与对包装袋造成的污染，此外也可避免对包装袋检测的过程中使用包装机进行封口带来污染的可能。通过注液单元和取样单元对包装袋内进行注液和取样，并将检测液体输送至检测单元进行检测，则检测过程中也无需人工辅助，有助于减少由于人工参与对包装袋检测过程的污染。该装置可实现包装袋自动检测的功能以及无污染操作包装袋、无污染的提取包装袋内检测液体的功能，整体上隔绝了包装袋检测过程中的外部污染源，有助于提高检测准确性。
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1.一种包装袋检测装置，其特征在于，包括：抓取单元、注液单元、取样单元以及检测单元；
2.如权利要求1所述的包装袋检测装置，其特征在于，所述包装袋检测装置还包括振荡单元；
3.如权利要求1所述的包装袋检测装置，其特征在于，所述包装袋检测装置还包括容积调整单元；
4.如权利要求1所述的包装袋检测装置，其特征在于，所述包装袋检测装置还包括吸附单元；
5.如权利要求1所述的包装袋检测装置，其特征在于，所述抓取单元包括第一抓取件和第二抓取件；
6.如权利要求1所述的包装袋检测装置，其特征在于，所述包装袋检测装置还包括排空单元；
7.如权利要求1至6中任意一项所述的包装袋检测装置，其特征在于，所述包装袋检测装置还包括壳体，所述壳体具有内腔，所述内腔包括进料区域、出料区域以及检测区域，所述注液单元和所述取样单元设置于所述检测区域；
8.如权利要求7所述的包装袋检测装置，其特征在于，所述进料区域、出料区域以及检测区域中，相邻区域之间设置有隔离件；
9.一种检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种包装袋检测装置，其特征在于，包括：抓取单元、注液单元、取样单元以及检测单元；
2.如权利要求1所述的包装袋检测装置，其特征在于，所述包装袋检测装置还包括振荡单元；
3.如权利要求1所述的包装袋检测装置，其特征在于，所述包装袋检测装置还包括容积调整单元；
4.如权利要求1所述的包装袋检测装置，其特征在于，所述包装袋检测装置还包括吸附单元；
5.如权利要求1所述的包装袋检测装置，其特征在于，所述抓取单元包括第一抓取件和第二抓取件；
6.如权利要求1所述的包装袋检测装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：季文明，谷凯盛，朱远方，周嬅，高云，张轲，
申请(专利权)人：上海新昇半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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