【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显微镜领域，特别是涉及一种深紫外显微镜物镜以及显微镜。
技术介绍
1、随着半导体制程的提高，半导体芯片的晶体管密度越来越高，其对检测系统分辨率的要求也越来越高。根据光学分辨率极限瑞利判据：r＝0.61λ/na可以知道，提高光学系统分辨率，需要缩短波长或者增大数值孔径，而在半导体检测领域，数值孔径的增大有其局限性，浸没式物镜更是几乎没有可用空间，所以缩短波长成了最优选择。目前，深紫外波段在光学检测系统中的应用越来越广泛，但是国内市场上成熟的深紫外物镜较少，少数可选的物镜也无法满足所有的使用需求。
技术实现思路
1、本专利技术的一个目的是提供一种深紫外显微镜物镜，提高在特定紫外波长范围内的分辨率。
2、本专利技术一个进一步的目的是提高深紫外显微镜物镜的物方视场和工作距离，进而提升显微镜的整体性能。
3、特别地，本专利技术提供了一种深紫外显微镜物镜，包括：依次从物方至像方同光轴设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜以及第八透镜；第一透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面；第二透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面；第三透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面；第四透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面；第五透镜面向物方为凸面，面向像方为凹面；第六透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面；第七透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面；第八透镜面向物方为凸面，面向像方为凹面。
4、可选地，第一透镜、第二透镜、第三透镜、第五透镜、第七透镜
5、可选地，第一透镜、第三透镜、第五透镜、第七透镜均为氟化钙材质；第二透镜、第四透镜、第六透镜、第八透镜均为熔融石英材质。
6、可选地，第一透镜朝向物方的面为第一镜面，第一透镜朝向像方的面为第二镜面；第二透镜朝向物方的面为第三镜面，第二透镜朝向像方的面为第四镜面；第三透镜朝向物方的面为第五镜面，第三透镜朝向像方的面为第六镜面；第四透镜朝向物方的面为第七镜面，第四透镜朝向像方的面为第八镜面；第五透镜朝向物方的面为第九镜面，第五透镜朝向像方的面为第十镜面；第六透镜朝向物方的面为第十一镜面，第六透镜朝向像方的面为第十二镜面；第七透镜朝向物方的面为第十三镜面，第七透镜朝向像方的面为第十四镜面；第八透镜朝向物方的面为第十五镜面，第八透镜朝向像方的面为第十六镜面，第一镜面、第二镜面、第三镜面、第四镜面、第五镜面、第六镜面、第八镜面、第十镜面、第十一镜面、第十二镜面、第十三镜面、第十四镜面的曲率半径均为负数；第七镜面、第九镜面、第十五镜面、第十六镜面的曲率半径均为正数。
7、可选地，第一镜面的曲率半径为-14.6至-14.58mm；第二镜面的曲率半径为-9.96至-9.94mm；第三镜面的曲率半径为-28.89至-28.87mm；第四镜面的曲率半径为-15.49至-15.47mm；第五镜面的曲率半径为-117.24至-117.22mm；第六镜面的曲率半径为-24.99至-24.97mm；第七镜面的曲率半径为79.12至79.14mm；第八镜面的曲率半径为-53.23至-53.21mm；第九镜面的曲率半径为26.71至26.73mm；第十镜面的曲率半径为-676.94至-676.92mm；第十一镜面的曲率半径为-10.72至-10.7mm；第十二镜面的曲率半径为-200.48至-200.46mm；第十三镜面的曲率半径为-9.93至-9.91mm；第十四镜面的曲率半径为-12.7至-12.68mm；第十五镜面的曲率半径为84.1至84.12mm；第十六镜面的曲率半径为13.94至13.96mm。
8、可选地，第一镜面的通光孔径为5.94mm；第二镜面的通光孔径为6.39mm；第三镜面的通光孔径为6.94mm；第四镜面的通光孔径为7.41mm；第五镜面的通光孔径为7.8mm；第六镜面的通光孔径为8.05mm；第七镜面的通光孔径为8.24mm；第八镜面的通光孔径为8.26mm；第九镜面的通光孔径为8.04mm；第十镜面的通光孔径为6.78mm；第十一镜面的通光孔径为3.25mm；第十二镜面的通光孔径为3.22mm；第十三镜面的通光孔径为3.2mm；第十四镜面的通光孔径为4.27mm；第十五镜面的通光孔径为3.62mm；第十六镜面的通光孔径为3.45mm。
9、可选地，第一镜面与第二镜面之间的镜面距离为1.99至2.01mm；第二镜面与第三镜面之间的镜面距离为0.09至0.11mm；第三镜面与第四镜面之间的镜面距离为2.49至2.51mm；第四镜面与第五镜面之间的镜面距离为0.09至0.11mm；第五镜面与第六镜面之间的镜面距离为2.49至2.51mm；第六镜面与第七镜面之间的镜面距离为0.09至0.11mm；第七镜面与第八镜面之间的镜面距离为1.98至2mm；第八镜面与第九镜面之间的镜面距离为4.71至4.73mm；第九镜面与第十镜面之间的镜面距离为11.68至11.7mm；第十镜面与第十一镜面之间的镜面距离为19.65至19.67mm；第十一镜面与第十二镜面之间的镜面距离为1.99至2.01mm；第十二镜面与第十三镜面之间的镜面距离为1.19至1.21mm；第十三镜面与第十四镜面之间的镜面距离为11.99至12.01mm；第十四镜面与第十五镜面之间的镜面距离为19.99至20.01mm；第十五镜面与第十六镜面之间的镜面距离为4.43至4.45mm。
10、可选地，深紫外显微镜物镜适用的波长范围为260至262nm，能够搭配使用的管镜焦距为200mm。
11、可选地，第一镜面的边缘或者外部框架作为孔径光阑。
12、根据本专利技术的另一个方面，还提供了一种显微镜，包括上述任一种深紫外显微镜物镜。
13、本专利技术的深紫外显微镜物镜，针对260至262nm波长范围设计，在该波长范围内分辨率的设计值与理论值一致；并且完全实现自主设计，解决了现有50倍物镜无法满足光学检测中很多使用需求的问题。
14、进一步地，本专利技术的深紫外显微镜物镜，通过对各个透镜的具体参数和结构进行设置，使得深紫外显微镜物镜的放大倍率为50倍，物方视场为0.6mm，拥有高于常规商用50倍显微物镜的视场，能够搭配使用200mm焦距的管镜，工作距离为13mm，大于常规物镜，相应的数值孔径较大，为0.528，能够提高深紫外显微镜物镜的物方视场和工作距离，进而提升显微镜的整体性能。
15、根据下文结合附图对本专利技术具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本专利技术的上述以及其他目的、优点和特征。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种深紫外显微镜物镜，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的深紫外显微镜物镜，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的深紫外显微镜物镜，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的深紫外显微镜物镜，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的深紫外显微镜物镜，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的深紫外显微镜物镜，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的深紫外显微镜物镜，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的深紫外显微镜物镜，其特征在于，
9.根据权利要求4所述的深紫外显微镜物镜，其特征在于，
10.一种显微镜，包括根据权利要求1至9任一项所述的深紫外显微镜物镜。
【技术特征摘要】
1.一种深紫外显微镜物镜，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的深紫外显微镜物镜，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的深紫外显微镜物镜，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的深紫外显微镜物镜，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的深紫外显微镜物镜，其特征在于，
6.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘天胜，李腾飞，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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