【技术实现步骤摘要】
本申请属于硅片生产，尤其是涉及一种水平硅片夹持机构及设有该夹持机构的移载设备。
技术介绍
1、现有硅片生产过程中，对硅片组的夹持主要是水平夹爪固定，现有夹持结构都是对硅片的四个转角进行托举，在夹持硅片的同时还可规整硅片。但这种结构只能在同一个水平空间中对硅片组进行夹持、移载，而对于在不同空间内的硅片组，如需要将硅片组从竖向方向翻转到水平方向、或者从倾斜方向转向水平方向，对于这类硅片组的夹持，现有结构在夹持硅片组的移运过程中，夹持硅片组的稳定性不高且安全性差，就会发生掉落或晃动的现象。
技术实现思路
1、本申请提供一种水平硅片夹持机构及拆包方法，解决了现有夹持机构对硅片组在不同空间内转移的夹持时，稳定性和安全性不高，容易发生掉落或晃动的技术问题。
2、为解决至少一个上述技术问题，本申请采用的技术方案是：
3、一种水平硅片夹持机构，包括：
4、对位平指，其包括若干单夹指；
5、对位夹指，其包括若干双夹指；
6、所述单夹指和所述双夹指均连接在固定板上；
7、夹持时，所述单夹指与硅片组的侧立面接触，所述双夹指与硅片组的上下平面接触。
8、进一步的，所述对位平指和所述对位夹指被配置在所述固定板的异侧对位面上；在所述固定板上，设有至少一组对位设置的所述双夹指以及所述单夹指。
9、进一步的，在所述固定板上还配设有用于控制同一组对位设置的所述双夹指移动的气缸，所述气缸可带动同组所述双夹指沿硅片组宽度/长
10、进一步的，在所述气缸的两端，还设有用于连接所述双夹指的条形板，所述条形板被构造为l型结构；
11、所述条形板中的长段端与所述气缸连接，其短段端竖向朝下并与所述双夹指连接。
12、进一步的，在所述固定板上设有用于固定所述单夹指的宽型板，单侧所述单夹指共用同一所述宽型板，且所述宽型板被构造为折板结构。
13、进一步的，在所述宽型板的上下侧面上构造有若干长条孔；其中，
14、与所述固定板连接的所述长条孔均沿所述固定板的厚度方向设置；
15、用于连接所述单夹指的所述长条孔沿垂直于所述固定板侧立面配置。
16、进一步的，所述宽型板中与所述固定板连接的侧面上还设有凹型缺口，其被构造于两侧所述长条孔之间。
17、进一步的，所述单夹指和所述双夹指均被构造为柔性气指，其内设有空腔；
18、在所述气指的外侧面上设有若干间隔设置的凸台，且其指端为弧形面平直结构；
19、在每个所述气指的外侧面均设有气管接头；均通过气压控制，以调整其指端与硅片接触的张力，使指端朝内弯曲或朝外翘曲。
20、进一步的，所述固定板被构造为平板结构，其上设有对位缺槽，所述缺槽被构置在相邻所述双夹指之间；
21、在其中一侧所述缺槽处，通过卡夹悬置于所述固定板下方的测距仪，所述测距仪竖向朝下配置。
22、一种移载设备，配设有如上所述的夹持机构。
23、采用本申请设计的一种水平硅片夹持机构，可快速且精准地对一沓水平硅片进行夹持，并能稳定地夹持硅片在不同空间内进行夹持，且不会脱落；亦可将整沓硅片组水平置放到目标位置处且不会出现错位，整体结构简单、夹持稳固且安全，移载方便，亦可基于不同要求进行落料松开方式。本申请还提出一种配设有该夹持机构的移载设备。
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1.一种水平硅片夹持机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种水平硅片夹持机构，其特征在于，所述对位平指和所述对位夹指被配置在所述固定板的异侧对位面上；在所述固定板上，设有至少一组对位设置的所述双夹指以及所述单夹指。
3.根据权利要求1或2所述的一种水平硅片夹持机构，其特征在于，在所述固定板上还配设有用于控制同一组对位设置的所述双夹指移动的气缸，所述气缸可带动同组所述双夹指沿硅片组宽度/长度方向水平移动。
4.根据权利要求3所述的一种水平硅片夹持机构，其特征在于，在所述气缸的两端，还设有用于连接所述双夹指的条形板，所述条形板被构造为L型结构，其长段端与所述气缸连接，其短段端竖向朝下并与所述双夹指连接。
5.根据权利要求1-2、4任一项所述的一种水平硅片夹持机构，其特征在于，在所述固定板上设有用于固定所述单夹指的宽型板，单侧所述单夹指共用同一所述宽型板，且所述宽型板被构造为折板结构。
6.根据权利要求5所述的一种水平硅片夹持机构，其特征在于，在所述宽型板的上下侧面上构造有若干长条孔；其中，
7.根据
8.根据权利要求1-2、4、6-7任一项所述的一种水平硅片夹持机构，其特征在于，所述单夹指和所述双夹指均被构造为柔性气指，其内设有空腔；在所述气指的外侧面上设有若干间隔设置的凸台，且其指端为弧形面平直结构；
9.根据权利要求8所述的一种水平硅片夹持机构，其特征在于，所述固定板被构造为平板结构，其上设有对位缺槽，所述缺槽被构置在相邻所述双夹指之间；
10.一种移载设备，其特征在于，配设有如1-9任一项所述的夹持机构。
...【技术特征摘要】
1.一种水平硅片夹持机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种水平硅片夹持机构，其特征在于，所述对位平指和所述对位夹指被配置在所述固定板的异侧对位面上；在所述固定板上，设有至少一组对位设置的所述双夹指以及所述单夹指。
3.根据权利要求1或2所述的一种水平硅片夹持机构，其特征在于，在所述固定板上还配设有用于控制同一组对位设置的所述双夹指移动的气缸，所述气缸可带动同组所述双夹指沿硅片组宽度/长度方向水平移动。
4.根据权利要求3所述的一种水平硅片夹持机构，其特征在于，在所述气缸的两端，还设有用于连接所述双夹指的条形板，所述条形板被构造为l型结构，其长段端与所述气缸连接，其短段端竖向朝下并与所述双夹指连接。
5.根据权利要求1-2、4任一项所述的一种水平硅片夹持机构，其特征在于，在所述固定板上设有用于固定所述单夹指的宽型板，单侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，杨骅，耿名强，沈皓然，张海龙，王新博，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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