【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池领域，涉及一种用于侧壁钝化镀膜设备的腔体上盖的顶升装置及镀膜设备。
技术介绍
1、太阳能电池是一种将太阳的光能直接转化为电能的半导体器件，环保绿色且可再生，所以在当今能源短缺的情形下，太阳能电池具有广阔的发展前景。在太阳能电池片的生产过程中，镀膜对于提升电池转化效率起着至关重要的作用。常见的有采用圆腔镀膜设备对太阳能电池片进行镀膜。
2、在现有技术中，圆腔体镀膜设备均为翻盖设计，腔体上盖要翻转90度，因为翻盖升降为杠杆原理对于顶升的力量要求高，需要购买价格非常高的设备。翻转后顶盖角度几乎垂直于地面，占用了上部空间。
3、由此可见，克服现有技术不足，提供一种改进的腔体上盖，降低对于顶升力的要求，最终达到降低成本且提高效率，成为本领域技术人员亟待解决的技术难题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种顶升装置。本技术所提供的顶升装置无须采用翻盖，安装方便，降低了成本且提高了生产效率。
2、本技术第一方面涉及一种用于侧壁钝化镀膜设备的腔体上盖的顶升装置，包括：
3、动力机构，用于为顶升装置提供动力；
4、设于动力机构的上方的动力转换机构，用于将动力机构提供的动力进行转换；
5、设于动力机构的两侧的移动机构，用于在垂直方向上进行移动；
6、与动力转换机构和移动机构连接的装配机构，用于将顶升装置与腔体上盖进行装配。
7、优选地，动力机构包括减速机。>
8、优选地，动力机构包括伺服电机。
9、优选地，动力转换机构包括电缸。
10、优选地，电缸为t型丝缸。
11、优选地，移动机构包括直线轴承和导杆，导杆经由直线轴承与装配机构连接。
12、优选地，装配机构包括浮动接头。
13、本技术第二方面涉及一种侧壁钝化镀膜设备，包括本技术第一方面涉及的顶升装置。
14、与现有技术相比，本技术具有以下优点：
15、根据本技术所提供的顶升装置，设置简单工艺方便，降低了成本且提高了生产效率。
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1.一种用于侧壁钝化镀膜设备的腔体上盖的顶升装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的顶升装置，其特征在于，
3.如权利要求2所述的顶升装置，其特征在于，
4.如权利要求3所述的顶升装置，其特征在于，
5.如权利要求4所述的顶升装置，其特征在于，
6.如权利要求1所述的顶升装置，其特征在于，
7.如权利要求1所述的顶升装置，其特征在于，
8.一种侧壁钝化镀膜设备，其特征在于，包括：
【技术特征摘要】
1.一种用于侧壁钝化镀膜设备的腔体上盖的顶升装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的顶升装置，其特征在于，
3.如权利要求2所述的顶升装置，其特征在于，
4.如权利要求3所述的顶升装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：解堂亮，陆勇，康家乐，
申请(专利权)人：理想晶延半导体设备上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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