【技术实现步骤摘要】
本技术涉及热处理设备，更具体地，涉及一种炉尾隔离装置及一种热处理设备。
技术介绍
1、目前，对于热处理设备的炉管，在管径较小（480mm及以下）时，如图1所示，炉尾01采用与炉管相同材质的弧形端盖02与炉管焊接进行密封。为了进一步提升产能及适应大尺寸基片的生产工艺需求，采用较大管径（575mm及以上）的炉管，此时炉尾01若仍采用与炉管相同材质的弧形端盖02与炉管焊接的形式，制作难度较大，故设计通管炉管。通管炉管的炉尾若采用金属材质密封，金属会与热处理工艺反应气体或反应生成的气体发生反应，从而污染炉管。
2、因此，如何设计一种炉尾隔离装置，以增加气体与炉尾密封组件的隔离效果，减少对炉管的污染，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术的目的在于提供一种炉尾隔离装置，以增加气体与炉尾密封组件的隔离效果，减少对炉管的污染。
2、本技术的另一目的在于提供一种包括上述炉尾隔离装置的热处理设备。
3、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
4、一种炉尾隔离装置，用于设置于炉管的尾部，包括炉尾法兰和气幕装置：
5、炉尾法兰设置于炉管的尾部，炉尾法兰上设置有第一气管，第一气管与惰性气体气源连通；
6、气幕装置通过压板固定于炉尾法兰上，气幕装置包括进气口和多个出气口，进气口与第一气管连通，出气口设置于气幕装置的内壁上；压板的一端连接于气幕装置，另一端通过紧固件连接于炉尾法兰。
7、可
8、可选地，在上述炉尾隔离装置中，进气口与进气口安装槽之间设置有第一密封件。
9、可选地，在上述炉尾隔离装置中，还包括石英包，炉管的尾部设置有端盖，端盖与炉尾法兰相连，用于密封炉管的尾部，端盖上设置有与炉管连通的第二气管，石英包设置于气幕装置远离端盖的一侧，且与炉管的内壁抵接，石英包上设置有供第二气管穿过的通孔。
10、可选地，在上述炉尾隔离装置中，石英包至少包括一个环形石英盖板。
11、可选地，在上述炉尾隔离装置中，第一气管与炉尾法兰焊接连接。
12、可选地，在上述炉尾隔离装置中，炉尾法兰与炉管之间设置有第三密封件。
13、可选地，在上述炉尾隔离装置中，炉尾法兰上设置有冷却通道。
14、可选地，在上述炉尾隔离装置中，气幕装置为环形空腔，多个出气口沿气幕装置的周向环形布置。
15、一种热处理设备，包括如上所述的炉尾隔离装置。
16、本技术公开的炉尾隔离装置和热处理设备，当炉管内进行气体反应时，可以通过惰性气体气源向气幕装置通入惰性气体，惰性气体从多个出气口排出，在炉管的尾部形成隔离气幕帘，以隔离炉管内的热处理气体直接接触炉尾密封组件，进一步保障炉管的密封效果；若炉尾密封组件为金属材质，可以防止金属污染，进而可以保护炉管，同时可以延长金属密封组件的使用寿命；还可以增强炉管内的气体流动，优化热处理工艺效果。
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1.一种炉尾隔离装置，用于设置于炉管（10）的尾部，其特征在于，包括炉尾法兰（20）和气幕装置（30）；
2.如权利要求1所述的炉尾隔离装置，其特征在于，所述炉尾法兰（20）上设置有进气口安装槽（22），所述第一气管（21）伸入所述进气口安装槽（22）内，所述进气口（31）与所述进气口安装槽（22）安装配合。
3.如权利要求2所述的炉尾隔离装置，其特征在于，所述进气口（31）与所述进气口安装槽（22）之间设置有第一密封件（50）。
4.如权利要求1所述的炉尾隔离装置，其特征在于，还包括石英包（60），所述炉管（10）的尾部设置有端盖（80），所述端盖（80）与所述炉尾法兰（20）相连，用于密封所述炉管（10）的尾部，所述端盖（80）上设置有与所述炉管（10）连通的第二气管（81），所述石英包（60）设置于所述气幕装置（30）远离所述端盖（80）的一侧，且与所述炉管（10）的内壁抵接，所述石英包（60）上设置有供所述第二气管（81）穿过的通孔。
5.如权利要求4所述的炉尾隔离装置，其特征在于，所述石英包（60）至少包括一个环形石英盖板
6.如权利要求1所述的炉尾隔离装置，其特征在于，所述第一气管（21）与所述炉尾法兰（20）焊接连接。
7.如权利要求1所述的炉尾隔离装置，其特征在于，所述炉尾法兰（20）与所述炉管（10）之间设置有第三密封件（70）。
8.如权利要求1所述的炉尾隔离装置，其特征在于，所述炉尾法兰（20）上设置有冷却通道（23）。
9.如权利要求1-8任一项所述的炉尾隔离装置，其特征在于，所述气幕装置（30）为环形空腔，多个所述出气口（32）沿所述气幕装置（30）的周向环形布置。
10.一种热处理设备，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的炉尾隔离装置。
...【技术特征摘要】
1.一种炉尾隔离装置，用于设置于炉管（10）的尾部，其特征在于，包括炉尾法兰（20）和气幕装置（30）；
2.如权利要求1所述的炉尾隔离装置，其特征在于，所述炉尾法兰（20）上设置有进气口安装槽（22），所述第一气管（21）伸入所述进气口安装槽（22）内，所述进气口（31）与所述进气口安装槽（22）安装配合。
3.如权利要求2所述的炉尾隔离装置，其特征在于，所述进气口（31）与所述进气口安装槽（22）之间设置有第一密封件（50）。
4.如权利要求1所述的炉尾隔离装置，其特征在于，还包括石英包（60），所述炉管（10）的尾部设置有端盖（80），所述端盖（80）与所述炉尾法兰（20）相连，用于密封所述炉管（10）的尾部，所述端盖（80）上设置有与所述炉管（10）连通的第二气管（81），所述石英包（60）设置于所述气幕装置（30）远离所述端盖（80）的一侧，且与所...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈云，廖宝臣，陈程，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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