【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜设备，特别涉及一种镀膜设备工件传输系统及应用其的真空镀膜设备。
技术介绍
1、现有真空光学镀膜设备在对目标工件执行镀膜作业时，需先以顶升机构在工件架底部将工件架从传输机构上顶起，然后由顶升机构驱动工件架转动，使工件架外周各个目标工件依次经过蒸发源并逐一镀膜。在所有目标工件镀膜完成后再由顶升机构驱动工件架重新下降至传输机构上，最后输出设备以执行下一工序。
2、在工件架被顶升机构顶起时，工件架底部脱离支撑在传输机构的滚轮上的托架的支撑面，而托架停留在滚轮上。若顶升机构顶升或下降工件架以及托架停留等候镀膜作业的过程中，托架相对传输机构或工件架相对托架发生移位，可能导致在工件架下降后与托架无法精准定位，造成工件架回位失效从而影响生产效率。
3、再有，传统真空光学镀膜设备的工件架在真空腔体内通过顶升和旋转机构使工件架与底部托架脱离并做上升、旋转、下降运动，工件顶升及旋转时容易出现晃动现象，从而影响镀膜工艺；此外，通过顶升和旋转机构与工件架对接对顶升和旋转机构及工件架的加工及安装同心度要求较高，若顶升和旋转机构与工件架安装不同心，可能在旋转机构驱动工件架旋转运行时对其悬挂目标工件造成损坏。
技术实现思路
1、本专利技术提出一种镀膜设备工件传输系统及应用其的真空镀膜设备,以解决现有现有真空光学镀膜设备的工件架从托架顶起以执行镀膜作业的过程中，可能因工件架或托架移位造成工件架回位失效的技术问题。
2、为解决以上问题，本专利技术采用的技术方案
3、本专利技术提供一种镀膜设备工件传输系统，包括传输装置，用于驱动托架靠近或远离镀膜工位运动，还包括：
4、工件架，该工件架的底部可转动地安装于托架上，工件架周侧间隔设置若干用于悬挂目标工件的工件悬挂结构；对位结构，设于工件架顶部或底部；
5、升降装置，设于镀膜工位上方或下方，用于驱动对接件升降运动，以使对接件与对位结构对接或脱离；
6、旋转装置，用于在对接件与对位结构对接时驱动对接件旋转，从而带动工件架相对托架转动。
7、优选地，升降装置包括：
8、机架，设于镀膜工位上方或下方；
9、第一升降驱动机构，设于机架上，用于驱动升降组件升降运动；
10、第一旋转轴，该第一旋转轴的一端可转动地安装于升降组件上，第一旋转轴的另一端朝向对位结构伸出机架，对接件安装于第一旋转轴的另一端；
11、旋转装置用于驱动第一旋转轴旋转。
12、优选地，第一升降驱动机构包括：
13、升降模组，设于机架上，用于驱动升降运动件升降运动，升降组件安装于升降运动件上；
14、导向结构，设于机架上，用于引导升降组件升降运动。
15、优选地，导向结构包括竖直安装于机架上的若干导向柱；
16、升降组件包括：
17、第一升降架，连接于升降运动件，并可活动地安装于导向柱上；
18、第一轴承，安装于第一升降架上，第一旋转轴的一端可转动地安装于第一轴承上；
19、密封软管，该密封软管套设于第一旋转轴外侧，且密封软管的一端安装于第一轴承上；
20、安装架，安装于密封软管的另一端，第一旋转轴穿设于安装架上。
21、优选地，旋转装置包括：
22、第二旋转轴，穿设于安装架上；
23、主动齿轮，设于第二旋转轴上，第一旋转轴上设有与主动齿轮相啮合的从动齿轮；
24、旋转驱动机构，设于机架上，用于驱动第二旋转轴旋转。
25、进一步地，镀膜设备工件传输系统还包括：
26、限位装置，用于在托架抵达镀膜工位时将托架限制于镀膜工位上。
27、优选地，传输装置包括：
28、第一滚轮机构，包括：第一滚轮安装架；若干第一滚轮，沿第一方向依次间隔安装于第一滚轮安装架上；第一传动组件，连接于相邻第一滚轮之间；
29、第二滚轮机构，包括：第二滚轮安装架与第一滚轮安装架平行间隔设置，镀膜工位位于第二滚轮安装架与第一滚轮安装架之间；若干第二滚轮，沿第一方向依次间隔安装于第二滚轮安装架上；第二传动组件，连接于相邻第二滚轮之间；至少一个第二滚轮通过连接轴连接于对应的第一滚轮；
30、滚轮驱动机构，用于驱动任一第一滚轮转动，以驱使第一传动组件和第二传动组件带动各个第一滚轮和第二滚轮同步转动，从而驱动支撑于若干第一滚轮和第二滚轮上的托架靠近或远离镀膜工位运动。
31、优选地，限位装置包括：
32、第二升降驱动机构，设于第一滚轮机构和第二滚轮机构之间，并位于镀膜工位在第一方向上的一端，用于驱动第二升降架升降运动；第一限位机构，设于第二升降架上，用于在托架抵达镀膜工位时对托架在第一方向上的一端进行限位；
33、第三升降驱动机构，设于第一滚轮机构和第二滚轮机构之间，并位于镀膜工位在第一方向上的相对另一端，用于驱动第三升降架升降运动；第二限位机构，设于第三升降架上，用于在托架抵达镀膜工位时对托架在第一方向上的相对另一端进行限位。
34、优选地，工件架呈圆筒形，若干工件悬挂结构沿工件架的周向均匀间隔分布于工件架的外圆周侧。
35、优选地，升降装置设于镀膜工位上方；
36、对接件为对接压盖，对接压盖的外周侧呈锥面，对位结构为设于工件架顶部的对位法兰，对位法兰设有与对接压盖的外形相匹配的锥度槽；
37、托架设有第二轴承，工件架底部设有与第二轴承相匹配的安装轴；
38、对接件通过其锥面与锥度槽相配合与对位结构相对接时，旋转装置可驱动工件架通过安装轴与第二轴承相配合相对托架转动。
39、本专利技术还提供一种真空镀膜设备，包括真空镀膜室和设于真空镀膜室内的镀膜装置，还包括上述的镀膜设备工件传输系统，镀膜设备工件传输系统设于真空镀膜室内，镀膜装置设于镀膜工位一侧。
40、优选地，真空镀膜设备为真空光学镀膜设备，目标工件为光学基片，镀膜装置包括用于对光学基片表面执行光学镀膜作业的蒸发源。
41、与现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果：
42、本专利技术提供的镀膜设备工件传输系统将升降装置及旋转装置集成在真空镀膜腔室顶部或底部，并驱动可旋转的对接件升降以使其与工件架顶部或底部的对位结构同心对接或脱离，且工件架底部可转动地安装于由传输装置移载的托架上，对接件与对位结构对接时由旋转装置驱动对接件旋转以带动工件架相对托架转动，进而通过传输装置一侧的蒸发源对悬挂于工件架周侧的各个目标工件依次执行镀膜作业，整个传输和镀膜过程托架与工件架始终连为一体而无需升降工件架，确保工件架与托架始终保持精准定位；工件架的底部与托架之间通过轴承连接，从而在对接件带动下实现工件架与托架同步、平稳地定轴旋转，提高了镀膜均匀度。
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1.一种镀膜设备工件传输系统，包括传输装置(1)，用于驱动托架(2)靠近或远离镀膜工位(A)运动，其特征在于，还包括：
2.如权利要求1所述镀膜设备工件传输系统，其特征在于，所述升降装置(4)包括：
3.如权利要求2所述的镀膜设备工件传输系统，其特征在于，所述第一升降驱动机构(42)包括：
4.如权利要求3所述的镀膜设备工件传输系统，其特征在于，所述导向结构(423)包括竖直安装于所述机架(41)上的若干导向柱(4231)；
5.如权利要求4所述的镀膜设备工件传输系统，其特征在于，所述旋转装置(5)包括：
6.如权利要求1-5任一项所述的镀膜设备工件传输系统，其特征在于，还包括：
7.如权利要求6所述的镀膜设备工件传输系统，其特征在于，所述传输装置(1)包括：
8.如权利要求7所述的镀膜设备工件传输系统，其特征在于，所述限位装置(6)包括：
9.如权利要求1-5任一项所述的镀膜设备工件传输系统，其特征在于，所述工件架(3)呈圆筒形，若干所述工件悬挂结构(31)沿工件架(3)的周向均匀间
10.如权利要求9所述的镀膜设备工件传输系统，其特征在于，所述升降装置(4)设于所述镀膜工位(A)上方；
11.一种真空镀膜设备，包括真空镀膜室和设于所述真空镀膜室内的镀膜装置，其特征在于，还包括如权利要求1-10任一项所述的镀膜设备工件传输系统，所述镀膜设备工件传输系统设于所述真空镀膜室内，所述镀膜装置设于所述镀膜工位(A)一侧。
12.如权利要求11所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜设备为真空光学镀膜设备，所述目标工件(7)为光学基片，所述镀膜装置包括用于对所述光学基片表面执行光学镀膜作业的蒸发源。
...【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备工件传输系统，包括传输装置(1)，用于驱动托架(2)靠近或远离镀膜工位(a)运动，其特征在于，还包括：
2.如权利要求1所述镀膜设备工件传输系统，其特征在于，所述升降装置(4)包括：
3.如权利要求2所述的镀膜设备工件传输系统，其特征在于，所述第一升降驱动机构(42)包括：
4.如权利要求3所述的镀膜设备工件传输系统，其特征在于，所述导向结构(423)包括竖直安装于所述机架(41)上的若干导向柱(4231)；
5.如权利要求4所述的镀膜设备工件传输系统，其特征在于，所述旋转装置(5)包括：
6.如权利要求1-5任一项所述的镀膜设备工件传输系统，其特征在于，还包括：
7.如权利要求6所述的镀膜设备工件传输系统，其特征在于，所述传输装置(1)包括：
8.如权利要求7所述的镀膜设备工件传输...
【专利技术属性】
技术研发人员：何文娟，向清山，金晶磊，
申请(专利权)人：深圳市捷佳芯创科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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