【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体或光伏加工设备领域，具体涉及一种炉门开合装置以及反应炉系统。
技术介绍
1、反应炉用于对半导体材料进行加工，在工艺结束之后，需要将石英舟和硅片移出反应炉的工艺腔室，并使炉门封闭炉口以减少工艺腔室内的热量散失。通常，立式反应炉的炉口位于炉体的底部，在炉门封闭炉口时，通常会先将炉门旋转至炉口正下方，然后上升炉门使炉门与炉口紧密贴合。
2、相关技术中，通常通过气缸实现炉门的开合，但通过气缸实现炉门的开合，需要为气缸配备额外的压缩气源，增加了气压系统成本。另外，气缸内气压稳定性差，容易导致炉门封闭或暴露炉口时发生震动，造成炉门与炉口接触面劳损，使热量溢出；并且，炉门震动会导致炉门在封闭炉口时，炉门不能及时与炉口紧密贴合，导致热量外溢，造成炉门升降装置整体温度升高，影响各元器件的灵敏度和使用寿命，同时炉管内的温度骤然降低，再次工艺时需要更长的时间对工艺腔室进行升温，降低了生产效率。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，提出了本申请。本申请实施例提供了一种炉门开合装置以及反应炉系统。
2、第一方面，本申请一实施例提供了一种炉门开合装置，应用于反应炉，反应炉包括炉体和炉门组件，炉体具有炉口，炉门组件被配置为封闭或暴露炉口；其中，炉门开合装置包括：旋转驱动源，被配置为提供旋转力；丝杆，与旋转驱动源连接，被配置为在旋转驱动源的驱动下转动；丝杆螺母，与丝杆螺接，被配置为在丝杆的驱动下沿丝杆的延伸方向运动；花键轴组件，与丝杆螺母连接，被配置为在丝杆螺母的带动下
3、在一些实施例中，导向槽包括：第一槽段，与丝杆的延伸方向成锐角设置，以使得悬臂组件沿丝杆的延伸方向运动时，导向组件在导向槽的导向下还带动悬臂组件旋转；第二槽段，与第一槽段连通，平行于丝杆的延伸方向，第二槽段的起始端的竖直高度大于第一槽段的起始端的竖直高度，以使得悬臂组件沿丝杆的延伸方向运动时，导向组件在导向槽的导向下还导向悬臂组件沿丝杆的延伸方向运动。
4、在一些实施例中，导向组件包括：连接件，与悬臂组件连接；第一滚轮，与连接件可转动连接，并伸入导向槽，在悬臂组件的带动下沿导向槽滚动。
5、在一些实施例中，包括：第一缓冲组件，与悬臂组件连接；其中，在悬臂组件带动炉门组件封闭炉口的情况下，第一缓冲组件与支撑组件抵接，以减少悬臂组件和炉门组件的震动。
6、在一些实施例中，第一缓冲组件包括：第一缓冲主体，与悬臂组件连接；第二滚轮，与第一缓冲主体可转动连接，被配置为在悬臂组件带动炉门组件封闭炉口的情况下，第二滚轮与支撑组件抵接。
7、在一些实施例中，第一缓冲组件还包括：至少两个导杆，导杆的第一端与第一缓冲主体连接，导杆的第二端具有第一通孔；第一螺栓，具有相互连接的螺杆和头部，螺杆穿过至少两个导杆的第一通孔；第一螺母，与螺杆的远离头部的一端螺接；其中，第二滚轮套设于螺杆上，并位于至少两个导杆之间。
8、在一些实施例中，其特征在于，悬臂组件包括：旋转臂，旋转臂的第一端具有第一凹槽和第一螺纹孔，旋转臂的第二端与炉门组件连接；锁紧件，具有第二凹槽和贯穿锁紧件的第一沉头孔；第一螺接件，穿过第一沉头孔，并与第一螺纹孔螺接；其中，第一凹槽和第二凹槽形成第二通孔，花键轴组件穿过第二通孔并被锁紧件压紧。
9、在一些实施例中，包括：第二缓冲组件，与支撑组件连接，在悬臂组件带动炉门组件暴露炉口的情况下，第二缓冲组件与悬臂组件抵接，第二缓冲组件被配置为减少悬臂组件与炉门组件的震动。
10、在一些实施例中，包括：控制器，与旋转驱动源通信连接，被配置为控制旋转驱动源输出旋转力；检测组件，与控制器通信连接，被配置为在检测到花键轴组件旋转至预设角度的情况下，向控制器发送目标信号，以使控制器基于目标信号控制旋转驱动源停止输出旋转力。
11、在一些实施例中，花键轴组件包括：花键轴，连接悬臂组件和丝杆螺母，花键轴的外表面具有第三凹槽；内筒，套设于花键轴外，内筒的内表面具有第四凹槽；滚珠，部分设置于第四凹槽内，伸出第四凹槽的部分与第三凹槽凹凸配合连接；外筒，套设于内筒外，与内筒可转动连接，外筒与支撑组件连接；其中，检测组件包括：感应片，与内筒连接，被配置为在花键轴带动内筒旋转的情况下，跟随内筒旋转；至少一个位置传感器，具有检测槽或微动开关，并与控制器通信连接；其中，位置传感器在检测到感应片旋转至检测槽内时，或位置传感器在检测到感应片挤压微动开关时，向控制器发送目标信号。
12、在一些实施例中，悬臂组件包括：支撑臂，支撑臂的第一端与旋转臂连接，支撑臂的第二端与炉门组件连接；支撑臂隔热板，套设于支撑臂的表面，被配置为阻挡反应炉内的热量传递至旋转臂。
13、在一些实施例中，旋转臂具有沿水平方向延伸的第三通孔、和沿竖直方向延伸的第二螺纹孔，支撑臂具有沿水平方向延伸的第四通孔、沿竖直方向延伸的第二沉头孔和沿竖直方向延伸的第三沉头孔，其中，悬臂组件还包括：旋转轴，穿过第三通孔和第四通孔；第二螺栓，穿过第二沉头孔，并与第二螺纹孔螺接；第三螺栓，与第三沉头孔螺接，并与旋转臂抵接；其中，第二螺栓和第三螺栓被配置为调节支撑臂的旋转角度。
14、在一些实施例中，旋转臂具有沿水平方向延伸的第五通孔，支撑臂具有沿水平方向延伸的第三螺纹孔，悬臂组件还包括：第四螺栓，穿过第五通孔与第三螺纹孔螺接。
15、在一些实施例中，支撑臂具有沿竖直方向延伸的第四沉头孔，第四沉头孔的横截面为沿第一方向延伸的条形结构，炉门开合装置包括：炉门支撑板，与支撑臂的上表面连接，被配置为支撑炉门组件，炉门支撑板具有沿竖直方向延伸的第五沉头孔，第五沉头孔的横截面为沿第二方向延伸的条形结构，第一方向和第二方向交叉；第五螺栓，穿过第四沉头孔与第五沉头孔；第二螺母，设置于第五沉头孔内，与第五螺栓螺接。
16、在一些实施例中，支撑臂具有沿竖直方向延伸的第四螺纹孔，悬臂组件还包括：至少一个紧定螺钉，与第四螺纹孔螺接，并与炉门支撑板抵接，被配置为调节炉门支撑板的角度。
17、在一些实施例中，炉门组件具有沿竖直方向延伸的第一盲孔，炉门支撑板具有沿竖直方向延伸的第二盲孔，炉门开合装置还包括：第一弹性件，第一弹性件的第一端嵌入第一盲孔，第一弹性件的第二端嵌入第二盲孔。
18、在一些实施例中，炉门组件具有沿竖直方向延伸的盲螺纹孔，炉门支撑板具有沿竖直方向延伸的第六沉头孔，炉门开合装置还包括：第一台阶螺丝本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种炉门开合装置，其特征在于，应用于反应炉，所述反应炉包括炉体和炉门组件，所述炉体具有炉口，所述炉门组件被配置为封闭或暴露所述炉口；
2.根据权利要求1所述的炉门开合装置，其特征在于，所述导向槽包括：
3.根据权利要求1所述的炉门开合装置，其特征在于，所述导向组件包括：
4.根据权利要求1所述的炉门开合装置，其特征在于，包括：
5.根据权利要求4所述的炉门开合装置，其特征在于，所述第一缓冲组件包括：
6.根据权利要求5所述的炉门开合装置，其特征在于，所述第一缓冲组件还包括：
7.根据权利要求1至6任一项所述的炉门开合装置，其特征在于，所述悬臂组件包括：
8.根据权利要求1至6任一项所述的炉门开合装置，其特征在于，包括：
9.根据权利要求1至6任一项所述的炉门开合装置，其特征在于，包括：
10.根据权利要求9所述的炉门开合装置，其特征在于，所述花键轴组件包括：
11.根据权利要求7所述的炉门开合装置，其特征在于，所述悬臂组件包括：
12.根据权利要
13.根据权利要求12所述的炉门开合装置，其特征在于，所述旋转臂具有沿水平方向延伸的第五通孔，所述支撑臂具有沿水平方向延伸的第三螺纹孔，所述悬臂组件还包括：
14.根据权利要求11所述的炉门开合装置，其特征在于，所述支撑臂具有沿竖直方向延伸的第四沉头孔，所述第四沉头孔的横截面为沿第一方向延伸的条形结构，所述炉门开合装置包括：
15.根据权利要求14所述的炉门开合装置，其特征在于，所述支撑臂具有沿竖直方向延伸的第四螺纹孔，所述悬臂组件还包括：
16.根据权利要求14所述的炉门开合装置，其特征在于，所述炉门组件具有沿竖直方向延伸的第一盲孔，所述炉门支撑板具有沿竖直方向延伸的第二盲孔，所述炉门开合装置还包括：
17.根据权利要求16所述的炉门开合装置，其特征在于，所述炉门组件具有沿竖直方向延伸的盲螺纹孔，所述炉门支撑板具有沿竖直方向延伸的第六沉头孔，所述炉门开合装置还包括：
18.一种反应炉系统，其特征在于，被配置为对半导体材料进行加工，其中，所述反应炉系统包括：
19.根据权利要求18所述的反应炉系统，其特征在于，所述炉门组件包括：
...【技术特征摘要】
1.一种炉门开合装置，其特征在于，应用于反应炉，所述反应炉包括炉体和炉门组件，所述炉体具有炉口，所述炉门组件被配置为封闭或暴露所述炉口；
2.根据权利要求1所述的炉门开合装置，其特征在于，所述导向槽包括：
3.根据权利要求1所述的炉门开合装置，其特征在于，所述导向组件包括：
4.根据权利要求1所述的炉门开合装置，其特征在于，包括：
5.根据权利要求4所述的炉门开合装置，其特征在于，所述第一缓冲组件包括：
6.根据权利要求5所述的炉门开合装置，其特征在于，所述第一缓冲组件还包括：
7.根据权利要求1至6任一项所述的炉门开合装置，其特征在于，所述悬臂组件包括：
8.根据权利要求1至6任一项所述的炉门开合装置，其特征在于，包括：
9.根据权利要求1至6任一项所述的炉门开合装置，其特征在于，包括：
10.根据权利要求9所述的炉门开合装置，其特征在于，所述花键轴组件包括：
11.根据权利要求7所述的炉门开合装置，其特征在于，所述悬臂组件包括：
12.根据权利要求11所述的炉门开合装置，其特征在于，所述旋转臂具有沿水平方向延伸的第三通孔、和沿竖直方向延伸的第二螺纹孔，所述支撑臂具...
【专利技术属性】
技术研发人员：龙占勇，周亮，李燕清，王勤勤，
申请(专利权)人：拉普拉斯广州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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