【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片转移，具体为一种硅片花篮升降装置。
技术介绍
1、硅片在转移过程中，需要用到花篮升降装置带动硅片升降，到达指定高度后进行转运，现在升降组件如图1所示，其模块化的结构厚度较大，而且需要留出侧部安装区，导致在宽度方向上需要更多的空间，不适用于紧凑空间的环境。
技术实现思路
1、为了解决现有升降模组占用空间大的问题，本技术提供了一种硅片花篮升降装置，其能够减少占用空间，满足紧凑性布置需求。
2、其技术方案是这样的：一种硅片花篮升降装置，其特征在于，其包括底部支撑座和顶部固定座，所述底部支撑座和所述顶部固定座之间连接有并排的两个竖杆，所述竖杆的背面固定有安装板，所述安装板位于所述竖杆内侧的正面安装有导轨，两个所述安装板之间固定有丝杆机构，花篮升降座连接所述丝杆机构。
3、其进一步特征在于，所述丝杆机构包括丝杆、丝杆螺母、电机，所述丝杆的两端分别连接上固定座和下固定座上的轴承座，所述下固定座的下部设置电机座，所述电机固定于所述电机座并与所述丝杆的下端连接；
4、所述丝杆机构的正面和背面均安装有防护板。
5、采用本技术后，取消了传统的模块结构，改为分体式组装，丝杆机构位于竖杆之间，并且竖杆的固定方式采用上下固定，省去了侧部安装空间，从而整体厚度变小，适用于紧凑空间环境。
【技术保护点】
1.一种硅片花篮升降装置，其特征在于，其包括底部支撑座和顶部固定座，所述底部支撑座和所述顶部固定座之间连接有并排的两个竖杆，所述竖杆的背面固定有安装板，所述安装板位于所述竖杆内侧的正面安装有导轨，两个所述安装板之间固定有丝杆机构，花篮升降座连接所述丝杆机构。
2.根据权利要求1所述的一种硅片花篮升降装置，其特征在于，所述丝杆机构包括丝杆、丝杆螺母、电机，所述丝杆的两端分别连接上固定座和下固定座上的轴承座，所述下固定座的下部设置电机座，所述电机固定于所述电机座并与所述丝杆的下端连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅片花篮升降装置，其特征在于，所述丝杆机构的正面和背面均安装有防护板。
【技术特征摘要】
1.一种硅片花篮升降装置，其特征在于，其包括底部支撑座和顶部固定座，所述底部支撑座和所述顶部固定座之间连接有并排的两个竖杆，所述竖杆的背面固定有安装板，所述安装板位于所述竖杆内侧的正面安装有导轨，两个所述安装板之间固定有丝杆机构，花篮升降座连接所述丝杆机构。
2.根据权利要求1所述的一种硅片花...
【专利技术属性】
技术研发人员：季飞，
申请(专利权)人：无锡江岚智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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