System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 终端效应器以及具有终端效应器的机器人制造技术_技高网

终端效应器以及具有终端效应器的机器人制造技术

技术编号:44675826 阅读:9 留言:0更新日期:2025-03-19 20:29
本文描述一种终端效应器,其既适于搬运晶圆,又适于搬运晶圆盒。所述终端效应器具有被配置成容置及保持单个晶圆的第一抓取单元;以及被配置成容置及保持晶圆盒的第二抓取单元,其中所述第一及第二抓取单元相连,使其可紧固在共同的机器手臂上并且互成一定角度,以使其在工作过程中不会彼此干扰。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】


技术介绍


技术实现思路

【技术保护点】

1.一种终端效应器,具有:

2.根据权利要求1的终端效应器,其中所述第一与第二抓取单元互成约180°角。

3.根据权利要求1或2的终端效应器,其中所述第一及第二抓取单元通过耦合单元相连,其中所述耦合单元可与共同的所述机器手臂连接,使得所述耦合单元将用于工作介质的至少一个连接端口,较佳地同一连接端口,连接至相应的所述抓取单元,以致动所述抓取单元。

4.根据前述权利要求中任一项的终端效应器,还具有旋转单元,通过所述旋转单元,所述终端效应器以可在至少两个位置之间来回旋转的方式安装在所述机器手臂上,其中所述终端效应器的位置决定了所述第一或第二抓取单元的使用准备状态。

5.根据前述权利要求中任一项的终端效应器,其中所述第一抓取单元被构建为真空抓取器、伯努利抓取器或棱边抓取器。

6.根据前述权利要求中任一项的终端效应器,其中所述第二抓取单元具有可动夹爪,其中所述夹爪的轮廓设计为使得所述夹爪在移行路径相同的情况下可容置至少两个不同的盒尺寸或盒类型。

7.根据权利要求6的终端效应器,其中所述可动夹爪通过气缸单元而被调节,其中所述夹爪机械地被预紧至抓取位置。

8.一种机器人,具有带至少一个机器手臂的驱动系,所述机器手臂在其自由端上承载如前述权利要求中任一项的终端效应器。

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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种终端效应器,具有:

2.根据权利要求1的终端效应器,其中所述第一与第二抓取单元互成约180°角。

3.根据权利要求1或2的终端效应器,其中所述第一及第二抓取单元通过耦合单元相连,其中所述耦合单元可与共同的所述机器手臂连接,使得所述耦合单元将用于工作介质的至少一个连接端口,较佳地同一连接端口,连接至相应的所述抓取单元,以致动所述抓取单元。

4.根据前述权利要求中任一项的终端效应器,还具有旋转单元,通过所述旋转单元,所述终端效应器以可在至少两个位置之间来回旋转的方式安装在所述机器手臂上,其中所述终端效应器的位置决定了所述第一或第二...

【专利技术属性】
技术研发人员:派翠克·佩尔兹拉尔夫·瑞兹派翠克·施密德
申请(专利权)人:商先创国际股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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